The utility model relates to a vacuum storage and test device for a sample rod of a transmission electron microscope, which belongs to the field of vacuum accessories for transmission electron microscopes. When the sample bar is stored, the sample rod can be electrified and tested by heating. The device comprises a movable frame, a vacuum pump system, a vacuum measurement and display system, a vacuum cover, a valve system, a sample rod, a storage assembly, and a plug. The device can simultaneously store a plurality of sample rods and reserve additional windows. The device can pump air pressure from the air pressure to 4 * 10 within 5 minutes
【技术实现步骤摘要】
一种透射电镜样品杆真空存储与测试装置
:本专利技术涉及一种透射电镜样品杆真空存储与测试装置,用于对透射电镜样品杆进行预抽真空存储,对透射电镜样品在进入电镜之前进行预处理,保证样品杆及样品的干燥清洁,缩短透射电镜预抽时间,减少样品杆对透射电镜的污染,提高样品杆使用寿命,也可在该装置中对透射电镜样品杆在工作真空环境进行通电、加热等调试测试。本专利技术属于透射电子显微镜真空配件领域。
技术介绍
:自上世纪三十年代透射电子显微镜专利技术以来,特别是近二十年,透射电子显微学技术在以球差矫正技术为代表的空间分辨率、单色光源为代表的能量分辨率,飞秒激光及高速CCD相机为代表的时间分辨率等领域都取得了巨大进步,为物理学、材料学、化学等领域的进步和发展做出了巨大贡献。透射电子显微镜(TEM)是研究物质微观结构的现代化大型仪器设备,在物理、化学、材料科学及生命科学等领域都有着广泛的应用。透射电子显微镜的主体可以分为三个部分:电子光学部分,真空部分和电子光学部分。电子光学部分主要包括照明系统,成像系统,观察和记录系统,真空部分包括各种真空泵及显示仪表,电子学部分包括各种光源、安全系统和控制系统。电子光学部分是电子显微镜的核心部分,真空和电子学部分是辅助系统。在透射电子显微镜中,凡是电子运行的区域都要求有尽可能高的真空度;反之,则会影响透射电子显微镜的正常工作。若没有高的真空度,高速电子与气体分子相遇并相互作用会导致随机电子散射,引起“炫光”和削弱像的衬度;电子枪还会发生电离和防电,导致电子束不稳定和闪烁;残余气体会腐蚀炽热的灯丝,缩短灯丝的使用寿命;残余气体会严重污染样品,影响 ...
【技术保护点】
一种用于透射电镜样品杆的真空存储与测试装置,其特征在于:该装置包括可移动机架,真空泵系统,真空测量组件与显示系统,阀门系统,真空罩,样品杆存储组件及堵塞;所述的真空泵系统包括涡旋干泵与分子泵,可移动机架上设置分子泵,分子泵通过前级阀与涡旋干泵连接,涡旋干泵通过预抽阀和主管道连接;所述的真空罩用于连接主阀,并连接分子泵与电离规;电离规安装在真空罩上通过真空计显示,电阻规安装在主管道通过真空计显示;所述的阀门系统包括前级阀、预抽阀、主阀、放气阀,前级阀用于控制涡旋干泵与分子泵之间连通/断开,预抽阀用于控制涡旋干泵与样品杆存储组件连通/断开,主阀用于控制分子泵与样品杆存储组件连通/断开,放气阀用于插拔样品杆时排气,便于拔出样品杆;所述的样品杆存储组件主管道上设有多个个工位,支撑法兰管套与主管道通过螺钉连接,两者之间装有密封圈保证真空,玻璃管嵌入主管道,外接法兰套管通过螺钉与管道主体连接;主管道、玻璃管与外接法兰套管三者之间的真空密封。
【技术特征摘要】
1.一种用于透射电镜样品杆的真空存储与测试装置,其特征在于:该装置包括可移动机架,真空泵系统,真空测量组件与显示系统,阀门系统,真空罩,样品杆存储组件及堵塞;所述的真空泵系统包括涡旋干泵与分子泵,可移动机架上设置分子泵,分子泵通过前级阀与涡旋干泵连接,涡旋干泵通过预抽阀和主管道连接;所述的真空罩用于连接主阀,并连接分子泵与电离规;电离规安装在真空罩上通过真空计显示,电阻规安装在主管道通过真空计显示;所述的阀门系统包括前级阀、预抽阀、主阀、放气阀,前级阀用于控制涡旋干泵与分子泵之间连通/断开,预抽阀用于控制涡旋干泵与样品杆存储组件连通/断开,主阀用于控制分子泵与样品杆存储组件连通/断开,放气阀用于插拔样品杆时排气,便于拔出样品杆;所述的样品杆存储组件主管道上设有多个个工位,支撑法兰管套与主管道通过螺钉连接,两者之间装有密封圈保证真空,玻璃管嵌入主管道,外接法兰套管通过螺钉与管道主体连接;...
【专利技术属性】
技术研发人员:韩晓东,翟亚迪,毛圣成,
申请(专利权)人:北京工业大学,
类型:发明
国别省市:北京,11
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