太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线制造技术

本实用新型专利技术涉及一种太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，包括真空室体，以及分别与真空室体连接的真空系统、充气系统和电控系统，真空室体内放置有放卷装置、加热清洗装置、托辊装置、溅射单元、冷却装置、纠偏装置和收卷装置，所述溅射单元设有多个，相邻溅射单元之间设有气氛隔离单元；所述溅射单元包括安装于卷材下方的磁控溅射靶和安装于磁控溅射靶上方的挡板，所述带材位于磁控溅射靶和挡板之间。本实用新型专利技术由下向上溅射沉积涂层，在带材下表面成膜，有效地防止了因侧壁掉皮落在卷材上导致形成针孔、露白等镀膜缺陷的发生，镀膜质量优，溅射环境气氛稳定，重复性好，便于控制，生产效率高。

Solar spectrum selective absorption coating upward sputtering roll to roll coating production line

The utility model relates to a solar selective absorbing coating to sputtering roll to roll coating production line, which comprises a vacuum chamber, and a vacuum system, vacuum chamber body is connected respectively with the pneumatic system and electric control system, the vacuum chamber is internally provided with a coiling device, cleaning device, heating device, sputtering unit, roller cooling device, correction device and winding device, the sputtering unit is provided with a plurality of atmosphere, the isolation unit is arranged between the adjacent sputtering unit; the sputtering unit includes a magnetron sputtering target is installed on the coil below and baffle installed on the top of the magnetron sputtering target, the strip is located between the magnetron sputtering target and the baffle. The utility model is to sputter deposition coating film on the strip surface, can effectively prevent the side wall peel fall leads to the formation of pinholes, white and coating defects occurred in the coil, coating quality, sputtering atmosphere stability, good repeatability, convenient control, high production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线
本技术属于太阳能热利用
，涉及太阳光谱选择性吸收涂层生产设备，具体地说，涉及一种太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，也可以用于太阳能电池等需要柔性带材卷对卷镀膜生产的磁控溅射镀膜领域。
技术介绍
现有用于制造太阳能集热板芯镀制选择性吸收涂层的真空镀膜机分为单真空室镀膜机和步进式镀膜生产线。其中，单真空室镀膜机具有结构简单、价格低廉优势，但由于这种镀膜机采用单次循环镀膜生产方式，每完成一个镀膜生产过程就需要对真空室进行放气及抽真空的循环操作，溅射环境气氛难以重复和稳定，镀膜质量难以保证，且效率低；其次，由于单机多台生产，设备状况很难一致，同时需要多人进行操作，易造成性能差异，且需占用过多生产场地。步进式镀膜生产线在镀膜生产过程中，带材需要一片一片地进行镀膜生产，片与片之间的操作时间间隔为几分钟，这个间隔时间用于真空锁室大气与真空状况的转换，这种生产线的产能较低，单位成本较大，且进行溅射镀膜的磁控溅射单元安装在带材上方，易产生侧壁掉皮，侧壁掉下的皮落在基上形成针孔、露白等镀膜缺陷。授权公告号为CN202090053U的中国技术专利公开了一种太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线，该生产线包括放卷装置、缝接装置、压辊装置、加热装置、溅射单元、抽气狭缝装置、托辊装置、冷却装置、隔离不同膜层工作气氛的狭缝装置、纠偏传输装置、保护膜复合装置和收卷装置；上述各个部分均置于真空室体中；真空室体还分别连接真空系统、充气系统和电控系统。该技术用狭缝隔离磁控溅射单元间不同膜层间工作气氛，各磁控溅射单元环境气氛稳定，重复性好，便于控制，适合卷对卷连续镀膜自动生产，生产效率高。但是其溅射单元安装于带材的上方，同样易产生侧壁掉皮，侧壁掉下的皮落在基上形成针孔、露白等镀膜缺陷，存在镀膜质量差的问题。
技术实现思路
本技术针对现有技术存在的镀膜质量差等上述问题，提供了一种镀膜质量优的太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，该生产线能够改善产品质量，提高一致性，扩大产能，便于自动连续高效生产。为了达到上述目的，本技术提供了一种太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，包括真空室体，以及分别与真空室体连接的真空系统、充气系统和电控系统，真空室体内放置有放卷装置、加热清洗装置、托辊装置、溅射单元、冷却装置、纠偏装置和收卷装置，所述溅射单元设有多个，相邻溅射单元之间设有气氛隔离单元；所述溅射单元包括安装于带材下方的磁控溅射靶和安装于磁控溅射靶上方的挡板，所述带材位于磁控溅射靶和挡板之间。优选的，所述溅射单元还包括固定在真空室体底面上的至少一个由质量流量计分段控制的充气管和安装在真空室体侧壁上的防扰射挡板。优选的，所述气氛隔离单元包括狭缝上挡板、狭缝下挡板和狭缝中间隔离板，狭缝上挡板、狭缝下挡板和狭缝中间隔离板组成隔离狭缝，隔离狭缝的两侧分别设有一分子泵。进一步的，所述溅射单元和气氛隔离单元均安装有盖板。优选的，所述加热清洗装置包括用于对带材进行加热的真空加热辊和用于对带材进行清洗的线性离子源。进一步的，所述真空室体内还放置有张力控制装置。优选的，张力控制装置为张力测量辊。优选的，所述托辊装置为多个依次顺序排列的托辊。优选的，所述真空室体为整体式结构或分体式结构。优选的，所述真空室体为分体式结构时，包括用于放置放卷装置的第一真空室体，用于放置加热清洗装置的第二真空室体，用于放置张力控制装置、托辊装置、溅射单元和气氛隔离单元的第三真空室体，用于放置冷却装置和纠偏装置的第四真空室体，以及用于放置收卷装置的第五真空室体。与现有技术相比，本技术的有益效果为：(1)本技术提供的卷对卷镀膜生产线，以卷为单位(长约几千米)生产，整个工作过程不破坏真空，溅射环境气氛的重复性、稳定性、一致性和质量容易保证，生产效率高。(2)本技术提供的卷对卷镀膜生产线，溅射单元的磁控溅射靶安装于带材下方，对带材镀制涂层时，磁控溅射靶由下向上溅射沉积涂层，在带材下表面成膜，有效地防止了因侧壁掉皮落在带材上导致形成针孔、露白等镀膜缺陷的发生，镀膜质量优。(3)本技术提供的卷对卷镀膜生产线，用气氛隔离单元隔离溅射单元间不同膜层间工作气氛，各溅射单元环境气氛稳定，重复性好，便于控制。(4)本技术提供的卷对卷镀膜生产线，使用连续镀膜工艺后，一条生产线生产效率可相当于十几、几十台单室真空镀膜机的生产规模，可以减少设备数量、节省人力、少用厂房，节约投资。(5)本技术提供的卷对卷镀膜生产线，整体布局紧凑，节省空间。附图说明图1为本技术一实施例的结构示意图。图2为本技术一实施例溅射单元与气氛隔离单元的结构示意图。图3为本技术另一实施例的结构示意图。图中，1、真空室体，101、第一真空室体，102、第二真空室体，103、第三真空室体，104、第四真空室体，105、第五真空室体，2、充气系统，3、放卷装置，4、加热清洗装置，5、托辊装置，501，托辊，6、溅射单元，601、磁控溅射靶，602、挡板，603、充气管，604、防扰射挡板，7、冷却装置，8、纠偏装置，9、收卷装置,10、气氛隔离单元，1001、狭缝上挡板，1002、狭缝下挡板，1003、狭缝中间挡板，1004、分子泵，11、带材，12、盖板，13、张力控制装置。具体实施方式下面，通过示例性的实施方式对本技术进行具体描述。然而应当理解，在没有进一步叙述的情况下，一个实施方式中的元件、结构和特征也可以有益地结合到其他实施方式中。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“内”、“上”“中”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。参见图1、图2，本技术一实施例，提供了一种太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，包括整体式真空室体1，以及分别与真空室体1连接的真空系统、充气系统2和电控系统，真空室体1内放置有放卷装置3、加热清洗装置4、托辊装置5、溅射单元6、冷却装置7、纠偏装置8和收卷装置9，所述溅射单元6设有三个，相邻溅射单元6之间设有气氛隔离单元10；所述溅射单元6包括安装于带材11下方的磁控溅射靶601和安装于磁控溅射靶601上方的挡板602，所述带材11位于磁控溅射靶601和挡板602之间。参见图2，所述溅射单元还包括固定在真空室体底面上的两个由质量流量计分段控制的充气管603和安装在真空室体侧壁上的防扰射挡板604。在镀膜生产中，防扰射挡板604可以将不合格的溅射物进行必要的截留。为了能够对真空室体内的气体进行抽除，并进行对相邻两个溅射单元进行隔离，参见图2，所述气氛隔离单元10包括狭缝上挡板1001、狭缝下挡板1002和狭缝中间隔离板1003，狭缝上挡板1001、狭缝下挡板1002和狭缝中间隔离板1003组成隔离狭缝，隔离狭缝的两侧分别设有一分子泵1004。通过分子泵1004对隔离狭缝两侧进行抽气。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，包括真空室体，以及分别与真空室体连接的真空系统、充气系统和电控系统，其特征在于，真空室体内放置有放卷装置、加热清洗装置、托辊装置、溅射单元、冷却装置、纠偏装置和收卷装置，所述溅射单元设有多个，相邻溅射单元之间设有气氛隔离单元；所述溅射单元包括安装于带材下方的磁控溅射靶和安装于磁控溅射靶上方的挡板，所述带材位于磁控溅射靶和挡板之间。

【技术特征摘要】
1.一种太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，包括真空室体，以及分别与真空室体连接的真空系统、充气系统和电控系统，其特征在于，真空室体内放置有放卷装置、加热清洗装置、托辊装置、溅射单元、冷却装置、纠偏装置和收卷装置，所述溅射单元设有多个，相邻溅射单元之间设有气氛隔离单元；所述溅射单元包括安装于带材下方的磁控溅射靶和安装于磁控溅射靶上方的挡板，所述带材位于磁控溅射靶和挡板之间。2.如权利要求1所述的太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，其特征在于，所述溅射单元还包括固定在真空室体底面上的至少一个由质量流量计分段控制的充气管和安装在真空室体侧壁上的防扰射挡板。3.如权利要求1或2所述的太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，其特征在于，所述气氛隔离单元包括狭缝上挡板、狭缝下挡板和狭缝中间隔离板，狭缝上挡板、狭缝下挡板和狭缝中间隔离板组成隔离狭缝，隔离狭缝的两侧分别设有一分子泵。4.如权利要求3所述的太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，其特征在于，所述溅射单元和气氛隔离单元均安装有盖板。5.如权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈刚，张浙军，裴宏伟，
申请(专利权)人：威海蓝膜光热科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37