The utility model discloses an ultrasonic fingerprint sensor. The ultrasonic fingerprint sensor comprises a frame and a plurality of piezoelectric columns. The frame comprises an insulating substrate, and an insulating substrate is etched to form a plurality of through holes arranged in array. The piezoelectric column is formed by filling the piezoelectric material to the through hole. The ultrasonic fingerprint sensor of the utility model adopts the etching mode to form a frame on the insulating base, and then the piezoelectric material is filled in the frame to form a piezoelectric column, thereby forming an ultrasonic fingerprint sensor. Because the etching equipment is low in cost and simple in technology, the cost of the ultrasonic fingerprint sensor can be reduced.
【技术实现步骤摘要】
超声波指纹传感器
本技术涉及指纹传感器技术,特别涉及一种超声波指纹传感器。
技术介绍
现有的超声波传感器包括压电柱阵列,每个压电柱对应超声波指纹传感器的一个像素,通过每个压电柱激发超声波及检测反射的超声波可以检测指纹对应像素的像素值,从而最终实现指纹识别。现有的压电柱需要通过微机电系统加工得到,设备成本高且工艺复杂,导致产品成本高。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本技术需要提供一种超声波指纹传感器。一种超声波指纹传感器,所述超声波指纹传感器包括:框架,所述框架包括绝缘基底,所述绝缘基底蚀刻形成有呈阵列排布的多个通孔;及与所述多个通孔对应的多个压电柱,所述压电柱通过填充压电材料到所述通孔形成。在某些实施方式中,所述通孔的横截面包括矩形、圆形或三角形。在某些实施方式中,所述通孔沿第一方向排成多行并且沿第二方向排成多列,所述第一方向与所述第二方向之间的夹角为直角或锐角。在某些实施方式中,相邻两个所述通孔之间的距离小于50微米。在某些实施方式中,所述框架的高度为70-80微米。在某些实施方式中,所述压电柱的两端与所述框架的两个表面平齐。在某些实施方式中,所述超声波指纹传感器包括:形成在所述框架下方的多条发射极线,每条发射极线与对应一行所述压电柱连接;及/或形成在所述框架上方的多条接收极线,每条接收极线与对应一列所述压电柱连接。在某些实施方式中,所述发射极线及/或所述接收极线的厚度为2.5微米。在某些实施方式中,所述超声波指纹传感器包括:覆盖所述接收极线的上保护层;及/或覆盖所述发射极线的下保护层。在某些实施方式中,所述上保护层及/或所 ...
【技术保护点】
一种超声波指纹传感器,其特征在于包括:框架,所述框架包括绝缘基底,所述绝缘基底蚀刻形成有呈阵列排布的多个通孔;及与所述多个通孔对应的多个压电柱,所述压电柱通过填充压电材料到所述通孔形成。
【技术特征摘要】
1.一种超声波指纹传感器,其特征在于包括:框架,所述框架包括绝缘基底,所述绝缘基底蚀刻形成有呈阵列排布的多个通孔;及与所述多个通孔对应的多个压电柱,所述压电柱通过填充压电材料到所述通孔形成。2.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于,所述通孔的横截面包括矩形、圆形或三角形。3.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于,所述通孔沿第一方向排成多行并且沿第二方向排成多列,所述第一方向与所述第二方向之间的夹角为直角或锐角。4.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于,相邻两个所述通孔之间的距离小于50微米。5.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于,所述框架的高度为70-80微米。6.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于,所述压电柱的两端与所述框架的两个表面平齐。7.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于包括:形成在所述框架下方的多条...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙文思,白安鹏,
申请(专利权)人:南昌欧菲生物识别技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江西,36
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