一种柔性器件的制作方法技术

技术编号:15439526 阅读:229 留言:0更新日期:2017-05-26 05:13
本申请涉及一种柔性器件的制作方法,包括:(1)在底板上制作第一电极层,在第一电极层中设置通道;(2)在第一电极层上制作第一电致伸缩性材料膜,且第一电致伸缩性材料膜延伸通过通道与底板相连接;(3)在第一电致伸缩性材料膜的上表面形成第二电极层;(4)在第二电极层的上表面制作柔性基板,在柔性基板上制作功能器件;(5)在第一电极层和第二电极层之间施加第一电压,并使第一电压大于第一电致伸缩性材料膜的相变阈值电压,以使与底板相连接的第一电致伸缩性材料膜发生形变从而至少部分脱离底板;(6)将第一电极层和第一电致伸缩性材料膜从底板上剥离。该方法简单易行,可实现大面积柔性基板剥离并有利于提高柔性器件的制作良率。

Method for making flexible device

Including the production method, the invention relates to a flexible device: (1) making the first electrode layer on the base board, set the channel on the first electrode layer; (2) making the first electrostrictive material film on the first electrode layer, and the first electrostrictive material film are connected through the channel and extension on the first floor; (3) electrostrictive material film is formed on the upper surface of the second electrode layer; (4) in the second electrode layer on the surface of the flexible substrate production, making functional devices on flexible substrates; (5) applying a voltage between the first and second electrode layers, threshold voltage and phase transition the first voltage is greater than the first electrostrictive material film, the first film of electrostrictive material to connect the baseplate of the deformation to at least partially out of the bottom plate; (6) the first electrode layer and the first electrostrictive material from the base film Be stripped\u3002 The method is simple and feasible, and can realize large area flexible substrate stripping and improve the yield of flexible devices.

