The invention discloses a ceramic substrate vacuum transfer device, which comprises a base, a base is arranged in the control box, the upper part of the base is welded with a mounting seat mounting seat is hinged with a swinging arm, a swing arm is fixedly connected with the rotary disc and rotating disc is rotatably connected with transfer arm assembly, transfer arm assembly the front end is provided with a mounting hole, mounting hole of upper and lower sides are respectively connected with a first transfer arm and the second arm moving, the first transfer arm has a first driving mechanism, second transfer arm has second driving mechanism, the first shifting front arm is rotatably connected to the first bearing bearing bracket, the first bracket is provided with a vacuum chuck second carrying the front end of the arm is rotatably connected to the second bearing bracket, the first bearing bracket is also provided with vacuum suction. Ceramic substrate vacuum transfer device is provided with two independently driven shifting arm, two arm shifting process without mutual influence, in the transfer process, moving carrier can also transfer vacuum adsorption can be suspended, transfer.
【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷基板真空移载装置
:本专利技术涉及陶瓷基板运输设备领域,具体涉及一种陶瓷基板真空移载装置。
技术介绍
:由于陶瓷基板具有优良的导热性和气密性,能够满足电子整机对电路的诸多要求,所以在近几年获得了广泛的应用,例如陶瓷基板已被广泛应用于功率电子、电子封装、混合微电子与多芯片模块等领域。依据陶瓷基板所使用的烧成温度的不同,其制程可分为低温共烧多层陶瓷(LTCC)基板和高温共烧多层陶瓷(HTCC)基板两种。低温共烧多层陶瓷基板的制造原理基本上是先将无机的氧化铝粉与约30%~50%的玻璃材料加上有机黏结剂,使其混合均匀成为泥状的浆料,接着利用刮刀把浆料刮成片状,再经由一道干燥过程将片状浆料形成一片片薄薄的生胚,然后依各层的设计钻导通孔,作为各层讯号的传递,LTCC内部线路则运用网版印刷技术,分别于生胚上做填孔及印制线路,内外电极则可分别使用银、铜、金等金属,最后将各层做叠层动作并予以压合,放置于小于850~900℃的烧结炉中烧结成型,即可完成。高温共烧多层陶瓷基板的生产制造过程与低温共烧多层陶瓷基板极为相似,主要的差异点在于高温共烧多层陶瓷基板的陶瓷粉末并无加入玻璃材质,因此,高温共烧多层陶瓷基板必须在高温1300~1600℃环境下干燥硬化成生胚,接着同样钻上导通孔,以网版印刷技术填孔与印制线路,因其共烧温度较高,使得金属导体材料的选择受限,其主要的材料为熔点较高但导电性却较差的钨、钼、锰等金属,最后再叠层烧结成型。可见无论是LTCC,还是HTCC,二者的制造技术基本相似,均需要将形成切割线的积层陶瓷基板生胚薄片进行烧结。在实际生产中,陶瓷基板的薄片结构在移 ...
【技术保护点】
一种陶瓷基板真空移载装置,其特征在于:包括底座(11),底座(11)内设置有控制箱,底座上部焊接有安装座(12),安装座(12)上铰接有摆动臂(13),摆动臂(13)上部固定连接有转动圆盘,转动圆盘上端转动连接有移载臂总成(14),移载臂总成(14)前端设置有安装孔,安装孔上侧和下侧分别连接有第一移载臂(15)和第二移载臂(16),第一移载臂(15)具有第一驱动机构,第二移载臂(16)具有第二驱动机构,第一移载臂(15)前端转动连接有第一承载支架(17),第一承载支架(17)上设置有真空吸盘(2),第二移载臂(16)前端转动连接有第二承载支架(18),第一承载支架(18)上也设置有真空吸盘;真空吸盘(2)包括主体部(23)、连接部(26)以及吸盘部(27),主体部(23)与连接部(26)通过紧固螺钉(29)固定连接,吸盘部(27)紧密套设在连接部(26)上,主体部(23)外部还连接有真空管路(21);主体部(23)为中空结构,其内部设置有固定件(24),固定件(24)下部具有托举件(25),固定件(24)包括球头和设置在球头上部的管状部,球头和管状部均设置有通路,管状部穿出主体部(23 ...
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷基板真空移载装置,其特征在于:包括底座(11),底座(11)内设置有控制箱,底座上部焊接有安装座(12),安装座(12)上铰接有摆动臂(13),摆动臂(13)上部固定连接有转动圆盘,转动圆盘上端转动连接有移载臂总成(14),移载臂总成(14)前端设置有安装孔,安装孔上侧和下侧分别连接有第一移载臂(15)和第二移载臂(16),第一移载臂(15)具有第一驱动机构,第二移载臂(16)具有第二驱动机构,第一移载臂(15)前端转动连接有第一承载支架(17),第一承载支架(17)上设置有真空吸盘(2),第二移载臂(16)前端转动连接有第二承载支架(18),第一承载支架(18)上也设置有真空吸盘;真空吸盘(2)包括主体部(23)、连接部(26)以及吸盘部(27),主体部(23)与连接部(26)通过紧固螺钉(29)固定连接,吸盘部(27)紧密套设在连接部(26)上,主体部(23)外部还连接有真空管路(21);主体部(23)为中空结构,其内部设置有固定件(24),固定件(24)下部具有托举件(25),固定件(24)包括球头和设置在球头上部的管状部,球头和管状部均设置有通路,管状部穿出主体部(23)与真空管路(21)通过卡箍(22)密闭连接,球头内部的通路向外延伸并与穿过连接部(26...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶芳,
申请(专利权)人:佛山市华普瑞联机电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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