干湿一体机及生产线制造技术

本发明专利技术提供了一种干湿一体机，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；本发明专利技术的整套设备为实现硅片的“干法制绒”工艺，集成了硅片自动插片、前清洗、硅片自动化转换到干法制绒设备上、干法制绒、硅片自动化叠片等工艺和技术。该整套设备不需要人工干预，全部使用自动化设备。在此基础上，本发明专利技术还提供了一种采用该干湿一体机的生产线。

Wet and dry machine and production line

The invention provides a dry machine, including sheet feeding machine, automatic washing machine, before the automatic loading and unloading mechanism, RIE dry making machine, automatic stacking machine and automatic basket rotation mechanism; the sheet feeding machine, automatic washing machine, automatic feeding mechanism before the next connected RIE, the dry making machine and automatic lamination machine are respectively connected with the automatic feeding mechanism is connected, the basket automatic rotating mechanism is installed and the automatic feeding machine before cleaning machine between the tablets in the plug; the invention of the complete set of equipment for the realization of the \dry silicon texturing process integrated wafer automatic inserting, cleaning, automatic conversion to dry etching of silicon devices, dry texturing, wafer stacking processes and technology. The complete set of equipment does not require manual intervention, and all use of automation equipment. On the basis of the invention, the invention also provides a production line adopting the wet and dry machine.

【技术实现步骤摘要】
干湿一体机及生产线
本专利技术涉及太阳能电池制造领域，尤其是涉及一种干湿一体机及生产线。
技术介绍
在太阳能电池中，为降低硅片对太阳光的反射，尽可能的将光能转换为电能，提高发电效率。硅片在制成电池片之前都需要对硅片表面进行处理，以降低光的反射率，在光伏行业中该工艺的名称叫做“制绒工艺”。由于制绒工艺的好坏直接影响太阳能电池的转换效率，故制绒工艺属于太阳能硅片生产制造过程中的关键工艺。近些年来，随着金刚线切割硅片的成本的大幅降低，随之而来的问题就是金刚线切割多晶硅片的表面制绒工艺用传统的酸制绒工艺不相匹配，影响了技术的推广应用。业内急需一种新工艺来解决该问题。“干法黑硅”技术应运而生，经过该技术处理的电池片可以将转换效率提高0.5％以上，具有十分重要的经济价值，而且适用于金刚切的硅片，达到了降本增效的双重效果。但是在干法制绒以前，硅片必须进行前清洗，这个清洗步骤的目的是将硅片表面的切割损伤层去除掉，同时产生无污染的均匀表面，随之立即进行干法制绒将能获得整体均匀的绒面和成色。这步前清洗需要在强酸或强碱的溶液中完成。目前使用的方法是前清洗和干法制绒在两台独立的设备中完成，设备之间硅片的转换用人工完成。这样不仅增加了成本，而且中间经过了人工流转环节，增加了工艺不确定性因素。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种干湿一体机及生产线，很大程度上解决了上述问题。本专利技术提供的干湿一体机，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；所述插片上料机用于将一整叠的硅片插入到空花篮中并送入所述自动化前清洗机；所述自动化前清洗机用于对硅片进行去损伤清洗；所述自动化上下料机构将经过清洗的硅片从花篮中取出放到RIE干法制绒机上，并将制绒后的硅片从RIE干法制绒机上取下；所述RIE干法制绒机用于在晶体硅电池表面蚀刻形成减反射层绒面；所述自动叠片机将制绒过的硅片取下，叠成一定数量；所述花篮自动回转机构将取走硅片的空花篮输送到插片上料机的出料口处。进一步地，所述插片上料机包括硅片存放装置、硅片输送装置、花篮提升机构、取料机械手和硅片提升装置；所述硅片存放装置、硅片输送装置和花篮提升机构依次连接；所述取料机械手安装在所述硅片存放装置上方；所述硅片提升装置安装在所述硅片存放装置下方并与所述硅片存放装置连接，从而改变硅片存放装置的高度。进一步地，所述自动化前清洗机包括依次连接的桁架机器人、槽体机构、干燥机构和多关节机器人；所述桁架机器人将盛满硅片的花篮抓取后放在所述自动化前清洗机的上料工位上；所述槽体机构由多个槽体组成，每个槽体内部盛着工艺液体，每个槽体内部集成自动温控单元和自动加液单元，所述槽体机构上方设置机械手抓取移栽机构；所述机械手抓取移栽机构用于将盛满硅片的花篮放在各个槽体机构的槽体内，并控制盛满硅片的花篮在各个槽体中的停留时间；所述干燥机构用于对经过槽体机构中的液体浸泡过的硅片表面烘干；所述多关节机器人将盛满硅片的花篮放置所述自动化上下料机构上。进一步地，所述自动化上下料机构包括上料花篮进出模组、上料花篮升降模组、上料晶片进给模组、上料移载模组、上料载板定位输送模组、升降模组、下料晶片进给模组、下料移载模组和下料载板定位输送模组；所述上料花篮进出模组用于将盛满硅片的花篮放入上料花篮升降模组并将空花篮移出；所述上料花篮升降模组用于将将盛满硅片的花篮移动到进花篮位置，满花篮进入，将取走硅片的空花篮移动到出花篮位置，空花篮流出；所述上料晶片进给模组将硅片移动到载板空位对应的位置并导正；所述上料移载模组将硅片移动到载板位置，放硅片；所述上料载板定位输送模组，对载板进行夹紧定位，输送到升降模组；所述升降模组将放好硅片的载板传输到RIE干法制绒机；所述下料载板定位输送模组对RIE干法制绒机制绒后的载板进行夹紧定位，输送载板到所述下料移载模组；所述下料移载模组将载板上的载板上的硅片放置到晶片进给流水线上；所述下料晶片进给模组将流水线上的硅片输送到打包流水线上。进一步地，所述RIE干法制绒机包括腔体系统、离子源系统、载板上传输机构和载板下传输机构，所述腔体系统、离子源系统、载板上传输机构依次连接；所述载板下传输机构设置在所述腔体系统、离子源系统、载板上传输机构的下方。进一步地，所述自动叠片机包括输送设备、硅片放料机构、直线升降机构、气缸自动倾斜对中装置；所述硅片放料机构布置在所述输送设备的前端，所述气缸自动倾斜对中装置设置在所述硅片放料机构下方，用于对硅片的位置进行校正；所述硅片直线升降机构设置在所述硅片对中机构下方。进一步地，所述花篮自动回转机构包括花篮旋转装置、花篮翻转机构一和花篮翻转机构二；所述花篮旋转装置安装在所述自动化清洗机上，所述花篮翻转机构一安装在所述自动化清洗机的进料端，所述花篮翻转机构二安装在所述自动化清洗机底部。进一步地，所述腔体系统包括五个单独的腔体，分别为装载腔、缓存腔、工艺腔、冷却腔和卸载腔。进一步地，所述槽体机构由七个工艺槽组成。本专利技术的干湿一体机具有如下有益效果：为解决以上问题，本专利技术整合湿法清洗、干法制绒，中间用自动化传输链接的干湿一体机。本专利技术的整套设备为实现硅片的“干法制绒”工艺，集成了硅片自动插片、前清洗、硅片自动化转换到干法制绒设备上、干法制绒、硅片自动化叠片等工艺和技术。该整套设备不需要人工干预，全部使用自动化设备。另外，本专利技术还提供了一种生产线，包括上述干湿一体机。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例一提供的干湿一体机的结构示意图；图2为本专利技术实施例一提供的插片上料机的结构示意图；图3为本专利技术实施例一提供的自动化前清洗机的结构俯视图；图4为本专利技术实施例一提供的自动化前清洗机的结构侧视图；图5为本专利技术实施例一提供的自动化上下料机构的结构示意图；图6为本专利技术实施例一提供的RIE干法制绒机的结构示意图；图7为本专利技术实施例一提供的自动叠片机的结构示意图；图8为本专利技术实施例一提供的花篮自动回转机构的结构示意图。附图标记：1－插片上料机；2－自动化前清洗机；3－自动化上下料机构；4－RIE干法制绒机；5－自动叠片机；6－花篮自动回转机构；11－硅片存放装置；12－硅片输送装置；13－花篮提升机构；14－取料机械手；15－硅片提升装置；21－桁架机器人；22－槽体机构；23－干燥机构；24－多关节机器人；25－机械手抓取移栽机构；31－上料花篮进出模组；32－上料花篮升降模组；33－上料晶片进给模组；34－上料移载模组；35－上料载板定位输送模组；36－升降模组；37－下料晶片进给模组；38－下料移载模组；39－下料载板定位输送模组；41－腔体系统；42－离子源系统；43－载板上传输机构；44－载板下传输机构；411－装载本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干湿一体机，其特征在于，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；所述插片上料机用于将一整叠的硅片插入到空花篮中并送入所述自动化前清洗机；所述自动化前清洗机用于对硅片进行去损伤清洗；所述自动化上下料机构将经过清洗的硅片从花篮中取出放到RIE干法制绒机上，并将制绒后的硅片从RIE干法制绒机上取下；所述RIE干法制绒机用于在硅片表面蚀刻形成减反射层绒面；所述自动叠片机将制绒过的硅片取下，叠成一定数量；所述花篮自动回转机构将取走硅片的空花篮输送到插片上料机的出料口处。

