碱溶性树脂、感光性树脂组合物及其用途制造技术

一种碱溶性树脂，通过在溶剂中溶解共聚物而形成，该共聚物含有由不饱和羧酸等衍生的含羧基聚合单元和由下述式(1)表示的单体衍生的含烷氧基甲硅烷基聚合单元。溶剂包含具有烷基碳原子数为4或5个的直链或支链的特定的醇。作为特定的醇，优选烷基碳原子数为4个的伯醇，特别优选为1‑丁醇。下述化学式(1)中的X为乙烯基、苯乙烯基或(甲基)丙烯酰基，R为甲基或乙基，a为0～3的整数，b为1～3的整数，X－(CH

Alkali soluble resin, photosensitive resin composition and use thereof

An alkali soluble resin, formed by copolymer dissolved in the solvent, the copolymers containing unsaturated carboxylic acid derived from the carboxyl polymeric unit and by the following formula (1) said the monomer derivative containing alkoxysilyl polymerization unit. A solvent containing a linear or branched specific alcohol with an alkyl carbon number of 4 or 5. As a specific alcohol, preferably an alkyl carbon number of alcohols 4, preferably 1 butanol. The X in the following formula (1) is vinyl, styrene based or (meth) propylene, R is methyl or ethyl, a is an integer of 0~3, and B is an integer of 1~3, X - (CH

