玻璃基板的制造方法技术

本发明专利技术的目的在于提供一种能够使玻璃基板表面的清洁性有效率地提高的玻璃基板的制造方法。本发明专利技术的玻璃基板的制造方法具备：切断步骤，切断玻璃基板；端面加工步骤，对在切断步骤中被切断的玻璃基板的切断面也即是切断端面进行加工；以及表面处理步骤，对在切断步骤中被切断的玻璃基板的主表面进行处理。端面加工步骤是一边对切断端面供给研削液一边加工切断端面的形状。表面处理步骤是将pH值小于10的碱性液剂涂布在主表面，并且与端面加工步骤同时进行。

Method for manufacturing glass substrate

An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a glass substrate capable of efficiently improving the cleanliness of a glass substrate surface. A manufacturing method of a glass substrate of the invention: cutting step of cutting glass substrate; end processing steps, cut surface on the glass substrate is cut off in the step is also to cut face processing; and surface processing steps, the main surface of the glass substrate is cut off in the step of processing. The end face machining step is to cut off the end face while cutting off the end face to provide the cutting fluid. The surface treatment step is to coat an alkaline solution with a pH value of less than 10 on the main surface and simultaneously with the end face processing step.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃基板的制造方法
本专利技术涉及一种玻璃基板的制造方法。
技术介绍
用于液晶显示器及等离子体显示器等平板显示器(FPD，FlatPanelDisplay)的玻璃基板的表面被要求高平坦度。通常，这种玻璃基板是通过溢流下拉法而制造。关于溢流下拉法，如专利文献1(美国专利第3,338,696号)所记载，流入到成形体的上表面的槽且从槽溢出的熔融玻璃沿着成形体的两个侧面流下，在成形体的下端合流而成形玻璃带。所成形的玻璃带一边被向下方拉伸一边被缓冷。经冷却的玻璃带被切断成特定的尺寸，从而获得玻璃基板。之后，进行对玻璃基板的切断面加以研削及研磨的端面加工。在玻璃基板的端面加工中，有从端面产生玻璃的微小碎片也就是玻璃屑，并附着在玻璃基板表面的情况。附着在玻璃基板表面的玻璃屑会导致形成于表面的TFT(thin-filmtransistor，薄膜晶体管)配线等的断线及剥离，所以优选为从表面尽可能地去除玻璃屑。专利文献2(日本专利特开2008-87135号公报)中，公开了如下方法：通过使水从玻璃基板表面的中央部向端面侧以帘幕状喷出，而抑制在端面加工时产生的玻璃屑附着于玻璃基板表面。
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]然而，该方法虽然能够抑制玻璃屑附着在端面附近的表面，但有无法充分地抑制玻璃屑附着在表面的中央部的担忧。而且，由于使水向玻璃基板的表面喷出，因此有在端面加工中玻璃基板的端面振动而导致端面加工的精度降低的担忧。而且，近年来，玻璃基板的大型化及薄型化进展，将一边尺寸超出2000mm的大型玻璃基板作为高精细显示器用的玻璃基板而制造。在高精细显示器用的玻璃基板的表面，形成比以往更细线化及高密度化的TFT配线电极的图案，因此即便是以往的显示器用玻璃基板中并未视作问题的程度的微小的玻璃屑附着于表面，也会有对产品的品质产生问题的担忧。而且，大型玻璃基板的制造步骤中，为了提高生产性而必须对玻璃基板的端面以高速进行加工，因此在端面加工时会产生玻璃屑且易飞散。这样一来，对高精细显示器用的大型玻璃基板的表面要求高清洁性，所以在玻璃基板的制造步骤中需要有将附着于玻璃基板表面的玻璃屑有效率地除去的方法。因此，本专利技术的目的在于提供一种能够有效率地提高玻璃基板表面的清洁性的玻璃基板的制造方法。[解决问题的技术手段]本专利技术的玻璃基板的制造方法具备：切断步骤，切断玻璃基板；端面加工步骤，对在切断步骤中被切断的玻璃基板的切断面也就是切断端面进行加工；以及表面处理步骤，对在切断步骤中被切断的玻璃基板的主表面进行处理。端面加工步骤是一边对切断端面供给研削液一边加工切断端面的形状。表面处理步骤是将pH值小于10的碱性液剂涂布在主表面，并且与端面加工步骤同时进行。而且，优选为，碱性液剂包含表面活性剂。而且，优选为，研削液为碱性液剂，且以在20℃下具有30mN/m～50mN/m的表面张力的方式调整表面活性剂的含量。而且，优选为，玻璃基板的制造方法在表面处理步骤的后，还包含使用与碱性液剂不同的清洗液来清洗玻璃基板的清洗步骤。而且，优选为，玻璃基板是含有SiO2为50质量％～70质量％且含有Al2O3为10质量％～25质量％的铝硅酸盐玻璃或碱铝硅酸盐玻璃。而且，优选为，玻璃基板是通过溢流下拉法而制造。而且，优选为，玻璃基板是显示器用玻璃基板，具有作为一对主表面的元件形成面及粗面化面。该情况下，粗面化面优选为通过湿式蚀刻处理以算术平均粗糙度Ra成为0.3nm～0.7nm的方式被粗面化。[专利技术的效果]本专利技术的玻璃基板的制造方法能够使玻璃基板的表面的清洁性有效率地提高。附图说明图1是实施方式的玻璃基板的剖视图。图2是表示实施方式的玻璃基板的制造方法的流程图。图3是具有研削后的切断端面的玻璃基板的剖视图。图4是玻璃基板的元件形成面一侧的俯视图。图5是表示SiO2及Al2O3的ζ电位的pH值依存性的曲线图。具体实施方式(1)玻璃基板的制造方法的概略一边参照附图一边对本专利技术的实施方式的玻璃基板的制造方法进行说明。由本实施方式的玻璃基板的制造方法所制造的玻璃基板10被用于制造液晶显示器、等离子体显示器及有机EL(Electroluminescence，电致发光)显示器等平板显示器(FPD)。玻璃基板10也被用于制造太阳电池面板。玻璃基板10具有例如0.1mm～1.1mm的厚度，且具有纵360mm～3000mm及横460mm～3200mm的尺寸。图1是玻璃基板10的剖视图。玻璃基板10具有作为一主表面的元件形成面12、及作为另一主表面的粗面化面14。元件形成面12是在FPD的制造步骤中供形成TFT等半导体元件的面。元件形成面12例如是供形成低温多晶硅半导体或氧化物半导体的面，且是供形成包含低温多晶硅薄膜、ITO(IndiumThinOxide，氧化铟锡)薄膜、及彩色滤光片等的多层薄膜的面。适于高精细、高解像度的显示器用TFT面板中，TFT的栅极绝缘膜的厚度小于100nm。例如，栅极绝缘膜的厚度小于50nm的TFT面板的开发、制造也不断进展。这种TFT面板中，不仅栅极绝缘膜薄，形成半导体元件的各层的膜厚也薄。因此，元件形成面12是Ra(算术平均粗糙度：JISB0601：2001)为0.2nm以下的极光滑的面。在元件形成面12形成着TFT的玻璃基板10优选为具有配线的最小线宽小于4μm、且栅极绝缘膜的膜厚小于100nm的电路。用于TFT面板的电极的材料为Ti-Cu及Mo-Cu等Cu系材料。粗面化面14是在玻璃基板10的制造步骤中通过蚀刻处理而形成微小凹凸的面。粗面化面14以算术平均粗糙度Ra成为0.3nm～0.7nm的方式被粗面化。蚀刻处理例如为干式蚀刻处理及湿式蚀刻处理。另外，粗面化面14只要能够形成所需的表面状态，则也可以通过除蚀刻处理以外的表面处理而形成凹凸。例如，粗面化面14也可以通过胶带研磨、毛刷研磨、垫研磨、研磨粒研磨及CMP(ChemicalMechanicalPolishing，化学机械抛光)等物理研磨而形成凹凸。用于玻璃基板10的玻璃是具有以下组成的铝硅酸盐玻璃或碱铝硅酸盐玻璃。(a)SiO2：50质量％～70质量％、(b)Al2O3：10质量％～25质量％、(c)B2O3：0质量％～18质量％、(d)MgO：0质量％～10质量％、(e)CaO：0质量％～20质量％、(f)SrO：0质量％～20质量％、(g)BaO：0质量％～10质量％、(h)RO：5质量％～20质量％(R是选自Mg、Ca、Sr及Ba的至少一种)、(i)R'2O：0质量％～2.0质量％(R'是选自Li、Na及K的至少一种)、以及(j)选自SnO2、Fe2O3及CeO2的至少一种金属氧化物。另外，具有所述组成的玻璃允许其他微量成分以小于0.1质量％的范围而存在。接下来，对使用溢流下拉法的FPD用玻璃基板10的制造步骤进行说明。图2是表示玻璃基板10的制造步骤的流程图的一例。玻璃基板10的制造步骤主要包含成形步骤(步骤S1)、缓冷步骤(步骤2)、板状裁切步骤(步骤S3)、切断步骤(步骤S4)、端面加工步骤(步骤S5)、表面处理步骤(步骤S6)、粗面化步骤(步骤S7)、清洗步骤(步骤S8)、检查步骤(步骤S9)以及捆包步骤(步骤S10)。成形步骤S1中，通过溢流下拉法，由加热玻璃原料而获得的熔融本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板的制造方法，具备：切断步骤，切断玻璃基板；端面加工步骤，对在所述切断步骤中被切断的所述玻璃基板的切断面也就是切断端面进行加工；以及表面处理步骤，对在所述切断步骤中被切断的所述玻璃基板的主表面进行处理；且所述端面加工步骤是一边对所述切断端面供给研削液一边加工所述切断端面的形状，所述表面处理步骤是将pH值小于10的碱性液剂涂布在所述主表面，并且与所述端面加工步骤同时进行。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.24 JP 2015-0612261.一种玻璃基板的制造方法，具备：切断步骤，切断玻璃基板；端面加工步骤，对在所述切断步骤中被切断的所述玻璃基板的切断面也就是切断端面进行加工；以及表面处理步骤，对在所述切断步骤中被切断的所述玻璃基板的主表面进行处理；且所述端面加工步骤是一边对所述切断端面供给研削液一边加工所述切断端面的形状，所述表面处理步骤是将pH值小于10的碱性液剂涂布在所述主表面，并且与所述端面加工步骤同时进行。2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中所述碱性液剂包含表面活性剂。3.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造方法，其中所述研削液为所述碱性液剂，且以在20℃下具有30mN/m～50mN/m的表面张力...

【专利技术属性】
技术研发人员：猪饲修，小林健二，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP