The invention discloses a ceramic substrate production line transport equipment, including the first conveying device and second vertically arranged between the first conveying device, conveying device and conveying device is provided with second transfer device, transfer device comprises a slide rail on the upper part, sliding rail is arranged inside the chute, chute is slidably mounted a connecting arm the connection arm can flex, movement and rotation movement, the lower end of the connecting arm is connected with the Ministry of Transport Ministry of transport grab grab; including upper and lower settings of the first seal cavity and the second cavity second seal cavity is arranged at the lower end of a telescopic sucker, vacuum sucker and telescopic pipe, vacuum pipe is provided with a plurality of 11 corresponding with the telescopic sucker solenoid valve, vacuum pipeline connected with the vacuum pump summary. The invention utilizes the vacuum chuck to carry out the transportation of the ceramic substrate, avoids the direct contact between the traditional equipment and the ceramic substrate, effectively prevents the damage of the ceramic substrate, and has high transportation efficiency and simple structure.
【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷基板生产线转运设备
:本专利技术涉及陶瓷基板生产
,具体涉及一种陶瓷基板生产线转运设备。
技术介绍
:随着高功率电力电子、电子信息、半导体技术向高集成化、高速化、微型化、智能化发展,对其中起承载元件、外联、保护和冷却等作用的主要元件之一的陶瓷基板的要求越来越高,主要集中体现在对其热导率和介电性能方面的要求。其中,氮化铝(AlN)陶瓷以其优异的高热导率、低介电常数、与Si相匹配的热膨胀系数以及其它优良的物理化学性能,受到了国内外学术界和生产厂家的广泛关注,被誉为新一代高密度封装的理想基板材料。氮化铝陶瓷基板的热导率理论值可达到320W.m-1.K-1,工业生产中制成的连续化产品一般在200W.m-1.K-1左右。已经在大功率模块电路、大功率晶体管、半导体激光器、开关电源以及其他既要求高导热又要求良好绝缘性能的大功率器件上取得了广泛应用。目前陶瓷基板的成型方法主要有流延成型、干压成型等。然而,陶瓷基板具有高硬度及易脆等特性,使得加工、运输、包装过程易出现损毁,以致于工艺良率降低。因此,如何实现陶瓷基板在生产线中的安全高效转运实属当前重要课题之一。
技术实现思路
:本专利技术的目的就是针对现有技术的不足,提供一种陶瓷基板生产线转运设备。本专利技术的技术解决措施如下:陶瓷基板生产线转运设备包括垂直设置的第一输送装置和第二输送装置,第一输送装置和第二输送装置的衔接处设置有转运装置,转运装置包括位于上部的滑动轨道,滑动轨道内部设置有滑槽,滑槽内滑动安装有连接臂,连接臂能够进行伸缩动作和旋转动作,连接臂的下端连接有转运抓取部;转运抓取部包括上下设置的第一密封腔 ...
【技术保护点】
一种陶瓷基板生产线转运设备,其特征在于:包括垂直设置的第一输送装置和第二输送装置,第一输送装置和第二输送装置的衔接处设置有转运装置,转运装置包括位于上部的滑动轨道(11),滑动轨道(11)内部设置有滑槽,滑槽内滑动安装有连接臂(12),连接臂(12)能够进行伸缩动作和旋转动作,连接臂(12)的下端连接有转运抓取部(4);转运抓取部(4)包括上下设置的第一密封腔(43)和第二密封腔(44),第二密封腔(44)下端设置有多个伸缩吸盘(5),伸缩吸盘(5)与真空管路(46)连通,真空管路(46)上设置有多个与伸缩吸盘(5)一一对应的电磁阀门(45),真空管路(46)汇总后与真空泵(40)连接;第二密封腔(44)的侧面设置有压力表(41);伸缩吸盘(5)包括底座(57),底座(57)为“几”字形结构,包括位于两侧的水平部分和中间的凸起部分,两侧的水平部分通过锁紧螺栓(91)和锁紧螺母(92)实现与第二密封腔(44)之间的可拆卸连接;凸起部分的上部焊接有第一固定架(56),第一固定架(56)正上方还设置有第二固定架(51),第二固定架(51)上设置有吸气孔(59),第二固定架(51)的外侧连接有 ...
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷基板生产线转运设备,其特征在于:包括垂直设置的第一输送装置和第二输送装置,第一输送装置和第二输送装置的衔接处设置有转运装置,转运装置包括位于上部的滑动轨道(11),滑动轨道(11)内部设置有滑槽,滑槽内滑动安装有连接臂(12),连接臂(12)能够进行伸缩动作和旋转动作,连接臂(12)的下端连接有转运抓取部(4);转运抓取部(4)包括上下设置的第一密封腔(43)和第二密封腔(44),第二密封腔(44)下端设置有多个伸缩吸盘(5),伸缩吸盘(5)与真空管路(46)连通,真空管路(46)上设置有多个与伸缩吸盘(5)一一对应的电磁阀门(45),真空管路(46)汇总后与真空泵(40)连接;第二密封腔(44)的侧面设置有压力表(41);伸缩吸盘(5)包括底座(57),底座(57)为“几”字形结构,包括位于两侧的水平部分和中间的凸起部分,两侧的水平部分通过锁紧螺栓(91)和锁紧螺母(92)实现与第二密封腔(44)之间的可拆卸连接;凸起部分的上部焊接有第一固定架(56),第一固定架(56)正上方还设置有第二固定架(51),第二固定架(51)上设置有吸气孔(59),第二固定架(51)的外侧连接有吸盘部(50);第一固定架(56)与第二固定架(51)之间通过弹性密封管(52)连接;第一固定架(56)、第二固定架(51)以及弹性密封管(52)共同形成的空间内设置有伸缩弹簧(53),伸缩弹簧(53)上部连接有第二连接块(55)、下部连接有第一连接块(54),第二连接块(55)与第二固定架(51)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶芳,
申请(专利权)人:佛山市华普瑞联机电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。