具有限位结构的薄膜腔制造技术

本发明专利技术涉及用于容纳用来被测试是否存在泄漏的测试目标的薄膜腔(12)，包括至少两个薄膜膜层(14、16)和至少两个框架部件(24、26)，所述两个框架部件(24、26)中的每一个都具有密封面，从而使得所述两个框架部件(24、26)以气密的方式彼此相对放置，用以紧密地封闭所述薄膜腔(12)。本发明专利技术的特征在于所述两个薄膜膜层(14、16)中的每一个都在其壁部区域具有至少一个限位结构(20)，且所述两个框架部件(24、26)中的每一个都在所述框架部件的密封面上具有至少一个限位凹槽(22)，用以容纳所述限位结构(20)，从而使所述两个薄膜膜层(14、16)通过形状适配连接被基本上固定在所述两个框架部件(24、26)之间。

Thin film cavity with limiting structure

The present invention relates to a thin film to accommodate the existence of cavity leakage test target under test (12), including at least two films (14, 16) and at least two frame parts (24, 26), the two frame member (24, 26) each have sealing surface thus, the two frame member (24, 26) in a gas tight manner disposed opposite to each other, to close the closed cavity thin film (12). The invention is characterized in that the two films (14, 16) in each of the wall in the region has at least one limiting structure (20), and the two frame member (24, 26) in each of the sealing surface of the frame member has at least one limiting groove (22), to accommodate the limiting structure (20), so that the two films (14, 16) by matching with the connection was basically fixed in the two frame member (24, 26).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有限位结构的薄膜腔
本专利技术涉及用于容纳用来被测试是否存在泄漏的测试目标的薄膜腔。
技术介绍
薄膜腔是用于容纳待进行气密性测试的测试目标的测试腔室的一种特殊形式。薄膜腔的特征在于一种实际情况：其至少一个腔壁部分由柔性材料(薄膜)制成。用来被测试是否存在泄漏的测试目标被放置在所述薄膜腔中，且所述薄膜腔随后被抽空。当抽空所述薄膜腔时，空气被从所述薄膜腔中抽出，从而使得柔性的薄膜腔腔壁紧贴在所述测试目标上。一种特别适用的薄膜腔包括两个薄膜膜层，所述两个薄膜膜层包围所述测试目标，并且在它们的边缘部分以气密的方式被彼此连接。对于所述薄膜腔的气密性封闭而言，所述薄膜腔在框架的区域内被密封。在这种情况下，将所述薄膜膜层夹持在框架部件的夹持表面之间是已知的手段。其中，由于所述框架部件被压紧在一起，所述薄膜膜层被表面的压力固定。所述框架部件必须被用很大的力朝向彼此压紧。这样可能造成所述框架部件的变形，所述变形可能导致所述夹持表面的仅仅一小部分将夹持力传输到所述薄膜上。所述薄膜在受到拉伸应力时将可能从所述夹持配合中被剥脱。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种薄膜腔，其具有对薄膜膜层的改进的紧固方式。本专利技术的薄膜腔由权利要求1的特征限定。根据本专利技术，至少两个薄膜膜层中的每一个都在其边缘部分具有限位结构，该结构被制造用来卡合相应的框架部件的夹持表面中的对应的限位凹槽，以便在所述薄膜膜层和所述框架部件之间形成形状适配的连接。每个薄膜膜层被这样固定在相应的框架部件上，不需要传统的表面压力。所述两个框架部件而后被通过它们的密封部件放置成彼此紧贴，从而在它们的边缘部分提供所述薄膜腔的两半薄膜之间的气密性的连接。为了这个目的，有必要在所述框架部件上仅仅施加一个足以在唇形密封件和所述密封表面之间形成接触的力。因此，将要被施加在所述框架部件上的这个力不再必须是特别高以用来将所述薄膜膜层夹持在所述夹持表面之间。这样，所述薄膜膜层和所述框架部件之间的连接更加稳定，同时必须被施加在所述框架组件上的力较小。优选地，两个薄膜膜层被精确地设置，在它们之间所述测试目标被放置在正中间。所述两个薄膜膜层中的每一个之后在其边缘部分被固定在仅仅一个框架部件上。所述框架部件被形成为沿周向围绕着所述薄膜膜层的外侧边缘，并且可能是单个的部件或者由多个部件组装而成。至少一个周向的密封件，例如形状为O形密封圈的密封件，被优选地设置在所述两个框架部件的所述两个夹持表面之间，用以提供所述两个框架组件的相对于彼此的气密性配合。处于每个薄膜膜层的边缘部分的所述限位结构被设计为伸出部或突出部。