The invention discloses a method for preparing a selective back field of a crystalline silicon cell by using a photosensitive polyimide. This method firstly by ion implantation and subsequent annealing to form phosphorus doped layer has obvious concentration gradient, and then using photosensitive polyimide by exposing and developing crosslinked to form a protective layer is patterned, and the concentrated phosphorus doped n++ layer etching acid etching solution without protection area, the protective layer after using polyimide alkaline solution to remove the patterned. The invention has simple steps, controllable back field doping concentration and gradient, and high doping area patterning precision.
【技术实现步骤摘要】
一种利用光敏型聚酰亚胺图案化晶硅电池选择性背场制备方法
本专利技术属于光伏应用领域,涉及一种晶硅电池选择性背场的制备方法。
技术介绍
随着能源以及环境问题的日益严峻,清洁可再生能源的利用刻不容缓,其中光伏发电技术已飞跃发展、日益成熟,光伏电池的应用也逐渐普及。为了进一步提高光伏电池的转换效率、降低制备成本,以实现平价上网,新的电池结构与技术不断发展。其中n型双面电池以其较长的少子寿命、无光致衰减(LID)以及可双面发电的特性,成为高效晶硅电池的发展方向。典型的N型双面电池结构为p+/n/n+型,即正面p+型发射极、n型硅片基体以及n+型背场。为了钝化背表面并降低复合速率,n+型背场必不可少,若n型掺杂浓度过高则会增加表面缺陷,增强表面复合,从而降低转换效率。然而为了降低接触电阻实现欧姆接触,又要求背场为n++型重掺。背表面轻掺杂、电极接触区域选择性重掺杂,即选择性背场,这种结构能够很好的解决上述矛盾。目前实现这种结构的主要方式有全背面预掺杂加区域性激光扫描重掺、全背面预掺杂加区域性浓磷涂覆高温扩散等方法,以上方法皆需两次掺杂、工艺复杂且伴有激光或高温损伤。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术的不足,提供一种利用光敏型聚酰亚胺图案化晶硅电池选择性背场制备方法。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:一种利用光敏型聚酰亚胺图案化晶硅电池选择性背场制备方法,包括以下步骤:(1)、对n型硅基片进行制绒并制备p+发射极,然后在n型硅基片背面采用离子注入的方式进行磷元素掺杂,形成具有浓度梯度的磷掺杂层;表层浓度较高,形成n++掺杂层,即磷重掺杂层(101) ...
【技术保护点】
一种利用光敏型聚酰亚胺图案化晶硅电池选择性背场制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)、对n型硅基片进行制绒并制备p
【技术特征摘要】
1.一种利用光敏型聚酰亚胺图案化晶硅电池选择性背场制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)、对n型硅基片进行制绒并制备p+发射极,然后在n型硅基片背面采用离子注入的方式进行磷元素掺杂,形成具有浓度梯度的磷掺杂层;表层浓度较高,形成n++掺杂层,即磷重掺杂层(101);内层浓度较低,形成n+掺杂层,即磷轻掺杂层(102);所述磷元素掺杂包括以下子步骤:(1.1)、离子注入,磷的注入剂量为5×1014cm-2,注入能量为40keV。(1.2)、离子注入,磷的注入剂量为1×1016cm-2,注入能量为25keV。(1.3)、低温惰性气体或氮气退火,退火温度450℃,退火时间90min。(1.4)、高温退火,退火温度为950℃,退火时间30min,退火气氛为氧气气氛;其中n型硅基片的电阻约为0.5~15Ω·cm;掺杂后,磷重掺杂层101浓度为1019~1020cm-3,方块电阻约为15~25Ω/□,磷轻掺杂层102浓度约为1016~1018cm-3。(2)、贴膜曝光显...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹明杰,童荣柏,周光大,林建华,
申请(专利权)人:杭州福斯特光伏材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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