一种自动点火的微波等离子作用腔制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动点火的微波等离子作用腔，它包括激励腔组合(1)，分别与激励腔组合(1)相连的上水冷套组合(2)和下水冷套组合(4)，固定在上水冷套组合(2)及下水冷套组合(4)中间的石英玻璃(3)，与下水冷套组合(4)连接的进气组合(5)和与激励腔组合(1)相连的自动点火装置(6)。本实用新型专利技术可替代传统的手动点火的微波等离子作用腔，利用自动点火装置(6)安全可靠的实现微波等离子体点火；通过上水冷套组合(2)以及下水冷套组合(4)对石英玻璃(3)的固定作用，使石英玻璃(3)不受激励腔组合(1)摆放位置影响，维持平衡。本实用新型专利技术结构设计合理，无微波泄漏，性能稳定，适应性更强。

An automatic ignition microwave plasma chamber

The utility model discloses a microwave plasma cavity automatic ignition, it includes excitation cavity (1), respectively and the combined excitation cavity (1) connected to the combination of water cooling jacket combination (2) and cold water set (4), fixed in combination (2) cold water and cold water set and (4) the middle of the quartz glass (3), and the water cooling sleeve assembly (4) combined with the inlet (5) and (1) excitation cavity combination automatic ignition device (6). Microwave plasma cavity manual ignition of the utility model can replace the traditional automatic ignition device (6) using safe and reliable implementation of microwave plasma ignition; through the combination of cold water and cold water (2) combination (4) of quartz glass (3) is fixed, the quartz glass (3) is not affected by excitation cavity (1) combination placement effect, maintain the balance. The utility model has the advantages of reasonable structural design, no microwave leakage, stable performance and stronger adaptability.

【技术实现步骤摘要】
一种自动点火的微波等离子作用腔
本技术涉及微波等离子
，具体涉及一种自动点火的微波等离子作用腔。
技术介绍
传统的微波等离子作用腔点火过程中，需在作用腔附近手持点火棒进行点火，工作过程中带来诸多不便，大大限制了微波等离子作用腔的使用；传统作用腔中，石英玻璃只是置于下水冷套组合上，石英玻璃的长度超出上水冷套顶部，在装放过程中，由于石英玻璃没有完全固定，不能随意改变激励腔组合的安装方向，这种结构也使等离子体火焰的方向受到限制，局限了微波等离子作用腔的使用。因此，很有必要对传统的微波等离子作用腔进行优化改进，采用自动点火装置实现微波等离子作用腔的点火过程，同时将石英玻璃固定住，解决设备使用受限制以及工作效率低的问题。
技术实现思路
技术目的：本技术的目的是为了解决现有微波等离子作用腔的不足，提供一种自动点火的微波等离子作用腔，其结构设计合理，不仅可减小微波泄漏，操作更方便，适应性更强，而且不受工作环境以及激励腔组合的摆放位置的影响，可自动控制微波等离子体点火过程，根据需要调整等离子体火焰的方向，大大提高工作效率，满足不同工作条件下的需求。技术方案：为了实现以上目的，本技术采取的技术方案为：一种自动点火的微波等离子作用腔，它包括激励腔组合，分别与激励腔组合相连的上水冷套组合和下水冷套组合，固定在上水冷套组合及下水冷套组合中间的石英玻璃，与下水冷套组合连接的进气组合和与激励腔组合相连的自动点火装置。作为优选方案，以上所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，激励腔组合包括法兰盘、与法兰盘焊接在一起的谐振腔、与谐振腔焊接在一起的连接法兰、焊接在谐振腔上的端板；法兰盘和连接法兰方便与其他元件相连接；谐振腔可以为2450MHz或915MHz下的等离子体激励腔，可以为压缩波导结构，也可以是其它结构。作为优选方案，以上所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，所述的上水冷套组合与下水冷套组合的结构相同，它们均包括圆筒、与圆筒焊接在一起的水冷套、与圆筒及水冷套焊接在一起的底法兰；上水冷套组合与下水冷套组合的底法兰与激励腔组合的连接法兰通过螺钉固定，安装拆卸方便。作为优选方案，以上所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，上水冷套组合和下水冷套组合中间的石英玻璃长度H固定，使石英玻璃在激励腔组合中维持平衡，不受激励腔组合的摆放位置影响，可根据需要调整等离子体火焰的方向，可克服现有技术由于石英玻璃没有完全固定，不能随意改变激励腔组合的安装方向的技术不足。作为优选方案，以上所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，进气组合包括台柱、与台柱相连的进气管；台柱与下水冷套组合的圆筒焊接在一起。作为优选方案，以上所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，所述的自动点火装置包括顶针、与顶针相连的介质材料、与介质材料相连的气缸、与气缸相连的支架；支架与激励腔组合相连。作为优选方案，以上所述的自动点火装置包括顶针、介质材料、气缸和支架，顶针与介质材料、介质材料与气缸间均用螺纹连接，气缸通过螺钉与支架连接并固定在激励腔组合的法兰盘上，结构简单，方便拆卸；通过气缸对顶针的推进作用可以实现微波等离子体自动点火过程，相比现有技术，点火更加自动化，工作效率更高，其中气缸具有固定行程L；气缸与顶针间的介质材料在微波等离子体点火过程中起到了很好的绝缘作用，可大大减小微波泄漏，相比现有技术，安全性更好。有益效果：本技术提供的自动点火的微波等离子作用腔与现有技术相比具有以下优点：本技术所述的自动点火的微波等离子作用腔可以实现自动点火过程，操作方便，工作效率更高，无微波泄漏，安全性能更好；同时不受工作环境及激励腔组合的摆放位置影响，根据需要调整等离子体火焰的方向，可以满足不同工作条件下的需求。附图说明图1是本技术提供的一种自动点火的微波等离子作用腔的结构示意图。图2是本技术提供的一种自动点火的微波等离子作用腔中的激励腔组合的结构示意图。图3是本技术提供的一种自动点火的微波等离子作用腔中的上水冷套和下水冷套组合的结构示意图。图4是本技术提供的一种自动点火的微波等离子作用腔中的进气组合的结构示意图。图5是本技术提供的一种自动点火的微波等离子作用腔中的自动点火装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本技术，应理解这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围，在阅读了本技术之后，本领域技术人员对本技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。如图1至图5所示，一种自动点火的微波等离子作用腔，它包括激励腔组合1，分别与激励腔组合1相连的上水冷套组合2和下水冷套组合4，固定在上水冷套组合2及下水冷套组合4中间的石英玻璃3，与下水冷套组合4连接的进气组合5和与激励腔组合1相连的自动点火装置6。所述的激励腔组合1包括法兰盘1-1、与法兰盘1-1焊接的谐振腔1-2、与谐振腔1-2焊接的连接法兰1-3和焊接在谐振腔1-2上的端板1-4。所述的上水冷套组合2和下水冷套组合4的结构相同，均包括圆筒2-1、与圆筒2-1焊接在一起的水冷套2-2、与圆筒2-1及水冷套2-2焊接在一起的底法兰2-3；底法兰2-3与激励腔组合1通过螺钉固定。所述的石英玻璃3的长度固定，夹在上水冷套组合2和下水冷套组合4之间，使石英玻璃3在激励腔组合1中维持平衡，不受激励腔组合1的摆放位置影响，可根据需要调整等离子体火焰的方向。所述的进气组合5包括台柱5-1、与台柱5-1相连的进气管5-2；台柱5-1与下水冷套组合4焊接在一起。所述的自动点火装置6包括顶针6-1、与顶针6-1相连的介质材料6-2、与介质材料6-2相连的气缸6-3、与气缸6-3相连的支架6-4；支架6-4与激励腔组合1相连。本技术提供的一种自动点火的微波等离子作用腔，对传统的微波等离子作用腔进行优化，新增自动点火装置6，通过气缸6-3对顶针6-1的推进作用实现微波等离子体自动点火过程，气缸6-3与顶针6-1间的介质材料6-2在微波等离子体点火过程中起到了很好的绝缘作用；具有固定长度H的石英玻璃3与上水冷套组合2、下水冷套组合4以及激励腔组合1完美结合，可以根据需要摆放激励腔组合1的位置，调整等离子体火焰的方向，适用性更强。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动点火的微波等离子作用腔，其特征在于，它包括激励腔组合(1)，分别与激励腔组合(1)相连的上水冷套组合(2)和下水冷套组合(4)，固定在上水冷套组合(2)及下水冷套组合(4)中间的石英玻璃(3)，与下水冷套组合(4)连接的进气组合(5)和与激励腔组合(1)相连的自动点火装置(6)。

【技术特征摘要】
1.一种自动点火的微波等离子作用腔，其特征在于，它包括激励腔组合(1)，分别与激励腔组合(1)相连的上水冷套组合(2)和下水冷套组合(4)，固定在上水冷套组合(2)及下水冷套组合(4)中间的石英玻璃(3)，与下水冷套组合(4)连接的进气组合(5)和与激励腔组合(1)相连的自动点火装置(6)。2.根据权利要求1所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，其特征在于，激励腔组合(1)包括法兰盘(1-1)、与法兰盘(1-1)焊接的谐振腔(1-2)、与谐振腔(1-2)焊接的连接法兰(1-3)和焊接在谐振腔(1-2)上的端板(1-4)。3.根据权利要求2所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，其特征在于，所述的上水冷套组合(2)与下水冷套组合(4)的结构相同，它们均包括圆筒(2-1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘友春，杨琦，施亚玲，康新蕾，郑雷，
申请(专利权)人：南京三乐微波技术发展有限公司，南京三乐电子信息产业集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32