引线框制造用曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种能够防止因以玻璃材质构成的第一及第二掩模(21、22)下垂而发生误差的新结构的引线框制造用曝光装置。本发明专利技术的引线框制造用曝光装置中，所述第一及第二掩模(21、22)沿上下方向延伸设置，所述铜板(1)被配置成，其中间部经过所述主体(10)设置的导向辊(41、42、43、44)的外周面，并穿过所述第一及第二掩模(21、22)之间的空间部。因此，具有的优点是，能够防止以玻璃面板构成的第一及第二掩模(21、22)因自重而向下侧下垂，当利用所述照明单元(30)照射光线而使涂敷于铜板(1)两侧面的感光膜感光时发生误差，从而导致最终生产的引线框发生不良的现象。

Exposure device for lead frame manufacture

The present invention relates to an exposure device for lead frame manufacture, which can prevent a new structure which is caused by the error of the first and two masks (21, 22) that are formed by glass material. The invention of the lead frame manufacturing with the exposure device, the first and two mask (21, 22) extends along the direction set, the copper plate (1) is arranged between the Department after the main body (10) provided the guide roller (41, 42, 43, 44). The outer peripheral surface, and through the first and two mask (21, 22) between the Department of space. Therefore, has the advantage that can prevent the glass panel formed by the first and two mask (21, 22) due to weight to the underside of the sag, when using the lighting unit (30) and the irradiation light coating on the copper plate (1) the error of the two sides of the photosensitive photosensitive film, from the leading wire the final production box adverse phenomenon.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】引线框制造用曝光装置
本专利技术涉及一种能够防止因以玻璃材质构成的第一及第二掩模下垂而发生误差的新结构的引线框制造用曝光装置。
技术介绍
一般而言，用于制作半导体封装件的引线框经过如下步骤制作：在成为引线框材料的铜板两面附着或涂敷感光膜的涂敷步骤；利用曝光装置在所述感光膜上使既定的图案感光的感光步骤；对两面感光的铜板进行蚀刻的蚀刻步骤等。
技术实现思路
要解决的技术问题本专利技术旨在解决所述问题，其目的在于提供一种能够防止因以玻璃材质构成的第一及第二掩模下垂而发生误差的新结构的引线框制造用曝光装置。解决问题的手段为了达成所述目的，本专利技术提供一种引线框制造用曝光装置，包括：主体10，其设置于两面涂覆有感光膜的铜板1的移送路径的中间部；第一及第二掩模21、22，其以接近所述铜板1两面的方式设置于所述主体10；照明单元30，其通过所述第一及第二掩模21、22向所述铜板1的两面照射光线，以使所述铜板1涂敷的感光膜感光，其特征在于，所述第一及第二掩模21、22设置成沿上下方向延伸，所述铜板1的中间部经过所述主体10具备的导向辊41、42、43、44外周面并穿过所述第一及第二掩模21、22之间的空间部。根据本专利技术的另一特征，提供一种引线框制造用曝光装置，其特征在于，还包括掩模支撑单元50，其设置于所述主体10上，用于支撑所述第一及第二掩模21、22；所述掩模支撑单元50包括：支撑框架51，其设置于所述主体10上，用于固定所述第一掩模21；间隔调节单元52，其设置于所述支撑框架51，并连接于所述第二掩模22，用于调节所述第二掩模22和第一掩模21的间隔；间隔调节辊53，其位于沿上下方向延伸的铜板1的前方或后方，借助于致动器53a而前进后退，以调节所述铜板1的中间部和第一掩模21的间隔。根据本专利技术的又一特征，提供一种引线框制造用曝光装置，其特征在于，还包括移送单元60，其设置于所述主体10上，对穿过所述第一及第二掩模21、22之间空间部的铜板1进行牵拉，并向后方移送；所述移送单元60包括：导轨61，其与所述铜板1的延伸方向平行地配置于穿过所述第一及第二掩模21、22之间的空间部的铜板1的路径上；夹持器62，其以能沿前后方向滑动的方式结合于所述导轨61，并选择性地结合于穿过所述第一及第二掩模21、22之间的空间部的铜板1；前进后退驱动单元63，其连接于所述夹持器62，使得所述夹持器62沿导轨61前进后退。专利技术的效果就本专利技术的引线框制造用曝光装置而言，所述第一及第二掩模21、22沿上下方向延伸设置，所述铜板1的中间部经过配置于所述主体10的导向辊41、42、43、44的外周面并通过所述第一及第二掩模21、22之间的空间部。因此，能够防止由玻璃面板构成的第一及第二掩模21、22因自重而向下侧下垂，当利用所述照明单元30照射光线而使铜板1的两侧面涂敷的感光膜感光时发生误差，最终生产的引线框因而发生不良的现象。附图说明图1是图示本专利技术的引线框制造用曝光装置的侧面构成图，图2是图示本专利技术的引线框制造用曝光装置的平面构成图，图3是图示本专利技术的引线框制造用曝光装置的主要部分的侧面构成图，图4及图5是图示本专利技术的引线框制造用曝光装置的掩模支撑单元的侧面构成图，图6是用于说明本专利技术的引线框制造用曝光装置的作用的参考图。最佳实施方式下面根据附带的示例图，详细说明本专利技术。图1至图6图示了本专利技术的引线框制造用曝光装置，与以往相同的是具备：主体10，其设置于两面涂覆有感光膜的铜板1的中间部；第一及第二掩模21、22，其接近所述铜板1中间部两面地设置于所述主体10；照明单元30，其通过所述第一及第二掩模21、22向所述铜板1的两面照射光线，使得所述铜板1涂敷的感光膜感光。此时，如图1及图2所示，在所述主体10的前后方具备卷取两面涂覆有感光膜的铜板1的开卷机2、卷取从所述开卷机2解开的铜板1的收卷机3，使在所述开卷机2开卷的铜板1穿过所述主体10后卷取于所述收卷机3。而且，根据本专利技术，所述第一及第二掩模21、22沿上下方向延伸设置，所述铜板1配置成，其中间部经过所述主体10设置的导向辊41、42、43、44的外周面并穿过所述第一及第二掩模21、22之间的空间部。如果详细对此进行说明，所述导向辊41、42、43、44如图3所示，由设置于所述主体10的前方上侧的第一导向辊41、位于所述第一导向辊41的后方的第二导向辊42、位于所述第二导向辊42的下侧的第三导向辊43、位于所述第三导向辊43的后方的第四导向辊44构成，从所述开卷机2开卷的铜板1通过所述第一导向辊41而向所述第二导向辊42延伸，沿着所述第二导向辊42的外周面向下侧延伸，向下侧延伸的铜板1的下端部沿着所述第三导向辊43的外周面向后方延伸后，沿着所述第三导向辊43的外周面，供应给所述收卷机3。因此，在穿过所述第二导向辊42和所述第三导向辊43之间的铜板1的中间部，形成有竖直延伸的所述竖直部1a。而且，在所述主体10中具备：掩模支撑单元50，其支撑所述第一及第二掩模21、22；移送单元60，其牵拉穿过所述第一及第二掩模21、22之间的铜板1并向后方移送。所述掩模支撑单元50如图4及图5所示，包括：支撑框架51，其设置于所述主体10，用于固定所述第一掩模21；间隔调节单元52，其设置于所述支撑框架51，连接于所述第二掩模22，用于调节所述第二掩模22和第一掩模21的间隔；间隔调节辊53，其位于沿上下方向延伸的铜板1的前方或后方，借助于致动器53a而前进后退，调节所述铜板1的中间部和第一掩模21的间隔。所述支撑框架51包围所述铜板1的竖直部1a外周部。所述第一掩模21以与所述铜板1的竖直部1a平行的方式竖直配置，并以接近所述铜板1的竖直部1a前方的方式固定于所述支撑框架51。所述间隔调节单元52包括：支撑面板52a，其结合于所述第二掩模22的后方，支撑所述第二掩模22；导轨52b，其沿前后方向延伸地设置于所述支撑框架51；滑动块52c，其以能够前进后退的方式结合于所述导轨52b，结合于所述支撑面板52a的外周部；导螺杆52d，其沿前后方向延伸地设置，能旋转地结合于所述导轨52b，中间部以螺纹方式结合于所述滑动块52c；驱动电机52e，其连接于所述导螺杆52d。此时，所述第二掩模22与所述铜板1的竖直部1a平行地竖直配置，固定于所述支撑面板52a以位于所述铜板1的竖直部1a后方。而且，所述支撑面板52a由在中央部形成有贯通孔的四边框形态构成，使所述照明单元30照射的光线可以穿过所述支撑面板52a而照射于所述第二掩模22。因此，如果使所述驱动电机52e正反旋转，则所述支撑面板52a和第二掩模22前进后退，如图4所示，第一及第二掩模21、22的间隔缩小，或如图5所示，第一及第二掩模21、22的间隔加大。所述间隔调节辊53位于所述第一掩模21的上下侧，借助于所述致动器53a而前进后退，把所述铜板1的竖直部1a中间部推向后方，以远离所述第一掩模21。此时，所述致动器53a使用气缸，所述气缸固定于所述支撑框架51，活塞杆向后方延伸并连接于所述间隔调节辊53。所述移送单元60包括：导轨61，其与所述铜板1的延伸方向平行地配置于穿过所述第一及第二掩模21、22之间空间部的铜板1的路径上；夹持器62，其能沿前后方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种引线框制造用曝光装置，包括：主体(10)，其设置于两面涂覆有感光膜的铜板(1)的移送路径的中间部；第一及第二掩模(21、22)，其以接近所述铜板(1)两面的方式设置于所述主体(10)；照明单元(30)，其通过所述第一及第二掩模(21、22)向所述铜板(1)的两面照射光线，以使涂覆于所述铜板(1)的感光膜感光，其特征在于，所述第一及第二掩模(21、22)设置成沿上下方向延伸，所述铜板(1)被配置成，其中间部经过设置于所述主体(10)的导向辊(41、42、43、44)外周面，并穿过所述第一及第二掩模(21、22)之间的空间部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.10 KR 10-2014-01556821.一种引线框制造用曝光装置，包括：主体(10)，其设置于两面涂覆有感光膜的铜板(1)的移送路径的中间部；第一及第二掩模(21、22)，其以接近所述铜板(1)两面的方式设置于所述主体(10)；照明单元(30)，其通过所述第一及第二掩模(21、22)向所述铜板(1)的两面照射光线，以使涂覆于所述铜板(1)的感光膜感光，其特征在于，所述第一及第二掩模(21、22)设置成沿上下方向延伸，所述铜板(1)被配置成，其中间部经过设置于所述主体(10)的导向辊(41、42、43、44)外周面，并穿过所述第一及第二掩模(21、22)之间的空间部。2.根据权利要求1所述的引线框制造用曝光装置，其特征在于，还包括掩模支撑单元(50)，其设置于所述主体(10)上，用于支撑所述第一及第二掩模(21、22)；所述掩模支撑单元(50)包括：支撑框架(51)，其设置于所述主体(10)上，用于固定所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李海泆，
申请(专利权)人：普瑞科技有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR