供气及排气装置制造方法及图纸

技术编号:15509551 阅读:104 留言:0更新日期:2017-06-04 03:22
本发明专利技术公开了一种供气及排气装置200。根据本发明专利技术的供气及排气装置200作为用于显示器基板10的RGB热处理工艺的供气及排气装置200,包括:多个流动气体喷射部211,所述流动气体喷射部211外面形成至少一个喷射流动气体g1的流动气体喷射口212,并且所述多个流动气体喷射部211相互间形成一定间隔而配置;以及蒸发气体排气部220,所述蒸发气体排气部220设置在所述多个流动气体喷射部211的上部,并提供所述显示器基板10上的蒸发气体s排出到外部的通路。

Gas supply and exhaust device

The invention discloses an air supply and an exhaust device 200. According to the supply and exhaust device of the invention for 200 as a display substrate 10 RGB heat treatment process of the 200 supply and exhaust device, which comprises: a plurality of flow gas spraying Part 211, the flow of the gas spraying Part 211 formed outside at least one jet flow gas flow of G1 gas injection port 212, and the plurality of the flow of gas injection part 211 formed between intervals and configuration; and the evaporation gas exhaust part 220, the evaporation gas exhaust part 220 set upper part 211 injection in the plurality of gas flow, and provides the display pathway substrate 10 evaporation gas is discharged to the outside of the s.

【技术实现步骤摘要】
供气及排气装置
本专利技术涉及一种供气及排气装置,更详细而言,涉及一种能够喷射流动气体及排出蒸发气体的供气及排气装置,以便在RGB热处理工艺中使附着在基板整个表面的溶剂均匀蒸发。
技术介绍
为了使使用液晶、发光二极管等的显示器装置发出的光表现出色彩,需要使光通过由红色(Red)、绿色(Green)、蓝色(Blue)所构成的彩色滤光片(colorfilter)。通过彩色滤光片的光通过偏光片等的同时透过率得到调节。为了能够在彩色滤光片上实现RGB,可在滤光片上滴上红色墨水,并进行热处理,并伴随使红色墨水中的溶剂(Solvent)蒸发的工艺。接下来,可依次进行在滤光片上滴上绿色墨水、蓝色墨水并进行热处理的工艺。但是,由于红色、绿色、蓝色墨水的成分各不相同,所需的工艺环境也有所差异,因此实际情况是必须将各个工艺分开进行。由此问题在于,需要分别设计并配置三个工艺温度和压力不同的热处理装置,并且可能导致装置成本、工艺时间增加。另外,将滴了墨水的滤光片进行热处理,在墨水内的溶剂蒸发的时候,须要使基板整个表面的溶剂均匀蒸发。特别是问题在于,在大面积的基板上,基板的棱角部分和基板的中央部分溶剂的蒸发程度不一样,会给显示器的色彩品质、彩色滤光片的色彩品质带来负面影响。
技术实现思路
由此,本专利技术是为了解决上述现有技术的诸多问题而提出的,目的是提供一种能够在一个系统中进行RGB热处理工艺的热处理系统。另外,本专利技术的目的是提供一种能够使基板整个表面的溶剂均匀蒸发的供气及排气装置,以及包含所述供气及排气装置的热处理装置。为了达到所述目的,就根据本专利技术的一个实施例的供气及排气装置而言,作为用于显示器基板的RGB热处理工艺的供气及排气装置,其特征在于,包括:多个流动气体喷射部,所述多个流动气体喷射部外面形成有至少一个喷射流动气体的流动气体喷射口,并且所述多个流动气体喷射部相互间形成一定间隔而配置;以及蒸发气体排气部,所述蒸发气体排气部设置在所述多个流动气体喷射部的上部,提供所述显示器基板上的蒸发气体排出到外部的通路。所述多个流动气体喷射部的两端与流动气体分配部连通,从所述流动气体分配部的一侧连通的流动气体供给管接收流动气体,从而可向所述多个流动气体喷射部供给。所述流动气体分配部的两内侧面交错突出形成多个流路形成膜,从而将流路划分为多层,并通过最下层流路向所述多个流动气体喷射部供给所述流动气体。所述流动气体喷射口朝向所述流动气体喷射部的下侧方向形成。所述蒸发气体排气部具有从下部到上部横截面积越来越小的形状,所述蒸发气体排气部的上端形成排气口。所述流动气体向下部喷射,使得所述显示器基板上的蒸发气体流动,在所述蒸发气体排气部形成排气压力,从而将所述蒸发气体吸入。所述蒸发气体通过形成一定间隔而配置的所述流动气体喷射部的间隙,向所述蒸发气体排气部排气。所述供气及排气装置还可包括辅助流动气体喷射部,所述辅助流动气体喷射部与所述显示器基板的一条边平行并且分离设置,在外面形成至少一个喷射流动气体的辅助流动气体喷射口,从而向所述显示器基板的侧面喷射流动气体。为了使所述辅助流动气体喷射部与所述显示器基板的各边相对应,所述辅助流动气体喷射部具有由第一喷射部、第二喷射部、第三喷射部、第四喷射部形成的四方环形管状,从在各角处形成的辅助流动气体供给管接收流动气体,从而可向所述辅助流动气体喷射部供给。从所述流动气体喷射部的两端到中间,所述流动气体喷射口的直径可逐渐增加。从所述流动气体喷射部的两端到中间,所述流动气体喷射口间的间隔可逐渐变窄。所述流动气体供给管可包括:流量调节阀,所述流量调节阀在所述流动气体供给管的一侧形成,以便能够调节向所述流动气体分配部供给的所述流动气体的压力;以及控制部,所述控制部对所述流量调节阀的开放量进行控制。还可包括多个加热器,所述多个加热器位于形成一定间隔而配置的流动气体喷射部的间隙,与所述流动气体喷射部平行配置。还可包括流动气体喷射管,所述流动气体喷射管一端与所述流动气体喷射口连接,另一端朝向流动气体喷射部的下侧方向延长形成。还可包括多个加热器,所述多个加热器与所述流动气体喷射部垂直配置,配置在所述流动气体喷射管和与其相邻的流动气体喷射管的间隙。在所述流动气体喷射部的下部配置收容所述加热器的加热器支撑部,在所述加热器支撑部可形成至少一个排气缝。所述蒸发气体可通过所述排气缝,向所述蒸发气体排气部排气。所述加热器支撑部和所述蒸发气体排气部可一体成型。所述加热器支撑部可贯通有所述流动气体喷射管的另一端。此外,为了达到所述目的,就根据本专利技术的一个实施例的热处理装置而言,作为一种执行显示器基板的RGB热处理工艺的热处理装置,其包括:本体,所述本体包括作为所述显示器基板的热处理空间的腔室;升降单元,所述升降单元上下运动并且支撑所述基板;加热单元,所述加热单元配置在所述本体的内侧上部和内侧下部;以及供气及排气装置。在所述本体的下部还可包括腔室排气部,所述腔室排气部将所述腔室内的气体排出。此外,为了达到所述目的,就根据本专利技术的一个实施例的热处理系统而言,其包括:基板运入部,所述基板运入部接收从外部运入的所述显示器基板;基板移送部,所述基板移送部移动所述显示器基板;多个热处理装置,所述多个热处理装置执行所述显示器基板的RGB热处理,并且在所述热处理装置的内部可配置有供气及排气装置。各个所述热处理装置执行RGB热处理的腔室的温度和压力可各不相同。根据如上所构成的本专利技术,效果在于,RGB热处理工艺可以在一个系统内进行,因此减少了设备成本和工艺时间。同时,根据本专利技术,效果在于,能够使溶剂在基板整体均匀蒸发。附图说明图1是展示根据本专利技术的一个实施例的RGB热处理系统的构成的示意图。图2是展示根据本专利技术的一个实施例的RGB热处理装置的构成的侧剖面图。图3是展示根据本专利技术的一个实施例的供气及排气装置的构成的侧剖面图。图4是展示根据本专利技术的一个实施例的供气及排气装置的构成的下部立体图。图5是展示根据本专利技术的一个实施例的供气及排气装置内的蒸发气体的移动的示意图。图6是展示现有的供气及排气装置内的蒸发气体的移动的示意图。图7是展示根据本专利技术的另一个实施例的供气及排气装置的构成的正侧剖面图。图8是展示根据本专利技术的另一个实施例的供气及排气装置的构成的左侧剖面图。图9是展示根据本专利技术的另一个实施例的供气及排气装置的构成的仰视图。具体实施方式以下所述的对于本专利技术的详细说明,是能够实施本专利技术的特定实施例的示例,参见附图。为了使所属领域的普通技术人员能够充分实施本专利技术,这些实施例会对本专利技术做出详细说明。虽然本专利技术的多个实施例互相不一样,但是应当理解,它们相互之间没有互相排斥的必要。例如,这里所记载的特定形状、构造及特性与其中一个实施例关联,在不超出本专利技术的精神和范围的前提下可以体现在另一个实施例中。另外,应当理解,在不超出本专利技术的精神和范围的前提下,所示的各个实施例中的个别构成要素的位置或者布局有可能发生变更。因此,以下所述的详细说明不是为了对本专利技术做出限定,而仅仅是为了对本专利技术的保护范围做出适切的说明,本专利技术的保护范围仅根据与权利要求的主张等同的全部范围和一并附加的权利要求所限定。附图中类似的参考标号指代多个方面相一致或者类似的功能,并且简易地描述长度与面积、厚度等这些本文档来自技高网...
供气及排气装置

【技术保护点】
一种供气及排气装置,其作为用于显示器基板的RGB热处理工艺的供气及排气装置,其特征在于,包括:多个流动气体喷射部,所述多个流动气体喷射部外面形成有至少一个喷射流动气体的流动气体喷射口,并且所述多个流动气体喷射部相互间形成一定间隔而配置;以及蒸发气体排气部,所述蒸发气体排气部设置在所述多个流动气体喷射部的上部,提供所述显示器基板上的蒸发气体排出到外部的通路。

【技术特征摘要】
2015.11.24 KR 10-2015-01647191.一种供气及排气装置,其作为用于显示器基板的RGB热处理工艺的供气及排气装置,其特征在于,包括:多个流动气体喷射部,所述多个流动气体喷射部外面形成有至少一个喷射流动气体的流动气体喷射口,并且所述多个流动气体喷射部相互间形成一定间隔而配置;以及蒸发气体排气部,所述蒸发气体排气部设置在所述多个流动气体喷射部的上部,提供所述显示器基板上的蒸发气体排出到外部的通路。2.根据权利要求1所述的供气及排气装置,其特征在于,所述多个流动气体喷射部的两端与流动气体分配部连通,从所述流动气体分配部的一侧连通的流动气体供给管接收流动气体,从而向所述多个流动气体喷射部供给。3.根据权利要求2所述的供气及排气装置,其特征在于,所述流动气体分配部的两内侧面交错突出形成多个流路形成膜,从而将流路划分为多层,并通过最下层流路向所述多个流动气体喷射部供给所述流动气体。4.根据权利要求1所述的供气及排气装置,其特征在于,所述流动气体喷射口朝向所述流动气体喷射部的下侧方向形成。5.根据权利要求1所述的供气及排气装置,其特征在于,所述蒸发气体排气部具有从下部到上部横截面积越来越小的形状,所述蒸发气体排气部的上端形成有排气口。6.根据权利要求1所述的供气及排气装置,其特征在于,所述流动气体向下部喷射,使得所述显示器基板上的蒸发气体流动,在所述蒸发气体排气部形成排气压力,从而将所述蒸发气体吸入。7.根据权利要求1所述的供气及排气装置,其特征在于,所述蒸发气体通过形成一定间隔而配置的所述流动气体喷射部的间隙,向所述蒸发气体排气部排气。8.根据权利要求1所述的供气及排气装置,其特征在于,还包括辅助流动气体喷射部,所述辅助流动气体喷射部与所述显示器基板的一条边平行并且分离设置,并在外面形成至少一个喷射流动气体的辅助流动气体喷射口,从而向所述显示器基板的侧面喷射流动气体。9.根据权利要求1所述的供气及排气装置,其特征在于,为了使所述辅助流动气体喷射部与所述显示器基板的各边相对应,所述辅助流动气体喷射部具有由第一喷射部、第二喷射部、第三喷射部、第四喷射部形成的四方环形管状,从在各角处形成的辅助流动气体供给管接收流动气体,从而向所述辅助流动气体喷射部供给。10.根据权利要求1所述的供气及排气装置,其特征在于,从所述流动气体喷射部的两端到中间,所述流动气体喷射口的直径逐渐增加。11.根据权利要求1所述的供气及排气装置,其特征在于,从所述流动气体喷射部的两...

【专利技术属性】
技术研发人员:许官善崔丁焕
申请(专利权)人:泰拉半导体株式会社
类型:发明
国别省市:韩国,KR

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