成膜装置及成膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种成膜装置及成膜方法，在聚碳酸酯上形成金属薄膜的情况下，能防止金属薄膜剥离，另外，在其他树脂上形成金属薄膜的情况下，能提高金属薄膜的反射率。在不会使水分附着于从树脂成型机(63)搬出的成型后的工件(W)的表面的60秒以内的短时间内，完成从树脂成型机(63)中的工件导入部(62)向成膜腔室(10)搬送工件(W)。由此，能防止聚碳酸酯制的工件(W)的表面在成膜过程中发生水解，从而能防止通过溅射而形成的金属薄膜剥离这一现象。另外，通过减少附着于树脂基材的水分，能防止Al氧化而获得良好的反射率。

Film forming apparatus and film forming method

The invention provides a device and method of forming film, metal film formed in the polycarbonate case, can prevent metal film peeling, in addition, formed in the other resin metal film case, can improve the reflectivity of thin metal films. In the attached to the water from the resin molding machine (63) out of the workpiece after forming (W) surface within 60 seconds in a short period of time, from the resin molding machine (63) of the workpiece (62) to import department of film forming chamber (10) conveying workpiece (W). As a result, the surface of the polycarbonate workpiece (W) can be prevented from hydrolysis during the film formation so as to prevent the peeling of the metal film formed by sputtering. In addition, a good reflectivity is obtained by preventing the oxidation of Al by reducing moisture attached to the resin substrate.

