超声波指纹传感器制造技术

技术编号:15464351 阅读:188 留言:0更新日期:2017-06-01 08:00
本实用新型专利技术公开了一种超声波指纹传感器。超声波指纹传感器包括框架及多个压电柱。框架包括绝缘基底,绝缘基底蚀刻形成有呈阵列排布的多个通孔。压电柱通过填充压电材料到通孔形成。本实用新型专利技术实施方式的超声波指纹传感器,利用蚀刻方式在绝缘基底上形成框架,再在框架中填充压电材料形成压电柱,从而形成超声波指纹传感器。由于蚀刻的设备成本低且工艺简单,因此可以降低超声波指纹传感器的成本。

Ultrasonic fingerprint sensor

The utility model discloses an ultrasonic fingerprint sensor. The ultrasonic fingerprint sensor comprises a frame and a plurality of piezoelectric columns. The frame comprises an insulating substrate, and an insulating substrate is etched to form a plurality of through holes arranged in array. The piezoelectric column is formed by filling the piezoelectric material to the through hole. The ultrasonic fingerprint sensor of the utility model adopts the etching mode to form a frame on the insulating base, and then the piezoelectric material is filled in the frame to form a piezoelectric column, thereby forming an ultrasonic fingerprint sensor. Because the etching equipment is low in cost and simple in technology, the cost of the ultrasonic fingerprint sensor can be reduced.

【技术实现步骤摘要】
超声波指纹传感器
本技术涉及指纹传感器技术,特别涉及一种超声波指纹传感器。
技术介绍
现有的超声波传感器包括压电柱阵列,每个压电柱对应超声波指纹传感器的一个像素,通过每个压电柱激发超声波及检测反射的超声波可以检测指纹对应像素的像素值,从而最终实现指纹识别。现有的压电柱需要通过微机电系统加工得到,设备成本高且工艺复杂,导致产品成本高。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本技术需要提供一种超声波指纹传感器。一种超声波指纹传感器,所述超声波指纹传感器包括:框架,所述框架包括绝缘基底,所述绝缘基底蚀刻形成有呈阵列排布的多个通孔;及与所述多个通孔对应的多个压电柱,所述压电柱通过填充压电材料到所述通孔形成。在某些实施方式中,所述通孔的横截面包括矩形、圆形或三角形。在某些实施方式中,所述通孔沿第一方向排成多行并且沿第二方向排成多列,所述第一方向与所述第二方向之间的夹角为直角或锐角。在某些实施方式中,相邻两个所述通孔之间的距离小于50微米。在某些实施方式中,所述框架的高度为70-80微米。在某些实施方式中,所述压电柱的两端与所述框架的两个表面平齐。在某些实施方式中,所述超声波指纹传感器包括:形成在所述框架下方的多条发射极线,每条发射极线与对应一行所述压电柱连接;及/或形成在所述框架上方的多条接收极线,每条接收极线与对应一列所述压电柱连接。在某些实施方式中,所述发射极线及/或所述接收极线的厚度为2.5微米。在某些实施方式中,所述超声波指纹传感器包括:覆盖所述接收极线的上保护层;及/或覆盖所述发射极线的下保护层。在某些实施方式中,所述上保护层及/或所述下保护层的厚度为5微米左右。在某些实施方式中,所述超声波指纹传感器包括:贯穿所述框架的多根导线,每根所述导线与对应一条所述接收极线连接;及形成在所述框架下方的多个接收电极,每个所述接收电极与对应一根所述导线连接。在某些实施方式中,所述超声波指纹传感器包括:形成在所述框架下方的多个发射电极,每个所述发射电极与对应一根所述发射极线连接。本技术实施方式的超声波指纹传感器,利用蚀刻方式在绝缘基底上形成框架,再在框架中填充压电材料形成压电柱,从而形成超声波指纹传感器。由于蚀刻的设备成本低且工艺简单,因此可以降低超声波指纹传感器的成本。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解,其中:图1是本技术实施方式的超声波指纹传感器的制造方法的流程示意图。图2是本技术实施方式的超声波指纹传感器的制造工艺示意图。图3是本技术实施方式的超声波指纹传感器的压电柱俯视示意图。图4是本技术另一个实施方式的框架俯视示意图。图5是本技术又一个实施方式的框架俯视示意图。图6是本技术另一个实施方式的超声波指纹传感器的制造方法的流程示意图。图7是本技术实施方式的超声波指纹传感器的另一个制造工艺示意图。图8是本技术实施方式的超声波指纹传感器的又一个制造工艺示意图。图9是本技术又一个实施方式的超声波指纹传感器的制造方法的流程示意图。图10是本技术实施方式的超声波指纹传感器的又一个制造工艺示意图。图11是本技术又一个实施方式的超声波指纹传感器的制造方法的流程示意图。图12是本技术实施方式的超声波指纹传感器的又一个制造工艺示意图。图13是本技术又一个实施方式的超声波指纹传感器的制造方法的流程示意图。图14是本技术实施方式的超声波指纹传感器的又一个制造工艺示意图。主要元件符号说明:超声波指纹传感器10、框架12、绝缘基底122、通孔124、压电柱14、发射极线16、接收极线18、下保护层11、上保护层13、发射电极15、导线17、接收电极19。具体实施方式下面详细描述本技术的实施方式,所述实施方式的实施方式在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的,仅用于解释本技术,而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接或可以相互通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本技术。此外,本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母,这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外,本技术提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。请参阅图1,本技术实施方式的超声波指纹传感器的制造方法包括以下步骤:S10:在绝缘基底上蚀刻出呈阵列排布的多个通孔以形成框架;及S20:填充压电材料到通孔以形成与多个通孔对应的多个压电柱。请参阅图2和图3,超声波指纹传感器10包括框架12及多个压电柱14。框架12包括绝缘基底122,绝缘基底122蚀刻形成有呈阵列排布的多个通孔124。压电柱14通过填充压电材料到通孔124形成。本技术实施方式的制造方法可用于制造本技术实施方式的超声波指纹传感器10。本技术实施方式的超声波指纹传感器10及其制造方法,利用蚀刻方式本文档来自技高网...
超声波指纹传感器

【技术保护点】
一种超声波指纹传感器,其特征在于包括:框架,所述框架包括绝缘基底,所述绝缘基底蚀刻形成有呈阵列排布的多个通孔;及与所述多个通孔对应的多个压电柱,所述压电柱通过填充压电材料到所述通孔形成。

【技术特征摘要】
1.一种超声波指纹传感器,其特征在于包括:框架,所述框架包括绝缘基底,所述绝缘基底蚀刻形成有呈阵列排布的多个通孔;及与所述多个通孔对应的多个压电柱,所述压电柱通过填充压电材料到所述通孔形成。2.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于,所述通孔的横截面包括矩形、圆形或三角形。3.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于,所述通孔沿第一方向排成多行并且沿第二方向排成多列,所述第一方向与所述第二方向之间的夹角为直角或锐角。4.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于,相邻两个所述通孔之间的距离小于50微米。5.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于,所述框架的高度为70-80微米。6.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于,所述压电柱的两端与所述框架的两个表面平齐。7.如权利要求1所述的超声波指纹传感器,其特征在于包括:形成在所述框架下方的多条...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙文思白安鹏
申请(专利权)人:南昌欧菲生物识别技术有限公司
类型:新型
国别省市:江西,36

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