The invention discloses a driving device for microwave plasma environment of the microspheres, which relates to the technical field of coating preparation, the technical scheme is that the microspheres for microwave plasma environment driving device includes a shift lever, a drive motor, vacuum plate, microspheres of copper base and microwave shielding cavity plate, rod and plate for quartz glass microspheres the material, the deflector rod is composed of straight rod and a ring, ring for placing microspheres disc, straight rod is connected with the vacuum motor; the top copper base set of circular groove, placed in the ring within the microspheres site is located in the circular groove, below the copper base for the microwave shielding cavity plate, copper seat and drive motor located in lower vacuum microwave shielding cavity plate. The microsphere driving device is used in the microwave plasma chemical vapor deposition system, and the vacuum driven motor drives the microsphere in the microsphere to do random movement to achieve uniform coating. The microsphere driving device has the advantages of simple structure and convenient use, avoids interference between the microsphere driving device and the microwave electromagnetic field, and improves the coating quality.
【技术实现步骤摘要】
用于微波等离子体环境的微球驱动装置
本专利技术属于涂层制备
,具体涉及一种能够在微波等离子体环境下对微球表面均匀涂层的微球驱动装置。
技术介绍
在科学或工业生产中,特别是惯性约束聚变研究中,需要采用微波等离子体化学气相沉积方法在各种微球(直径为毫米级)表面均匀涂镀金刚石等不同材料的涂层,并对相应涂层的表面质量有非常高的要求。目前,有较多关于在微球表面涂层的驱动装置的专利报道,如授权公告号为CN200998706Y的专利文献公开了一种微粒涂覆振荡装置,摆动杆上设置支点,摆动杆的两端分别连接偏心轮和盘,电机带动偏心轮转动使摆动杆绕着支点来回摆动,带动盘摆动,实现微粒涂覆。另外,授权公告号为CN201030355Y的专利文献公开了一种微球三维滚动装置,包括盘、摆动杆、电机、安装架和步进电机,盘与步进电机的旋转轴固定连接,电机旋转带动电机旋转轴上的偏心轮旋转,偏心轮推动摆动杆以安装架上支点柱为轴来回摆动,摆动杆带动步进电机来回摆动,同时步进电机旋转也带动微球旋转,从而达到微球的三维滚动涂覆。上述提及的两套装置虽然能完成对球形微粒外表面涂覆膜层的功能,但都因其结构特征与微波电磁场不兼容,或装置中含有对微波具有较高吸收或反射的部件,以及无法耐受微波等离子体环境中达700℃以上的高温等原因,而与微波电磁场间强烈干扰,从而无法应用于微波等离子体环境中。
技术实现思路
为了实现在微波等离子体环境下对微球表面进行均匀涂层,提高涂层质量,本专利技术提供一种用于微波等离子体环境的微球驱动装置。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:用于微波等离子体环境的微球驱动装置,包括拨 ...
【技术保护点】
用于微波等离子体环境的微球驱动装置,其特征在于:包括拨杆(1)、微球盘(2)、真空驱动电机(3)、铜座(4)和微波屏蔽腔板(5),所述拨杆(1)和微球盘(2)均为石英玻璃材质,拨杆(1)由直杆(11)和圆环(12)构成,其中圆环(12)连接于直杆(11)的一端,圆环(12)所在平面与直杆(11)相互垂直,圆环(12)内放置所述微球盘(2),直杆(11)的另一端连接所述真空驱动电机(3),真空驱动电机(3)通过固定支架(31)安装固定;所述铜座(4)的顶部设置圆槽(41),圆槽(41)上方为所述拨杆(1)的圆环(12),放置于圆环(12)内的微球盘(2)的底部位于圆槽(41)内,铜座(4)的下方为所述微波屏蔽腔板(5),微波屏蔽腔板(5)中部设置安装通孔(51),微波屏蔽腔板(5)上设置至少一个通气孔(52),通气孔(52)上下贯穿微波屏蔽腔板(5),微波屏蔽腔板(5)上还设置用于安装固定的紧固螺纹孔(53),拨杆(1)的直杆(11)穿过微波屏蔽腔板(5)的通气孔(52),所述铜座(4)和真空驱动电机(3)分别位于所述微波屏蔽腔板(5)的上下侧。
【技术特征摘要】
1.用于微波等离子体环境的微球驱动装置,其特征在于:包括拨杆(1)、微球盘(2)、真空驱动电机(3)、铜座(4)和微波屏蔽腔板(5),所述拨杆(1)和微球盘(2)均为石英玻璃材质,拨杆(1)由直杆(11)和圆环(12)构成,其中圆环(12)连接于直杆(11)的一端,圆环(12)所在平面与直杆(11)相互垂直,圆环(12)内放置所述微球盘(2),直杆(11)的另一端连接所述真空驱动电机(3),真空驱动电机(3)通过固定支架(31)安装固定;所述铜座(4)的顶部设置圆槽(41),圆槽(41)上方为所述拨杆(1)的圆环(12),放置于圆环(12)内的微球盘(2)的底部位于圆槽(41)内,铜座(4)的下方为所述微波屏蔽腔板(5),微波屏蔽腔板(5)中部设置安装通孔(51),微波屏蔽腔板(5)上设置至少一个通气孔(52),通气孔(52)上下贯穿微波屏蔽腔板(5),微波屏蔽腔板(5)上还设置用于安装固定的紧固螺纹孔(53),拨杆(1)的直杆(11)穿过微波屏蔽腔板(5)的通气孔(52),所述铜座(4)和真空驱动电机(3)分别位于所述微波屏蔽腔板(5)的上下侧。2.如权利要求1所述的用于微波等离子体环境的微球驱动装置,其特征在于:所述拨杆(1)的圆环(12)内径至...
【专利技术属性】
技术研发人员:王涛,何小珊,陈果,刘艳松,何智兵,李俊,许华,陈志梅,杜凯,
申请(专利权)人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心,
类型:发明
国别省市:四川,51
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