【技术实现步骤摘要】
成膜装置及成膜方法
本专利技术涉及一种在通过树脂成型机而成型的聚碳酸酯(polycarbonate)等树脂制的工件上形成金属薄膜的成膜装置及成膜方法。
技术介绍
例如，汽车前大灯(headlamp)的反光碗(reflector)或仪表类等光学组件在以往使用了玻璃(glass)等无机材料基材。但是，根据以提高汽车燃料效率为目的的轻量化的要求，所述无机材料基材正逐步被替换为树脂基材。另外，以往大多使用了镀覆法形成金属膜，但近年来为了减小环境负担，所述镀覆法正逐步被替换为溅射(sputtering)法等干式工艺(dryprocess)。因此，对于如上所述的组件，为了进行镜面抛光或具有金属质感，通过以铝(aluminum)等金属为靶材(target)的溅射而在射出成型而成的树脂产品上成膜。另外，在通过溅射而成膜后，为了防止金属膜氧化或为了保护表面不受损伤等，在多数情况下会执行通过等离子体(plasma)化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition，CVD)进行的氧化硅保护膜等的成膜。即，通过溅射而成膜后的工件会被搬送至其他成膜装置，在所述成膜装置的腔室(chamber)内进行利用了六甲基二硅氧烷(HexamethylDisiloxane，HMDSO)等单体气体(monomergas)的等离子体CVD，由此，在通过溅射而成膜后的工件的表面形成保护膜。还提出了如下装置，所述装置在同一腔室内执行通过溅射进行的成膜与复合成膜或聚合成膜。专利文献1中公开了如下成膜装置，所述成膜装置的溅射用电极与复合成膜用电极或聚合成膜用电极配置于隔开了规定距离的位置。在所述成膜装置中，首先相向地配置工件与溅射电极，并且将惰性气体导入至腔室内，然后对溅射电极施加直流电，执行通过溅射进行的成膜。其次，使工件移动而相向地配置工件与复合成膜用电极或聚合成膜用电极，并且将HMDSO等单体气体导入至腔室内，然后对复合成膜用电极或聚合成膜用电极施加高频电压，执行复合成膜或聚合成膜。所述专利文献1所记载的成膜装置具有在未使用的靶材上配置挡板(shutter)的结构。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2011-58048号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]有时使用聚碳酸酯(PC)作为执行如上所述的通过溅射进行的成膜的工件的材质。聚碳酸酯具有在溅射时与金属薄膜之间的密接性良好的性质。但是，在使用了聚碳酸酯作为工件的材质的情况下，若在溅射时，聚碳酸酯的表面存在水分，则会因溅射时的能量(energy)而发生水解，聚碳酸酯的表面变差，从而产生金属薄膜剥离这一现象。此种现象是会在如下情况下特别显著地产生的现象，所述情况是指为了能在低真空下对树脂进行溅射而对溅射电极施加了高电压。另外，即使在使用了聚碳酸酯以外的树脂作为工件的材质的情况下，若在溅射时，树脂的表面存在水分，则仍会产生如下问题：金属薄膜在溅射成膜过程中氧化，金属薄膜的反射率降低。本专利技术是为了解决所述问题而成的专利技术，目的在于提供如下成膜装置及成膜方法，在聚碳酸酯上形成金属薄膜的情况下，能防止金属薄膜剥离，另外，在其他树脂上形成金属薄膜的情况下，能提高金属薄膜的反射率。[解决问题的技术手段]第一专利技术是在通过树脂成型机而成型的聚碳酸酯制的工件上形成金属薄膜的成膜装置，其特征在于包括：成膜部，包括收纳所述工件的腔室、与具备靶材材料且配设于所述腔室内的溅射电极；以及搬送部，在不会使水分附着于所述工件的表面的短时间内，将所述通过树脂成型机而成型的工件从所述树脂成型机搬送至所述腔室。第二专利技术中，所述搬送部在60秒以内，将工件从所述树脂成型机搬送至所述腔室。第三专利技术是在通过树脂成型机而成型的树脂制的工件上形成金属薄膜的成膜装置，其特征在于包括：成膜部，包括收纳所述工件的腔室、与具备靶材材料且配设于所述腔室内的溅射电极；以及搬送部，将所述通过树脂成型机而成型的工件从所述树脂成型机搬送至所述成膜部中的腔室，并且在所述搬送部配设水分去除机构，所述水分去除机构防止水分附着于利用所述搬送部搬送的工件的表面。第四专利技术中，所述水分去除机构为将干燥后的气体供应至所述搬送部中的搬送路径内的干燥气体供应机构。第五专利技术中，所述水分去除机构为对所述搬送部中的搬送路径内进行加热的加热机构。第六专利技术包括直流电源，所述直流电源将直流电压施加至所述溅射电极，以使所述靶材材料的每平方厘米的表面积达到25瓦以上的接入电力。第七专利技术是在通过树脂成型机而成型的聚碳酸酯制的工件上形成金属薄膜的成膜方法，其特征在于包括：成型工序，通过树脂成型机使所述工件成型；搬送工序，在不会使水分附着于所述工件的表面的短时间内，将所述通过树脂成型机而成型的工件从所述树脂成型机搬送至腔室；以及成膜工序，对所述腔室内进行减压，并且使用配设于所述腔室内的具备靶材材料的溅射电极，在所述工件的表面形成金属薄膜。第八专利技术是在通过树脂成型机而成型的树脂制的工件上形成金属薄膜的成膜方法，其特征在于包括：成型工序，通过树脂成型机使所述工件成型；搬送工序，在防止水分附着于所述工件的表面的状态下，将所述通过树脂成型机而成型的工件经由被供应了干燥后的气体或经过加热的搬送路径，从所述树脂成型机搬送至腔室；以及成膜工序，对所述腔室内进行减压，并且使用配设于所述腔室内的具备靶材材料的溅射电极，在所述工件的表面形成金属薄膜。[专利技术的效果]根据第一专利技术、第二专利技术及第七专利技术，不会使水分附着于通过树脂成型机而成型的聚碳酸酯制的工件的表面，能由成膜部利用溅射来形成金属薄膜。因此，能防止聚碳酸酯的表面发生水解，从而以牢固地密接于聚碳酸酯的状态形成金属薄膜。根据第三专利技术、第四专利技术、第五专利技术及第八专利技术，不会使水分附着于通过树脂成型机而成型的树脂制的工件的表面，能由成膜部利用溅射来形成金属薄膜。因此，能提高金属薄膜的反射率。另外，在工件为聚碳酸酯的情况下，能防止聚碳酸酯的表面发生水解，从而以牢固地密接于聚碳酸酯的状态形成金属薄膜。根据第六专利技术，能利用高接入电力，在低真空下执行通过溅射进行的成膜。附图说明图1是本专利技术第一实施方式的成膜装置的概要图。图2是表示本专利技术的成膜装置的控制系统的结构框图。图3是表示成膜动作的流程图。图4是本专利技术第二实施方式的成膜装置的概要图。图5是本专利技术第三实施方式的成膜装置的概要图。[符号的说明]10：成膜腔室11：主体12：入口侧开闭部13：工件载置部14、15：衬垫16：出口侧开闭部19：接地部21：电极部22：靶材材料23：溅射电极24：CVD电极31、34、39、48、49、74：开闭阀32、35：流量调节阀33：惰性气体供应部36：原料气体供应部37：涡轮分子泵38：辅助泵41：直流电源45：高频电源46：匹配箱51：挡板52：支撑部53：气缸54：活塞杆61：搬送部62：工件导入部63：树脂成型机71：加热器72：干燥气体供应部73：排气泵90：控制部91：搬送机构驱动部92：开闭阀驱动部93：开闭部驱动部94：电极驱动部S1～S8：步骤W：工件具体实施方式以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是本专利技术第一实施方式的成膜装置的概要图。本实施方式的成膜装置对树脂制的工件W执行通过溅射进行的成膜与通过等离子体CVD进行的成膜。再者，例如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜装置，其是在通过树脂成型机而成型的聚碳酸酯制的工件上形成金属薄膜的成膜装置，其特征在于包括：成膜部，包括收纳所述工件的腔室、与具备靶材材料且配设于所述腔室内的溅射电极；以及搬送部，在不会使水分附着于所述工件的表面的短时间内，将所述通过树脂成型机而成型的工件从所述树脂成型机搬送至所述腔室。

【技术特征摘要】
2015.08.26 JP 2015-1664231.一种成膜装置，其是在通过树脂成型机而成型的聚碳酸酯制的工件上形成金属薄膜的成膜装置，其特征在于包括：成膜部，包括收纳所述工件的腔室、与具备靶材材料且配设于所述腔室内的溅射电极；以及搬送部，在不会使水分附着于所述工件的表面的短时间内，将所述通过树脂成型机而成型的工件从所述树脂成型机搬送至所述腔室。2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述搬送部在60秒以内，将工件从所述树脂成型机搬送至所述腔室。3.一种成膜装置，其是在通过树脂成型机而成型的树脂制的工件上形成金属薄膜的成膜装置，其特征在于包括：成膜部，包括收纳所述工件的腔室、与具备靶材材料且配设于所述腔室内的溅射电极；以及搬送部，将所述通过树脂成型机而成型的工件从所述树脂成型机搬送至所述成膜部中的腔室，并且在所述搬送部配设水分去除机构，所述水分去除机构防止水分附着于利用所述搬送部搬送的工件的表面。4.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，所述水分去除机构为将干燥后的气体供应至所述搬送部中的搬送路径内的干燥气体供应机构。5.根据权利要求3所述的成膜装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：市冈圣菜，吉牟田利典，徳田敏，吉冈尚规，上野智子，尾崎悟，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP