化学机械抛光机及用于其的抛光组件制造技术

本发明专利技术公开了一种化学机械抛光机及用于其的抛光组件，所述抛光组件包括：下支架、上支架、驱动转塔和两个抛光头组件，下支架上设有工作台和抛光盘；上支架架设在下支架上；驱动转塔悬挂在上支架上且驱动转塔的至少一部分相对于下支架可枢转；两个抛光组件分别设在驱动转塔上，以在驱动转塔的枢转下在与工作台位置对应的装卸位置和与抛光盘位置对应的抛光位置之间可移动，其中，当两个抛光头组件中的其中一个位于装卸位置时，另一个位于抛光位置。根据本发明专利技术实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件，一个抛光头组件进行抛光时，另一个抛光头组件可以执行装卸晶圆，两个抛光头组件可以交替抛光，从而可以持续不间断工作，进而可以提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
化学机械抛光机及用于其的抛光组件
本专利技术涉及平坦化加工
，更具体地，涉及一种化学机械抛光机及用于其的抛光组件。
技术介绍
相关技术中的化学机械抛光机，通常设有一个抛光头，通过抛光头的平移在抛光工位和装载工位之间切换。抛光头在执行装卸晶圆时，抛光盘只能闲置，加上晶圆的装卸与传送耗时较长，化学抛光机的整体工作效率较低。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术提出了一种用于化学机械抛光机的抛光组件，所述抛光组件中一个抛光头组件进行抛光时，另一个抛光头组件可以执行装卸晶圆，两个抛光头组件可以交替抛光，从而可以持续不间断工作，进而可以提高工作效率。本专利技术还提出了一种具有上述抛光组件的化学机械抛光机。根据本专利技术实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件，包括：下支架、上支架、驱动转塔和两个抛光头组件，所述下支架上设有工作台和抛光盘；所述上支架架设在所述下支架上；所述驱动转塔悬挂在所述上支架上且所述驱动转塔的至少一部分相对于所述下支架可枢转；用于装卸晶圆和夹持晶圆进行抛光的两个抛光头组件，两个所述抛光组件分别设在所述驱动转塔上，以在所述驱动转塔的枢转下在与所述工作台位置对应的装卸位置和与所述抛光盘位置对应的抛光位置之间可移动，其中，当两个抛光头组件中的其中一个位于装卸位置时，两个所述抛光头组件中的其中另一个位于所述抛光位置。根据本专利技术实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件，一个抛光头组件进行抛光时，另一个抛光头组件可以执行装卸晶圆，两个抛光头组件可以交替抛光，从而可以持续不间断工作，进而可以提高工作效率。另外，根据本专利技术上述实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件还可以具有如下附加的技术特征：根据本专利技术的一些实施例，所述驱动转塔包括：转塔轴，所述转塔轴的上端与所述上支架可枢转地相连，所述转塔轴沿竖直方向由上向下延伸；转塔平台，所述转塔平台与所述转塔轴的下端相连，两个所述抛光头组件设在所述转塔平台上且位于所述转塔轴的两侧；转塔驱动器，所述转塔驱动器安装在所述上支架上且与所述转塔轴相连以驱动所述转塔轴带动所述转塔平台枢转。根据本专利技术的一些实施例，所述转塔组件还包括：转塔变速器，所述转塔驱动器通过所述转塔变速器驱动所述转塔轴枢转。可选地，所述上支架包括：顶板，所述顶板沿水平方向延伸且与所述下支架间隔开设置，所述转塔轴的上端可枢转地设在所述顶板上；两个支撑腿，两个支撑腿的上端分别与所述顶板的两端相连，两个所述支撑腿的下端分别与所述下支架相连。可选地，所述工作台和所述抛光盘的分布方向与所述顶板的延伸方向垂直。根据本专利技术的一些实施例，所述转塔平台上设有通孔，每个所述抛光头组件包括：抛光驱动器，所述抛光头驱动器安装在所述转塔平台上；抛光头，所述抛光头位于所述转塔平台的下方，所述抛光驱动器的输出轴穿过所述通孔与所述抛光头相连，以驱动所述抛光头转动。可选地，每个所述抛光头组件还包括：抛光平移单元，所述抛光平移单元设在所述转塔平台上且与所述抛光驱动器相连以驱动所述抛光驱动器移动。根据本专利技术的一些实施例，所述抛光组件还包括：抛光液输送器，所述抛光液输送器设在所述下支架上且其一端延伸向所述抛光盘以向所述抛光盘上输送抛光液。根据本专利技术的一些实施例，所述抛光组件还包括：抛光垫，所述抛光垫设在所述抛光盘上；修整器，所述修整器可枢转地设在所述下支架上以修整所述抛光垫的位置。根据本专利技术实施例的化学机械抛光机，包括根据本专利技术上述实施例的抛光组件。根据本专利技术实施例的化学机械抛光机，通过设置根据本专利技术上述实施例的抛光组件，在一个抛光头组件进行抛光时，另一个抛光头组件可以执行装卸晶圆，两个抛光头组件可以交替抛光，从而可以持续不间断工作，提高工作效率。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明图1是根据本专利技术实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件的立体图；图2是根据本专利技术实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件的正视图；图3是根据本专利技术实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件在一种状态下的俯视示意图；图4是根据本专利技术实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件在另一种状态下的俯视示意图。附图标记：100：抛光组件；200：晶圆；1：下支架；11：工作台；12：抛光盘；2：上支架；21：顶板；22：支撑腿；3：驱动转塔；31：转塔轴；32：转塔平台；321：通孔；33：转塔驱动器；34：转塔变速器；35：支撑件；4：抛光头组件；401：第一抛光头组件；402：第二抛光头组件；41：抛光驱动器；42：抛光头；43：抛光平移单元；5：抛光液输送器；6：抛光垫；7：修整器。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制，本领域的普通技术人员在本专利技术的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下面结合附图详细描述根据本专利技术实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件100，其中，上下方向以抛光组件100正常使用时的上下方向为准。参照图1和图2所示，根据本专利技术实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件100可以包括：下支架1、上支架2、驱动转塔3和两个抛光头组件4。具体而言，如图1和图2所示，下支架1上可以设有工作台11和抛光盘12，工作台11可供装卸晶圆200，抛光盘12上可以进行抛光工作。上支架2可以架设在下支架1上，驱动转塔3可以悬挂在上支架2上，并且驱动转塔3的至少一部分相对于下支架1可枢转，以驱动后续抛光头组件4运动，悬挂设置的驱动转塔3可以减小整个抛光组件100的占用空间，使结构简单紧凑。两个抛光头组件4可用于装卸晶圆200和夹持晶圆200进行抛光，如图1-图4所示，两个抛光头组件4可分别设在驱动转塔3上，以在驱动转塔3的枢转下在与工作台11位置对应的装卸位置和与抛光盘12位置对应的抛光位置之间可移动，其中，当两个抛光头组件4中的其中一个位于装卸位置时，两个抛光头组件4中的其中另一个可以位于抛光位置。也就是说，驱动转塔3枢转时，可以带动两个抛光头组件4移动，使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，包括：下支架，所述下支架上设有工作台和抛光盘；上支架，所述上支架架设在所述下支架上；驱动转塔，所述驱动转塔悬挂在所述上支架上且所述驱动转塔的至少一部分相对于所述下支架可枢转；用于装卸晶圆和夹持晶圆进行抛光的两个抛光头组件，两个所述抛光组件分别设在所述驱动转塔上，以在所述驱动转塔的枢转下在与所述工作台位置对应的装卸位置和与所述抛光盘位置对应的抛光位置之间可移动，其中，当两个抛光头组件中的其中一个位于装卸位置时，两个所述抛光头组件中的其中另一个位于所述抛光位置。