相应的框架部件上的对应的限位凹槽被形成为与所述限位结构形状互补。限位结构和限位突出部可以具有下部具有切口的形状，用于特别牢固的限位。如果在从横截面方向观察时，所述限位结构的所述边缘部分及所述凹槽都形成有横向结构，则是尤其有利的。在这种情况下，当所述薄膜膜层受到拉伸应力作用时，不可能将所述限位结构从所述限位凹槽中撬动出来。限位部件可以被安装在每个框架部件上，并且优选地可以被安装在所述框架部件的所述夹持表面上，所述限位部件固定所述限位结构，防止其滑出所述限位凹槽。所述限位部件可以例如被旋拧到所述夹持表面上并覆盖所述夹持槽。附图说明下面是参考图示的本专利技术的实施方式的详细说明。在图示中：图1是通过所述薄膜腔的截面示意图；以及图2示出了在图1中标示为II的细节部分。具体实施方式薄膜腔12具有两个薄膜膜层14、16，所述两个薄膜膜层14、16在它们的边缘部分被彼此紧贴地放置，并且将一测试目标包围在它们之间的中央。薄膜膜层14、16中的每一个都在它的边缘部分具有沿周向形成的限位结构20，所述限位结构20与相应的薄膜膜层14、16一体化地形成。所述薄膜膜层14的所述限位结构20被插入到第一边缘部件24的限位凹槽22中。所述下方的薄膜膜层16的所述限位结构20被插入到第二框架部件26的限位凹槽22中。所述限位凹槽22被分别形成在相应的框架部件24、26的表面上。所述限位凹槽22是沿周向设置的凹陷部分，其形状与相应的限位结构20的形状互补。每个限位结构20都被设计成位于所述薄膜膜层的边缘部分的沿周向设置的伸出部分。每个薄膜膜层14、16可以特别地也具有多个不同的沿周向设置的结构，这些结构将多个对应的限位凹槽与形成在相应的框架部件上的不同的沿周向设置的结构卡合。所述框架部件24、26通过它们的夹持表面28被彼此紧贴地放置，其中密封件30被固定在所述夹持表面28之间，用来给密封地关闭的薄膜腔12提供气密性的连接。所述密封件30由两个完全隔开的密封唇构成，所述密封唇都被固定在一个所述框架部件24的密封槽31内并且被压紧在另一个固定部件28的所述夹持表面28上。在所述两个框架部件24中的固定所述密封唇的所述一个框架部件24中，一通风道36被形成在所述两个密封唇之间，通过所述通风道36，所述两个密封唇和邻近的夹持表面28之间的间隙可以被抽空。此外，在所述密封件30和所述薄膜膜层14、16的所述限位结构20之间，另一通风道38被设置在所述两个框架部件24中的一个的内部。所述两个薄膜膜层14、16之间的间隙、以及所述薄膜腔12，被通过该通风道38抽空。每个限位凹槽22被气体保持部件32覆盖，从而将相应的限位结构20固定以防止其从所述限位凹槽22中滑脱。每个气体保持部件22被通过挂钩与套环类型的紧固件34固定到相应的夹持表面28上本专利技术提供的有益效果在于，所述薄膜膜层14、16并非必须被通过表面压力夹持在所述两个框架部件24、26中用以产生足以抵抗拉伸应力的稳定连接。所述框架部件只需要仅仅通过其大小足以形成气密性连接的力被朝向彼此压紧。所述限位结构20和所述限位凹槽22之间的卡合形成形状适配的气密性密封，允许相应的薄膜膜层14、16具有充足的抵抗拉伸应力的能力。本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于容纳用来被测试是否存在泄漏的测试目标的薄膜腔(12)，包括至少两个薄膜膜层(14、16)和至少两个框架部件(24、26)，所述两个框架部件(24、26)中的每一个都具有密封面，从而使得所述两个框架部件(24、26)以气密的方式彼此相对放置，用以气密性地密封所述薄膜腔(12)；其特征在于，所述两个薄膜膜层(14、16)中的每一个都在其壁部区域具有至少一个限位结构(20)，且所述两个框架部件(24、26)中的每一个都在所述框架部件的密封面上具有至少一个限位凹槽(22)，用以容纳所述限位结构(20)，从而使所述两个薄膜膜层(14、16)通过形状适配连接被基本上固定在所述两个框架部件(24、26)之间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.25 DE 102014219473.31.用于容纳用来被测试是否存在泄漏的测试目标的薄膜腔(12)，包括至少两个薄膜膜层(14、16)和至少两个框架部件(24、26)，所述两个框架部件(24、26)中的每一个都具有密封面，从而使得所述两个框架部件(24、26)以气密的方式彼此相对放置，用以气密性地密封所述薄膜腔(12)；其特征在于，所述两个薄膜膜层(14、16)中的每一个都在其壁部区域具有至少一个限位结构(20)，且所述两个框架部件(24、26)中的每一个都在所述框架部件的密封面上具有至少一个限位凹槽(22)，用以容纳所述限位结构(20)，从而使所述两个薄膜膜层(14、16)通过形状适配连接被基本上固定在所述两个框架部件(24、26)之间。2.如权利要求1所述的薄膜腔(12)，其特征在于，所述薄膜膜层(14、16)中的每一个都包括一体化的，例如通过模具成型到其上的，或者作为独立部件被粘接或者焊接到其上的所述限位结构(20)。3.如权利要求1或2所述的薄膜腔(12)，其特征在于，所述限位结构(20)与所述限位凹槽(22)被设计成彼此形状互补，并且所述限...

【专利技术属性】
技术研发人员：亨德里克·范·特里斯特，迈克尔·道恩豪尔，
申请(专利权)人：英福康有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE