The utility model discloses a device for removing the damage layer of a diamond wire cutting surface of a polycrystalline silicon sheet with lower cost and better forming texture. The removal device comprises a bracket, endless belt, a driving wheel and a driven wheel, endless belt around the driving wheel and a driven wheel and a driving wheel and a driven wheel tension, endless belt set level and between the upper and lower head belt is located in the head belt is arranged on the surface of the support platform, support the platform for a smooth surface on the upper surface of the belt head, and the supporting platform of the upper contact, the supporting device is arranged above the platform blasting, the blasting device can effectively remove the polysilicon film surface of diamond wire cutting damage layer, ensure the final silicon texture uniformity, low reflectivity suede quality is good, and the device can realize streamline operation, high efficiency, can greatly reduce the production cost of polysilicon. The utility model is suitable for popularization and application in the silicon processing technology field.
【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置
本技术涉及硅片加工
,尤其是一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置。
技术介绍
目前在光伏领域多晶硅硅片的切割主要采用砂浆多线切割技术,但是该技术存在切割效率低、加工成本高、废砂浆排放污染大等问题。相比之下,固体磨料金刚石线锯切割(简称金刚线切割)技术具有切割效率高、加工成本低和环境污染小等优点,受到了越来越多的关注,有望成为晶体硅等硬脆材料切片技术的未来发展方向。由于金刚线切割的切割原理与砂浆多线切割的切割原理不同,两种切割工艺得到的硅片表面的形貌存在很大差异。砂浆多线切割的硅片表面主要以脆性破碎断裂形貌为主,酸制绒后硅片表面形成蠕虫状凹坑。而金刚线切割的硅片表面同时存在脆性破碎断裂区域(占比小)和塑性磨削区域(占比大),即损伤层,酸制绒后原来的脆性破碎断裂区域形成蠕虫状凹坑,反射率较低;而塑性磨削区域却形成很浅的近似圆形的凹坑,反射率高,同时凹坑沿切割方向排列,肉眼可看到明显的切割纹。目前太阳能电池生产过程中,金刚线切割后的硅片表面形成的损伤层厚度为4-7um,采用酸碱腐蚀无法有效去除损伤层形成较好的绒面,如果采用金属催化化学腐蚀(MCCE),工艺流程复杂,成本级高。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种成本较低且能够形成较好绒面的多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:该多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置,包括支架、无头皮带、主动轮、从动轮,所述主动轮、从动轮通过轴承固定在支架上,所述无头皮带绕过主动轮、从动轮并被主动轮和从动轮绷紧,所述支架上连接有 ...
【技术保护点】
一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置,其特征在于:包括支架(1)、无头皮带(2)、主动轮(3)、从动轮(4),所述主动轮(3)、从动轮(4)通过轴承固定在支架(1)上,所述无头皮带(2)绕过主动轮(3)、从动轮(4)并被主动轮(3)和从动轮(4)绷紧,所述支架(1)上连接有用于驱动主动轮(3)转动的驱动电机(5),所述无头皮带(2)水平设置且在位于上层的无头皮带(2)和位于下层的无头皮带(2)之间设置有支撑平台(6),所述支撑平台(6)通过支撑杆固定在支架(1)上,所述支撑平台(6)的上表面为光滑的平面,所述位于上层的无头皮带(2)与支撑平台(6)的上表面相接触,所述支撑平台(6)的两个端面为内凹的弧面,所述支撑平台(6)的上方设置有喷砂装置(7),所述喷砂装置(7)包括导料管(701)、N个喷砂头(702),N为偶数,所述导料管(701)的前端连接有料斗(703),所述导料管(701)上连接气管(704),所述气管(704)的一端连接有空气压缩机(705),另一端为出气口且出气口与导料管(701)连通,所述气管(704)内的气体从出气口喷出时的方向与导料管(701)的中心轴线之 ...
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置,其特征在于:包括支架(1)、无头皮带(2)、主动轮(3)、从动轮(4),所述主动轮(3)、从动轮(4)通过轴承固定在支架(1)上,所述无头皮带(2)绕过主动轮(3)、从动轮(4)并被主动轮(3)和从动轮(4)绷紧,所述支架(1)上连接有用于驱动主动轮(3)转动的驱动电机(5),所述无头皮带(2)水平设置且在位于上层的无头皮带(2)和位于下层的无头皮带(2)之间设置有支撑平台(6),所述支撑平台(6)通过支撑杆固定在支架(1)上,所述支撑平台(6)的上表面为光滑的平面,所述位于上层的无头皮带(2)与支撑平台(6)的上表面相接触,所述支撑平台(6)的两个端面为内凹的弧面,所述支撑平台(6)的上方设置有喷砂装置(7),所述喷砂装置(7)包括导料管(701)、N个喷砂头(702),N为偶数,所述导料管(701)的前端连接有料斗(703),所述导料管(701)上连接气管(704),所述气管(704)的一端连接有空气压缩机(705),另一端为出气口且出气口与导料管(701)连通,所述气管(704)内的气体从出气口喷出时的方向与导料管(701)的中心轴线之间的夹角小于90°,所述气管(704)内气体的压力为0.05-0.1个标准大气压,所述N个喷砂头(702)沿无头皮带(2)的移动方向依次设置,砂从喷砂头(702)喷出后喷在无头皮带(2)上的区域为喷砂区域,所述相邻的两个喷砂头(702)在无头皮带(2)上的喷射区域无缝连接;所述导料管(701)的末端连接有一个第一级喷砂管(706),所述第一级喷砂管(706)的末端连接有两个第二级喷砂管(707),一个第一级喷砂管(706)与两个第二级喷砂管(707)组成“人”字形结构,每个第二级喷砂管(707)末端连接有两个第三级喷砂管(708),一个第二级喷砂管(707)与两个第三级喷砂管(708)组成“人”字形结构,依次类推,第三级喷砂管(708)的末端连接有第四级喷砂管(709),第四级喷砂管(709)的末端连接有第五级喷砂管,…,第n-1级喷砂管的末端连接有第n级喷砂管,n≥2,第n级喷砂管的数量与喷砂头(702)的数量相同,每个第n级喷砂管的末端都与一个喷砂头(702)相连,并且第n-1级喷砂管的内径是第n级喷砂管内径的两倍;所述支架(1)上设置有用于输送硅片的多个输送滚轮(8),相邻的输送滚轮(8)之...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈五奎,刘强,徐文州,陈磊,冯加保,耿荣军,
申请(专利权)人:乐山新天源太阳能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:四川,51
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