The invention discloses a flexible manufacturing process based on the high voltage planar switch structure and a preparation method thereof, comprising a positive electrode plate, negative electrode plate and a signal input plate, a positive electrode plate includes a cathode plate insulating substrate and a positive electrode, a negative electrode plate including a negative plate insulating substrate and a negative electrode plate comprises a signal input, exploding foil insulation substrate and the exploding foil positive electrode and negative electrode foil explosion, explosion foil positive electrode and negative electrode arranged corresponding to the exploding foil; a negative electrode plate, signal input plate, a positive electrode plate on the laminated plane composed of high-voltage switch structure, the positive electrode and the negative electrode of overlapping part in spatial position, separated by insulating substrate and positive electrode plate with the negative electrode plate, between the exploding foil positive electrode and negative electrode wire exploding foil through the cross section. The invention adopts the preparation process of high voltage planar switch flexible printed circuit board, high voltage switch reduces the volume of the structure of the plane, to realize the integration between easy and other devices; due to the use of electric explosion plasma breakdown dielectric breakdown, faster response time switch.
【技术实现步骤摘要】
基于柔性制造工艺的高压平面开关结构及其制备方法
本专利技术涉及火工品技术和脉冲功率
,尤其涉及一种基于柔性制造工艺的高压平面开关结构及其制备方法。
技术介绍
在火工品技术与脉冲功率
,平面开关区别于传统的立体式气体火花隙开关和真空开关,具有小型化和微型化特点,可降低系统体积,便于开关和其他器件的集成。2006年,王桂吉等发表题为“平面火花隙三电极开关研制及性能测试”的论文,提出在聚甲基丙烯酸甲酯衬底上加工正负电极和电加热器,其中正负电极材料为不锈钢和黄铜两种,电加热器为铜钨合金,但是这种开关体积较大,不便于和其它器件集成使用,而且接入电路产生电感较大,会对放电电流的峰值产生较大的削弱作用。通常为了保证开关的载流能力,所设计的开关在需要一定气体氛围下工作,工作电压范围限制较为明显,而且容易受强烈震动和强电磁辐射环境影响,实际使用场合受到限制。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足之处,本专利技术的目的在于提供一种基于柔性制造工艺的高压平面开关结构及其制备方法,采用柔性印制电路板工艺,通过正电极板、负电极板和信号输入极板三层结构压合而成,更加小型化和微型化,降低了高压平面开关结构的体积,更加容易与其他器件之间实现集成。本专利技术的目的通过下述技术方案实现:一种基于柔性制造工艺的高压平面开关结构,包括正电极板、负电极板和信号输入极板,所述正电极板包括正极板绝缘衬底和设置于正极板绝缘衬底上的正电极,所述负电极板包括负极板绝缘衬底和设置于负极板绝缘衬底上的负电极,所述信号输入极板包括爆炸箔绝缘衬底和设置于爆炸箔绝缘衬底上的爆炸箔正电极、爆炸箔负电极,所述爆炸 ...
【技术保护点】
一种基于柔性制造工艺的高压平面开关结构,其特征在于:包括正电极板(1)、负电极板(2)和信号输入极板(3),所述正电极板(1)包括正极板绝缘衬底(11)和设置于正极板绝缘衬底(11)上的正电极(12),所述负电极板(2)包括负极板绝缘衬底(21)和设置于负极板绝缘衬底(21)上的负电极(22),所述信号输入极板(3)包括爆炸箔绝缘衬底(31)和设置于爆炸箔绝缘衬底(31)上的爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33),所述爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33)对应设置;所述负电极板(2)、信号输入极板(3)、正电极板(1)对应上下层压构成高压平面开关结构,所述正电极板(1)的正电极(12)与负电极板(2)的负电极(22)在空间位置上存在交叉部分(4),并且正电极板(1)与负电极板(2)之间通过绝缘衬底隔开,所述爆炸箔正电极(32)与爆炸箔负电极(33)之间的连线经过该交叉部分(4);所述正极板绝缘衬底(11)、负极板绝缘衬底(21)、爆炸箔绝缘衬底(31)均由聚酰亚胺材料制造而成,所述正电极(12)、负电极(22)、爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33)均为铜箔材料制造出的覆铜 ...
【技术特征摘要】
1.一种基于柔性制造工艺的高压平面开关结构,其特征在于:包括正电极板(1)、负电极板(2)和信号输入极板(3),所述正电极板(1)包括正极板绝缘衬底(11)和设置于正极板绝缘衬底(11)上的正电极(12),所述负电极板(2)包括负极板绝缘衬底(21)和设置于负极板绝缘衬底(21)上的负电极(22),所述信号输入极板(3)包括爆炸箔绝缘衬底(31)和设置于爆炸箔绝缘衬底(31)上的爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33),所述爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33)对应设置;所述负电极板(2)、信号输入极板(3)、正电极板(1)对应上下层压构成高压平面开关结构,所述正电极板(1)的正电极(12)与负电极板(2)的负电极(22)在空间位置上存在交叉部分(4),并且正电极板(1)与负电极板(2)之间通过绝缘衬底隔开,所述爆炸箔正电极(32)与爆炸箔负电极(33)之间的连线经过该交叉部分(4);所述正极板绝缘衬底(11)、负极板绝缘衬底(21)、爆炸箔绝缘衬底(31)均由聚酰亚胺材料制造而成,所述正电极(12)、负电极(22)、爆炸箔正电极(32)、爆炸箔负电极(33)均为铜箔材料制造出的覆铜膜。2.按照权利要求1所述的基于柔性制造工艺的高压平面开关结构,其特征在于:所述爆炸箔正电极(32)与爆炸箔负电极(33)通过导电材料电连接,该导电材料在空间位置上经过该交叉部分(4)。3.按照权利要求1或2所述的基于柔性制造工艺的高压平面开关结构,其特征在于:所述负电极板(2)对应爆炸箔正电极(32)开有缺口(23),所述负电极板(2)对应爆炸箔负电极(33)开有缺口(23)。4.按照权利要求3所述的基于柔性制造工艺...
【专利技术属性】
技术研发人员:吕军军,王万军,付秋波,郭菲,
申请(专利权)人:中国工程物理研究院化工材料研究所,
类型:发明
国别省市:四川,51
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