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】碱溶性树脂、感光性树脂组合物及其用途
本专利技术涉及碱溶性树脂、感光性树脂组合物及其用途，其电气绝缘性、耐热性、耐水性、耐化学性、机械强度等特性非常优秀，适合作为半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜等材料利用。
技术介绍
近年来，在电子材料领域的电脑、智能手机、平板电脑等的电路元件中，随着高精细化快速发展，为了维持像素的开口率，而推行布线的细线化。随此，保护布线的电气绝缘膜也更加要求细线化。例如，在TFT液晶显示元件、有机EL显示元件、集成电路显示元件等中，为了将在层间配置的布线和布线之间电气绝缘而形成层间绝缘膜。作为这种层间绝缘膜的材料使用的感光性树脂组合物已在专利文献1中有所公开。该感光性树脂组合物具有碱溶性，含有：不饱和羧酸、使含环氧基的不饱和化合物及硅烷单体共聚所得的丙烯酸类共聚物、1,2-醌二叠氮化合物、以及溶剂。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本特开2006-209112号公报在上述专利文件1中记载的现有的感光性树脂组合物的情况下，在硅烷单体中含有加水分解性的甲硅烷基(silylgroup)，该甲硅烷基包含甲氧基或乙氧基，随着时间推移，该甲硅烷基进行加水分解，从而产生交联反应，丙烯酸系共聚物的分子量增大。如果使用含有像这样分子量增大了的丙烯酸系共聚物的感光性树脂，则感光时的显影性会变得非常差，会有难以形成适合图案的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制加水分解性甲硅烷基的交联反应而得到经时稳定性的碱溶性树脂、感光性树脂组合物、固化物及层间绝缘膜。为了实现上述目的，本专利技术的碱溶性树脂，通过在溶剂中溶解共聚物而形成，所述共聚物含有含羧基聚合单元和含烷氧基甲硅烷基聚合单元，其特征在于，所述溶剂包含具有烷基碳原子数为4或5个的直链或支链的醇。在上述的碱溶性树脂中，所述含羧基聚合单元优选为从选自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物的第1共聚性单体衍生的聚合单元，所述含烷氧基甲硅烷基聚合单元优选为从下述化学式(1)所示的第2共聚性单体衍生的聚合单元，所述共聚物优选还含有从与所述第1共聚性单体以及第2共聚性单体不同的第3共聚性单体衍生的聚合单元。X－(CH2)a－Si(OR)b(CH3)3-b…(1)其中，化学式(1)中的X为乙烯基、苯乙烯基或(甲基)丙烯酰基，R为甲基或乙基，a为0～3的整数，b为1～3的整数。在上述的碱溶性树脂中，优选所述聚合单元含有从含羟基不饱和单体衍生的含羟基的聚合单元。在上述的碱溶性树脂中，优选所述醇是烷基碳原子数为4或5个的伯醇或仲醇。在上述的碱溶性树脂中，优选所述醇是烷基碳原子数为4或5个的伯醇。在上述的碱溶性树脂中，优选所述烷基碳原子数为4个的伯醇是1-丁醇。本专利技术的感光性树脂组合物，含有上述的碱溶性树脂、交联剂与感光剂。本专利技术的固化物，通过活性能量射线将上述的感光性树脂组合物固化而形成。本专利技术的层间绝缘膜，由上述的固化物形成，将配置在层间的布线与布线之间电气绝缘。专利技术效果根据本专利技术的碱溶性树脂，发挥这样的效果：抑制加水分解性甲硅烷基的交联反应，进而能够得到经时稳定性。具体实施方式下面详细说明将本专利技术具体化的实施方式。首先，说明碱溶性树脂。本实施方式的碱溶性树脂通过将共聚物溶解于溶剂而形成，该共聚物含有包含羧基(-COOH)的聚合单元和包含烷氧基甲硅烷基(alkoxysilylgroup)[后述式(1)的-Si(OR)b(CH3)3-b]的聚合单元，所述碱溶性树脂含有溶剂和溶解在溶剂中的所述共聚物。所述溶剂包含具有烷基碳原子数为4或5个的直链或支链的特定的醇。该碱溶性树脂是依照常规方法在溶剂中通过聚合引发剂使具有羧基的单体及具有烷氧基甲硅烷基的单体等单体聚合而形成的，以无规共聚物溶解于溶剂中的状态形成。所述含羧基的聚合单元，只要是侧链含有羧基的聚合单元即可，但优选为从不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或是它们的混合物衍生的聚合单元。所述含烷氧基甲硅烷基的聚合单元，只要是侧链含有烷氧基甲硅烷基的聚合单元即可，优选为从下列式(1)所示的单体衍生的聚合单元。[式1]X－(CH2)a－Si(OR)b(CH3)3-b…(1)其中，式(1)中的X为乙烯基、苯乙烯基或(甲基)丙烯酰基，R为甲基或乙基，a为0～3的整数，b为1～3的整数。并且，所述共聚物优选含有从含羟基不饱和单体衍生出来的含羟基的聚合单元。而且，所述共聚物优选含有从所述单体以外的其他共聚性单体衍生的其他聚合单元。接下来，依序说明碱溶性树脂的各构成要素。[共聚物](含羧基的聚合单元)所述含羧基的聚合单元具有通过碱性显影液将共聚物溶解的功用。作为用于形成含羧基的聚合单元的不饱和羧酸，可以举出例如：(甲基)丙烯酸、马来酸、反丁烯二酸、巴豆酸、衣康酸、柠康酸、中康酸以及肉桂酸等。作为不饱和羧酸酐，可以举出例如：马来酸酐、衣康酸酐、柠康酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、偏苯三酸酐以及均苯四甲酸二酐等。还有，也可使用这些不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物。这些物质之中，(甲基)丙烯酸在形成层间绝缘膜时可得到漂亮的图案，因而优选。对于含羧基的聚合单元在共聚物中的含量，为了将碱溶性树脂中的想通过碱性显影液溶解的部分完全溶解，优选为3质量％以上，另一方面，为了将不想溶解的部分可靠地留下，优选为50质量％以下。该含羧酸的聚合单元的含量特别优选为5～30％质量。(含烷氧基甲硅烷基的聚合单元)该含烷氧基甲硅烷基的聚合单元具有显现出共聚物的耐热性、耐化学性等特性的功能。作为形成含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的由所述式(1)所示的单体，只要是满足式(1)条件的单体，无特别限制，但b优选为2或3。在b为2或3的情况下，共聚物的交联密度变高，较容易得到充分的耐热性、耐化学性。作为像这样的单体，可以举出例如：3-(甲基)丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、对-苯乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、烯丙基三甲氧基硅烷等，或者将这些单体低聚物化或聚合化的化合物。对于共聚物中的含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的含量，为了得到共聚物的耐热性以及耐化学性，优选为1质量％以上，为了提升储藏稳定性，优选为50％质量以下。该含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的含量，特别优选为5～30质量％。(含羟基的聚合单元)该含羟基的聚合单元具有在共聚物中形成交联构造而赋予机械强度等特性的功能。作为形成含羟基的聚合单元的含羟基不饱和单体，只要是含羟基的单体的话，则无特别限制。作为该含羟基不饱和单体，可以举出例如：2-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯、4-羟基丁基(甲基)丙烯酸酯、5-羟基戊基(甲基)丙烯酸酯、6-羟基己基(甲基)丙烯酸酯、8-羟基辛基(甲基)丙烯酸酯等烷基碳原子数为1～16个的(甲基)丙烯酸羟基烷基酯；己内酯改性2-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯等己内酯改性单体；二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯等氧化烯改性单体；其他2-丙烯酰氧基乙基-2-羟基乙基邻苯二甲酸酯、N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟基乙基(甲基)丙烯酰胺、1,4-环己二甲醇单丙烯酸酯等含伯羟基的单体；2-羟基丙基(甲基)丙本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碱溶性树脂，通过在溶剂中溶解共聚物而形成，所述共聚物含有含羧基聚合单元和含烷氧基甲硅烷基聚合单元，其特征在于，所述溶剂包含具有烷基碳原子数为4或5个的直链或支链的醇。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.26 JP 2014-1969581.一种碱溶性树脂，通过在溶剂中溶解共聚物而形成，所述共聚物含有含羧基聚合单元和含烷氧基甲硅烷基聚合单元，其特征在于，所述溶剂包含具有烷基碳原子数为4或5个的直链或支链的醇。2.根据权利要求1所述的碱溶性树脂，其特征在于，所述含羧基聚合单元为从选自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物的第1共聚性单体衍生的聚合单元，所述含烷氧基甲硅烷基聚合单元为从下述化学式(1)所示的第2共聚性单体衍生的聚合单元，所述共聚物还含有从与所述第1共聚性单体以及第2共聚性单体不同的第3共聚性单体衍生的聚合单元，X－(CH2)a－Si(OR)b(CH3)3-b…(1)其中，化学式(1)中的X为乙烯基、苯乙烯基或(甲基)丙烯酰...

【专利技术属性】
技术研发人员：九泽昌祥，深津优太，饭田启雄，
申请(专利权)人：耐涂可株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP