固体浸没透镜保持器及图像取得装置制造方法及图纸

固体浸没透镜保持器(8)具备：第1构件(70)，其具有以球面部(6a)的一部分向物镜(21)侧突出的方式将球面部(6a)配置于内部的第1开口(71)；及第2构件(80)，其具有以抵接面(6f)向与物镜(21)侧相反侧突出的方式将抵接部(6d)配置于内部的第2开口(87)。第1构件(70)具有构成为自第1开口(71)的内表面(71a)向第1开口(71)的中心侧延伸且能够与球面部(6a)接触的3个突出部(73)。

Solid immersion lens holder and image acquisition device

Solid immersion lens holder (8) has first members (70), it has to face the ball (6a) part of the lens (21) to the side of the ball face (6a) on the internal configuration of the first opening (71); and 2 members (80), it has to contact the surface (6F) and objective (21) to the opposite side of the protruding side abutting portion (6D) is arranged on the internal opening (87) second. The first member (70) has 3 protrusions (73) that form an inner surface () from the first opening (71) extending to the central side of the first opening (71) and capable of contacting the ball face (6a).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】固体浸没透镜保持器及图像取得装置
本专利技术的一个方面涉及一种固体浸没透镜保持器及具备固体浸没透镜保持器的图像取得装置。
技术介绍
作为用于获得观察对象物的放大图像的透镜，已知有固体浸没透镜(SIL：SolidImmersionLens)。固体浸没透镜是例如呈半球形状或称为魏尔斯特拉斯(Weierstrass)球的超半球形状且尺寸为1mm～5mm左右的微透镜。若使该固体浸没透镜紧贴于观察对象物的表面而设置，则数值孔径(NA)及倍率同时扩大，因而可实现较高的空间分辨率下的观察。作为用于在物镜的前方(观察对象物侧)保持这样的固体浸没透镜的固体浸没透镜保持器，已知有例如专利文献1所记述的固体浸没透镜保持器。专利文献1所记述的固体浸没透镜保持器具有大于固体浸没透镜的球面部的收纳空间，可摇动地保持固体浸没透镜。由此，在使固体浸没透镜的底面(抵接面)抵接于观察对象物并紧贴时，在固体浸没透镜保持器内固体浸没透镜摇动而抵接面顺着观察对象物的表面而紧贴，从而能够达成固体浸没透镜与观察对象物的良好的紧贴。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006-201407号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在上述专利文献1的固体浸没透镜保持器中，与固体浸没透镜的球面部接触的部分由具有与球面部相同的曲率的透镜支承面构成。在该构成中，由于球面部与透镜支承面面接触，因而接触面积变大。因此，在紧贴时，由于作用于固体浸没透镜的摩擦力而抑制了固体浸没透镜与固体浸没透镜保持器的摇动，从而存在固体浸没透镜的抵接面难以顺着观察对象物的表面的担忧。本专利技术的一个方面的目的在于，提供一种能够容易地使固体浸没透镜顺着观察对象物而紧贴的固体浸没透镜保持器及具备固体浸没透镜保持器的图像取得装置。解决问题的技术手段本专利技术的一个方面所涉及的固体浸没透镜保持器是在物镜的前方保持固体浸没透镜的固体浸没透镜保持器，固体浸没透镜具有：球面部，其与物镜相对地配置；及抵接部，其包含抵接于观察对象物的抵接面；固体浸没透镜保持器具备：第1构件，其具有以球面部的一部分向物镜侧突出的方式将球面部配置于内部的第1开口；及第2构件，其具有以抵接面向与物镜侧相反侧突出的方式将抵接部配置于内部的第2开口；第1构件具有构成为自第1开口的内表面向第1开口的中心侧延伸且能够与球面部接触的3个突出部。根据该固体浸没透镜保持器，由于以3个突出部与固体浸没透镜的球面部接触，因而可缩小相对于固体浸没透镜的接触面积。由此，能够缩小于固体浸没透镜摇动时对固体浸没透镜作用的摩擦力，从而可容易地滑动固体浸没透镜与固体浸没透镜保持器。其结果，能够容易地使固体浸没透镜顺着观察对象物而紧贴。在本专利技术的一个方面所涉及的固体浸没透镜保持器中，3个突出部也可以以120度间隔设置于第1开口的周向上。在该情况下，能够在突出部接触于球面部时对固体浸没透镜的球面部均匀地施加力。由此，能够容易地使固体浸没透镜顺着观察对象物而紧贴。在本专利技术的一个方面所涉及的固体浸没透镜保持器中，通过3个突出部与球面部的接触位置、及球面部的曲率中心的直线也可以相对于物镜的光轴以30～65度的范围相交。在该情况下，能够保持物镜的视野并确保固体浸没透镜与固体浸没透镜保持器之间的良好的滑动。在本专利技术的一个方面所涉及的固体浸没透镜保持器中，3个突出部也可以构成为相对于球面部线接触。