【技术特征摘要】
1.一种用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，包括：下支架，所述下支架上设有工作台和抛光盘；上支架，所述上支架架设在所述下支架上；驱动转塔，所述驱动转塔悬挂在所述上支架上且所述驱动转塔的至少一部分相对于所述下支架可枢转；用于装卸晶圆和夹持晶圆进行抛光的两个抛光头组件，两个所述抛光组件分别设在所述驱动转塔上，以在所述驱动转塔的枢转下在与所述工作台位置对应的装卸位置和与所述抛光盘位置对应的抛光位置之间可移动，其中，当两个抛光头组件中的其中一个位于装卸位置时，两个所述抛光头组件中的其中另一个位于所述抛光位置。2.根据权利要求1所述的用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，所述驱动转塔包括：转塔轴，所述转塔轴的上端与所述上支架可枢转地相连，所述转塔轴沿竖直方向由上向下延伸；转塔平台，所述转塔平台与所述转塔轴的下端相连，两个所述抛光头组件设在所述转塔平台上且位于所述转塔轴的两侧；转塔驱动器，所述转塔驱动器安装在所述上支架上且与所述转塔轴相连以驱动所述转塔轴带动所述转塔平台枢转。3.根据权利要求2所述的用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，所述转塔组件还包括：转塔变速器，所述转塔驱动器通过所述转塔变速器驱动所述转塔轴枢转。4.根据权利要求2所述的用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，所述上支架包括：顶板，所述顶板沿水平方向延伸且与所述下支架间...

【专利技术属性】
技术研发人员：路新春，李昆，赵德文，雒建斌，温诗铸，许振杰，沈攀，王同庆，郭振宇，裴召辉，
申请(专利权)人：天津华海清科机电科技有限公司，清华大学，
类型：发明
国别省市：天津,12