【技术特征摘要】
1.一种干湿一体机，其特征在于，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；所述插片上料机用于将一整叠的硅片插入到空花篮中并送入所述自动化前清洗机；所述自动化前清洗机用于对硅片进行去损伤清洗；所述自动化上下料机构将经过清洗的硅片从花篮中取出放到RIE干法制绒机上，并将制绒后的硅片从RIE干法制绒机上取下；所述RIE干法制绒机用于在硅片表面蚀刻形成减反射层绒面；所述自动叠片机将制绒过的硅片取下，叠成一定数量；所述花篮自动回转机构将取走硅片的空花篮输送到插片上料机的出料口处。2.根据权利要求1所述的干湿一体机，其特征在于，所述插片上料机包括硅片存放装置、硅片输送装置、花篮提升机构、取料机械手和硅片提升装置；所述硅片存放装置、硅片输送装置和花篮提升机构依次连接；所述取料机械手安装在所述硅片存放装置上方；所述硅片提升装置安装在所述硅片存放装置下方并与所述硅片存放装置连接，从而改变硅片存放装置的高度。3.根据权利要求1所述的干湿一体机，其特征在于，所述自动化前清洗机包括依次连接的桁架机器人、槽体机构、干燥机构和多关节机器人；所述桁架机器人将盛满硅片的花篮抓取后放在所述自动化前清洗机的上料工位上；所述槽体机构由多个槽体组成，每个槽体内部盛着工艺液体，每个槽体内部集成自动温控单元和自动加液单元，所述槽体机构上方设置机械手抓取移栽机构；所述机械手抓取移栽机构用于将盛满硅片的花篮放在各个槽体机构的槽体内，并控制盛满硅片的花篮在各个槽体中的停留时间；所述干燥机构用于对经过槽体机构中的液体浸泡过的硅片表面烘干；所述多关节机器人将盛满硅片的花篮放置所述自动化上下料机构上。4.根据权利要求1所述的干湿一体机，其特征在于，所述自动化上下料机构包括上料花篮进出模组、上料花篮升降模组、上料晶片进给模组、上料移载模组、上料载板定位输送模组...

【专利技术属性】
技术研发人员：上官泉元，谭兴波，杨虎，
申请(专利权)人：常州比太科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32