在该情况下，可进一步缩小突出部相对于固体浸没透镜的接触面积，从而可更容易地滑动固体浸没透镜与固体浸没透镜保持器。由此，能够更容易地使固体浸没透镜顺着观察对象物而紧贴。在本专利技术的一个方面所涉及的固体浸没透镜保持器中，3个突出部与球面部的接触位置也可以位于以第1开口的中心为中心的圆周上。在该情况下，能够在突出部接触于球面部时对固体浸没透镜的球面部均匀地施加力。由此，能够容易地使固体浸没透镜顺着观察对象物而紧贴。本专利技术的一个方面所涉及的图像取得装置具备：平台，其保持观察对象物；物镜，其以与平台上的观察对象物相对峙的方式配置；上述固体浸没透镜保持器，其在物镜的前方保持固体浸没透镜；摄像装置，其经由固体浸没透镜及物镜对来自观察对象物的光进行摄像，并输出图像数据；及图像制作装置，其基于图像数据而制作观察对象物的图像；固体浸没透镜具有：球面部，其与物镜相对地配置；及抵接部，其包含抵接于观察对象物的抵接面；固体浸没透镜保持器具备：第1构件，其具有以球面部的一部分向物镜侧突出的方式将球面部配置于内部的第1开口；及第2构件，其具有以抵接面向与物镜侧相反侧突出的方式将抵接部配置于内部的第2开口；第1构件具有自第1开口的内表面向第1开口的中心侧延伸且与球面部接触的3个突出部。根据该图像取得装置，由于固体浸没透镜保持器以3个突出部与固体浸没透镜的球面部接触，因而可缩小相对于固体浸没透镜的接触面积。由此，能够缩小在固体浸没透镜摇动时对固体浸没透镜作用的摩擦力，从而可容易地滑动固体浸没透镜与固体浸没透镜保持器。其结果，能够容易地使固体浸没透镜顺着观察对象物而紧贴。因此，可取得清晰的观察对象物的图像。专利技术的效果根据本专利技术的一个方面，可提供一种能够容易地使固体浸没透镜顺着观察对象物而紧贴的固体浸没透镜保持器及具备固体浸没透镜保持器的图像取得装置。附图说明图1是表示具备实施方式的固体浸没透镜保持器的半导体检查装置的构成图。图2是表示物镜及固体浸没透镜保持器的构成图。图3是图2的主要部分放大图。图4是自物镜侧观察图3的第1构件的图。图5(a)是表示固体浸没透镜抵接于观察对象物前的状态的图，(b)是表示固体浸没透镜抵接于观察对象物的状态的图。图6是表示变形例的图，(a)是透镜保持部的构成图，(b)是自物镜侧观察第1构件的图。具体实施方式以下，与附图一起对本专利技术所涉及的固体浸没透镜保持器的优选的实施方式进行说明。再者，在各图中，对相同或对应的要素标注相同的符号，并省略重复的说明。图1是表示具备实施方式的固体浸没透镜保持器的半导体检查装置(图像取得装置)的构成图。图2是表示物镜及固体浸没透镜保持器的构成图。图3是图2的主要部分放大图。图4是自物镜侧观察图3的固体浸没透镜保持部的图。图5(a)是表示固体浸没透镜抵接于观察对象物前的状态的图，图5(b)是表示固体浸没透镜抵接于观察对象物的状态的图。再者，在图1～3中，表示固体浸没透镜抵接于观察对象物的试样观察时的状态。以下的说明中，相对于固体浸没透镜以物镜侧为上侧、以观察对象物侧为下侧进行说明。如图1及图2所示，半导体检查装置(图像取得装置)1例如是如下检查装置：将作为试样10的模具(mold)型半导体器件具有的半导体器件11(参照图2)作为观察对象物，取得半导体器件11的图像并检查其内部信息。所谓“模具型半导体器件”是半导体器件11通过树脂12而被铸模后的器件。另外，作为“内部信息”，包含半导体器件的电路图案或来自半导体器件的微弱发光。作为该微弱发光，可列举起因于基于半导体器件的缺陷的异常部位的发光、或伴随着半导体器件中的晶体管的开关动作的瞬间发光等。此外，“内部信息”中也包含基于半导体器件的缺陷的发热。试样10中，以埋设于树脂12内的半导体器件11的背面露出的方式，切削树脂12。试样10通过以半导体器件11的背面朝上的方式载置于设置于观察部A的平台2上，从而被保持于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固体浸没透镜保持器，其特征在于，是在物镜的前方保持固体浸没透镜的固体浸没透镜保持器，所述固体浸没透镜具有：球面部，其与所述物镜相对地配置；及抵接部，其包含抵接于观察对象物的抵接面，所述固体浸没透镜保持器具备：第1构件，其具有以所述球面部的一部分向所述物镜侧突出的方式将所述球面部配置于内部的第1开口；及第2构件，其具有以所述抵接面向与所述物镜侧相反侧突出的方式将所述抵接部配置于内部的第2开口，所述第1构件具有构成为自所述第1开口的内表面向所述第1开口的中心侧延伸且能够与所述球面部接触的3个突出部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.26 JP 2014-1970081.一种固体浸没透镜保持器，其特征在于，是在物镜的前方保持固体浸没透镜的固体浸没透镜保持器，所述固体浸没透镜具有：球面部，其与所述物镜相对地配置；及抵接部，其包含抵接于观察对象物的抵接面，所述固体浸没透镜保持器具备：第1构件，其具有以所述球面部的一部分向所述物镜侧突出的方式将所述球面部配置于内部的第1开口；及第2构件，其具有以所述抵接面向与所述物镜侧相反侧突出的方式将所述抵接部配置于内部的第2开口，所述第1构件具有构成为自所述第1开口的内表面向所述第1开口的中心侧延伸且能够与所述球面部接触的3个突出部。2.如权利要求1所述的固体浸没透镜保持器，其特征在于，所述3个突出部以120度间隔设置于所述第1开口的周向上。3.如权利要求1或2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：寺田浩敏，荒田育男，活洲政敬，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP