APF薄膜沉积设备以及APF薄膜沉积通气方法技术

本发明专利技术提供了一种APF薄膜沉积设备以及APF薄膜沉积通气方法。本发明专利技术的APF薄膜沉积设备包括：供气钢瓶、冷凝管以及气体板；其中，供气钢瓶中包含乙炔和丙酮，而且供气钢瓶经由冷凝管向气体板通入气体。在本发明专利技术中，利用包含乙炔和丙酮的供气钢瓶经由冷凝管向气体板供气，其中冷凝管过滤掉被挥发出来丙酮蒸汽，使得经由冷凝管进入气体板的气体的乙炔纯度相对于供气钢瓶更高。

APF film deposition apparatus and APF film deposition ventilation method

The invention provides a APF film deposition device and a APF film deposition ventilation method. The APF film deposition apparatus of the present invention includes an air supply cylinder, a condensing tube, and a gas plate, wherein the gas supply cylinder contains acetylene and acetone, and the gas cylinder passes the gas through the condensing tube to the gas plate. In the invention, the use of gas cylinders containing acetylene and acetone via condensing tube to supply gas in the condensation tube filter is volatilization of acetone vapor, which causes the acetylene gas into the purity of condenser tube plate relative to the gas cylinder is higher.

【技术实现步骤摘要】
APF薄膜沉积设备以及APF薄膜沉积通气方法
本专利技术涉及半导体制造领域，更具体地说，本专利技术涉及一种APF(Advancedpatterningfilm)薄膜沉积设备以及APF薄膜沉积通气方法。
技术介绍
APF(Advancedpatterningfilm)由不定型的碳为硬掩模做一些复杂的图形定义，一般由乙炔(C2H2)在高温电浆下裂解而成，而为了安全考量国家规定乙炔钢瓶一定要加入丙酮作为溶剂，丙酮本身不会参与反应。由于丙酮的存在，实际乙炔气体在流出的时候，不可避免的也会有一些丙酮挥发出来，实际的反应气体是乙炔和丙酮蒸汽的混合；特别是随着钢瓶内气压的下降，丙酮实际的沸点持续下降，导致丙酮的挥发随着钢瓶的使用越来越多，相应的乙炔的浓度也持续下降，反应到最终的APF膜厚也呈趋势下降。因此，在APF薄膜沉积领域，希望提供一种能够优化APF成膜稳定性的技术方案。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够优化APF成膜稳定性的APF薄膜沉积设备以及相应的能够优化APF成膜稳定性的APF薄膜沉积通气方法。为了实现上述技术目的，根据本专利技术，提供了一种APF薄膜沉积设备，包括：供气钢瓶、冷凝管以及气体板；其中，供气钢瓶中包含乙炔和丙酮，而且供气钢瓶经由冷凝管向气体板通入气体。优选地，所述冷凝管是双套管。优选地，双套管的外管通冷凝剂。优选地，双套管的内管流通气体。优选地，气体板包括：用于通入乙炔气体的依次连接的第一上游气阀、第一质量流量控制器和第一下游气阀，用于通入第一惰性气体的依次连接的第二上游气阀、第二质量流量控制器和第二下游气阀，用于通入第二惰性气体的依次连接的第三上游气阀、第三质量流量控制器和第三下游气阀。优选地，第一惰性气体是He气。优选地，第二惰性气体是Ar气。优选地，气体板还包括：与第一下游气阀和第二下游气阀连接的第一出口阀门、以及与第三下游气阀连接的第二出口阀门，第一出口阀门和第二出口阀门经由过滤器连接至腔室。为了实现上述技术目的，根据本专利技术，还提供了一种APF薄膜沉积通气方法，包括：利用包含乙炔和丙酮的供气钢瓶经由冷凝管向气体板供气，其中冷凝管过滤掉被挥发出来丙酮蒸汽，使得经由冷凝管进入气体板的气体的乙炔纯度相对于供气钢瓶更高。本专利技术增加冷凝管设计，冷凝回流少量挥发出的丙酮(溶剂)的蒸汽，大大减少因钢瓶压力变化带来的反应气体乙炔的浓度变化，从而使最终的膜厚更稳定。由此，本专利技术解决了APF膜厚在一个乙炔钢瓶周期内膜厚持续下降的问题，能够优化APF成膜稳定性。附图说明结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本专利技术有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中：图1示意性地示出了根据本专利技术优选实施例的APF薄膜沉积设备的示意图。需要说明的是，附图用于说明本专利技术，而非限制本专利技术。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。具体实施方式为了使本专利技术的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本专利技术的内容进行详细描述。图1示意性地示出了根据本专利技术优选实施例的APF薄膜沉积设备的示意图。如图1所示，根据本专利技术优选实施例的APF薄膜沉积设备包括：供气钢瓶100、冷凝管200以及气体板300；其中，供气钢瓶100中包含乙炔和丙酮，而且供气钢瓶100经由冷凝管200向气体板300通入气体。优选地，所述冷凝管是双套管；双套管的外管通冷凝剂，双套管的内管流通气体。如图1所示，气体板300包括：用于通入乙炔气体的依次连接的第一上游气阀11、第一质量流量控制器10和第一下游气阀12，用于通入第一惰性气体的依次连接的第二上游气阀21、第二质量流量控制器20和第二下游气阀22，用于通入第二惰性气体的依次连接的第三上游气阀31、第三质量流量控制器30和第三下游气阀32。例如，第一惰性气体是He气。例如，第二惰性气体是Ar气。如图1所示，气体板300还包括：与第一下游气阀12和第二下游气阀22连接的第一出口阀门41、以及与第三下游气阀32连接的第二出口阀门42，第一出口阀门41和第二出口阀门42经由过滤器600连接至腔室500。由此，根据本专利技术优选实施例的APF薄膜沉积通气方法可以包括：利用包含乙炔和丙酮的供气钢瓶100经由冷凝管向气体板300供气，其中冷凝管过滤掉被挥发出来丙酮蒸汽，使得经由冷凝管进入气体板300的气体的乙炔纯度相对于供气钢瓶100更高。可以看出，本专利技术在乙炔的气体管路中，增加一段冷凝管，过滤掉被挥发出来丙酮蒸汽；冷凝管让沸点较高的丙酮蒸汽冷凝回流，使的乙炔通过质量流量控制器的时候是100％的乙炔气体，彻底消除了丙酮带来的影响本专利技术增加冷凝管设计，冷凝回流少量挥发出的丙酮(溶剂)的蒸汽，大大减少因钢瓶压力变化带来的反应气体乙炔的浓度变化，从而使最终的膜厚更稳定。由此，本专利技术解决了APF膜厚在一个乙炔钢瓶周期内膜厚持续下降的问题，能够优化APF成膜稳定性。此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。可以理解的是，虽然本专利技术已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本专利技术。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本专利技术技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的
技术实现思路
对本专利技术技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本专利技术技术方案的内容，依据本专利技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本专利技术技术方案保护的范围内。而且还应该理解的是，本专利技术并不限于此处描述的特定的方法、化合物、材料、制造技术、用法和应用，它们可以变化。还应该理解的是，此处描述的术语仅仅用来描述特定实施例，而不是用来限制本专利技术的范围。必须注意的是，此处的以及所附权利要求中使用的单数形式“一个”、“一种”以及“该”包括复数基准，除非上下文明确表示相反意思。因此，例如，对“一个元素”的引述意味着对一个或多个元素的引述，并且包括本领域技术人员已知的它的等价物。类似地，作为另一示例，对“一个步骤”或“一个装置”的引述意味着对一个或多个步骤或装置的引述，并且可能包括次级步骤以及次级装置。应该以最广义的含义来理解使用的所有连词。因此，词语“或”应该被理解为具有逻辑“或”的定义，而不是逻辑“异或”的定义，除非上下文明确表示相反意思。此处描述的结构将被理解为还引述该结构的功能等效物。可被解释为近似的语言应该被那样理解，除非上下文明确表示相反意思。而且，本专利技术实施例的方法和/或系统的实现可包括手动、自动或组合地执行所选任务。而且，根据本专利技术的方法和/或系统的实施例的实际器械和设备，可利用操作系统通过硬件、软件或其组合实现几个所选任务。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种APF薄膜沉积设备，其特征在于包括：供气钢瓶、冷凝管以及气体板；其中，供气钢瓶中包含乙炔和丙酮，而且供气钢瓶经由冷凝管向气体板通入气体。

【技术特征摘要】
1.一种APF薄膜沉积设备，其特征在于包括：供气钢瓶、冷凝管以及气体板；其中，供气钢瓶中包含乙炔和丙酮，而且供气钢瓶经由冷凝管向气体板通入气体。2.根据权利要求1所述的APF薄膜沉积设备，其特征在于，所述冷凝管是双套管。3.根据权利要求2所述的APF薄膜沉积设备，其特征在于，双套管的外管通冷凝剂。4.根据权利要求2所述的APF薄膜沉积设备，其特征在于，双套管的内管流通气体。5.根据权利要求1或2所述的APF薄膜沉积设备，其特征在于，气体板包括：用于通入乙炔气体的依次连接的第一上游气阀、第一质量流量控制器和第一下游气阀，用于通入第一惰性气体的依次连接的第二上游气阀、第二质量流量控制器和第二下游气阀，用于通入第二惰性...

【专利技术属性】
技术研发人员：许隽，李锦山，龚荟卓，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31