【技术实现步骤摘要】
一种柔性器件的制作方法
本申请涉及柔性显示
,具体涉及一种柔性器件的制作方法。
技术介绍
柔性器件使用的可卷曲的柔性基板,可实现卷对卷(rolltoroll)制备,但是目前在技术上存在一些问题,现有的柔性器件制作方法大多是把柔性基板固定到底板上,器件制作完成后,再从底板上剥离柔性基板,得到柔性器件。目前把柔性基板固定到底板的方法很多,除了使用粘合剂将柔性基板贴附在底板上的方法之外,较为常见的是直接将柔性基板的原材料譬如PI(聚酰亚胺)涂布在底板上加热烘烤做成柔性基板,在所述柔性基板上制作电子或光学器件,然后通过激光照射的形式进行剥离,即在高分子柔性基板和底板界面施以高强度激光,将界面的一层高分子薄层烧蚀,从而实现剥离。这种剥离方式不仅受到激光扫描尺寸的限制,而且还会在激光照射过程中损坏器件,降低产品良率。鉴于此,特提出本申请。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种柔性器件的制作方法,利用电致伸缩性材料的电致伸缩的形变特性,可实现大面积柔性基板剥离而且有利于提高柔性器件的制作良率。本申请的具体技术方案为:本申请提供的一种柔性器件的制作方法,包括以下步骤:(1)在底板上制作第一电极层,在所述第一电极层中设置通道;(2)在所述第一电极层上制作一层第一电致伸缩性材料膜,且所述第一电致伸缩性材料膜延伸通过所述通道与所述底板相连接;(3)在所述第一电致伸缩性材料膜的上表面形成第二电极层;(4)在所述第二电极层的上表面制作柔性基板,在所述柔性基板上制作功能器件;(5)在所述第一电极层和所述第二电极层之间施加电压,并使所述电压大于所述第一电致伸缩性材料膜的相变阈值电压,以使与所述底板相连接的所述第一电致伸缩性材料膜发生形变从而至少部分脱离所述底板;(6)将所述第一电极层和所述第一电致伸缩性材料膜从所述底板上剥离。优选的,所述底板为柔性玻璃基板。优选的,所述底板为刚性玻璃基板。优选的,在底板上制作第一电极层前,先在所述底板上制作介质层。优选的,在所述底板上制作所述介质层之前,在所述底板上制作第三电极层,在所述第三电极层上制作第二电致伸缩性材料膜,在所述第二电致伸缩性材料膜的表层刻蚀形成多个电极沟槽,在所述多个电极沟槽内填充第四电极,然后在所述第二电致伸缩性材料膜以及所述第四电极的表面制作所述的介质层。优选的,在所述介质层上实现如权1所述的步骤(1)、(2)、(3)、(4);在步骤(5)中,在所述第一电极层和所述第二电极层之间施加第一电压,并使所述第一电压大于所述第一电致伸缩性材料膜的相变阈值电压;以及在所述第三电极层和第四电极之间施加第二电压,并使所述第二电压大于所述第二电致伸缩性材料膜的相变阈值电压;以使与所述介质层相连接的所述第一电致伸缩性材料膜、所述第二电致伸缩性材料膜发生形变从而至少部分脱离所述介质层;步骤(6)将所述第一电极层和所述第一电致伸缩性材料膜从所述介质层上剥离。优选的,所述介质层的材料选自SiO2、SiNx和Al2O3;所述介质层的厚度优选为100nm-500nm。优选的,所述第一电致伸缩性材料膜和第二电致伸缩性材料膜各自独立地选自向列相液晶物理凝胶和铁电液晶弹性体。优选的,所述第一电极层、第二电极层、第三电极和第四电极的厚度各自独立地为100nm-1000nm;位于所述第一电极层以上的所述第一电致伸缩性材料膜的厚度为100nm-5000nm;位于所述第三电极层以上的所述第二电致伸缩性材料膜的厚度为100nm-5000nm。优选的,所述第一电极层包括在所述底板上并排间隔设置的多个条状电极;相邻两个所述条状电极之间的间隔优选为100nm-2000nm,所述条状电极的截面宽度优选为100nm-5000nm,所述条状电极的厚度优选为100nm-1000nm。本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果:本申请通过在柔性基板和底板之间设置电致伸缩性材料,通过给电致伸缩性材料施加电压,当电压超过电致伸缩性材料的相变阈值电压,电致伸缩性材料发生变形,从而实现柔性基板与底板的剥离;该方法简单易行,可实现大面积柔性基板剥离而且有利于提高柔性器件的制作良率。附图说明图1为根据本申请实施例1的通道示意图;图2为根据本申请实施例1或2的通电前的柔性基板和底板复合结构;图3为根据本申请实施例1或2的通电后的柔性基板和底板复合结构;图4为根据本申请实施例3的通电前的柔性基板和底板复合结构;图5为根据本申请实施例3的通电后的柔性基板和底板复合结构图6为根据本申请实施例4或5通电前的柔性基板和底板复合结构;图7为根据本申请实施例4或5通电后的柔性基板和底板复合结构;附图标记,1-底板(刚性玻璃基板或柔性玻璃基板);2-A电极;3-A电致伸缩性材料膜;4-B电极;5-柔性基板;6-C电极;7-B电致伸缩性材料膜;8-D电极;9-介质层;10-E电极;11-C电致伸缩性材料膜;12-F电极;13-介质层;14-通道。具体实施方式为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例及附图,对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请提供的技术方案及所给出的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。文中“上”、“下”以附图中的复合结构的放置状态为参照。本申请提供的柔性器件的制作方法,大致包括以下步骤:(1)在底板上制作第一电极层,在所述第一电极层中设置通道;(2)在所述第一电极层上制作一层第一电致伸缩性材料膜,且所述第一电致伸缩性材料膜延伸通过所述通道与所述底板相连接;(3)在所述第一电致伸缩性材料膜的上表面形成第二电极层;(4)在所述第二电极层的上表面制作柔性基板,在所述柔性基板上制作功能器件;(5)在所述第一电极层和所述第二电极层之间施加第一电压,并使所述第一电压大于所述第一电致伸缩性材料膜的相变阈值电压,以使与所述底板相连接的所述第一电致伸缩性材料膜发生形变从而至少部分脱离所述底板;(6)将所述第一电极层和所述第一电致伸缩性材料膜从所述底板上剥离。上述方法通过在柔性基板和底板之间设电致伸缩性材料膜(即第一电致伸缩性材料膜),并通过非连续性电极的设置,当施加的电压超过电致伸缩性材料膜的相变阈值电压时,电致伸缩性材料膜沿具有通道的第一电极层向底板发生形变凸起,从而使电致伸缩性材料膜与底板之间处于非完全附着状态,使得后续的剥离变得轻松容易;该方法简单易行,可实现大面积柔性基板剥离而且有利于提高柔性器件的制作良率。且剥离后,仍与柔性基板相连的第一电极和第二电极可充当柔性器件背面的保护层。作为本申请的一种改进,本申请电致伸缩性材料膜选自具有逆压电性质材料,如向列相液晶物理凝胶、铁电液晶弹性体。较佳的,位于第一电极层以上的第一电致伸缩性材料膜的厚度为100nm-5000nm。作为本申请的一种改进,本申请的底板可以选自以下任一:(a)柔性玻璃基板(即,超薄玻璃);(b)刚性玻璃基板;作为本申请的一种改进,第一电极层选自Al、Mo、Ti、Ag、Cu等金属、Al、Mo、Ti、Ag、Cu等金属中的多种的金属合金材料以及ITO、ZnAlO等氧化物半导体材料。作为本申请的一种改进,第二电极层选自Al、Mo、T本文档来自技高网...
一种柔性器件的制作方法

【技术保护点】
一种柔性器件的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在底板上制作第一电极层,在所述第一电极层中设置通道;(2)在所述第一电极层上制作一层第一电致伸缩性材料膜,且所述第一电致伸缩性材料膜延伸通过所述通道与所述底板相连接;(3)在所述第一电致伸缩性材料膜的上表面形成第二电极层;(4)在所述第二电极层的上表面制作柔性基板,在所述柔性基板上制作功能器件;(5)在所述第一电极层和所述第二电极层之间施加第一电压,并使所述第一电压大于所述第一电致伸缩性材料膜的相变阈值电压,以使与所述底板相连接的所述第一电致伸缩性材料膜发生形变从而至少部分脱离所述底板;(6)将所述第一电极层和所述第一电致伸缩性材料膜从所述底板上剥离。

【技术特征摘要】
1.一种柔性器件的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在底板上制作第一电极层,在所述第一电极层中设置通道;(2)在所述第一电极层上制作一层第一电致伸缩性材料膜,且所述第一电致伸缩性材料膜延伸通过所述通道与所述底板相连接;(3)在所述第一电致伸缩性材料膜的上表面形成第二电极层;(4)在所述第二电极层的上表面制作柔性基板,在所述柔性基板上制作功能器件;(5)在所述第一电极层和所述第二电极层之间施加第一电压,并使所述第一电压大于所述第一电致伸缩性材料膜的相变阈值电压,以使与所述底板相连接的所述第一电致伸缩性材料膜发生形变从而至少部分脱离所述底板;(6)将所述第一电极层和所述第一电致伸缩性材料膜从所述底板上剥离。2.根据权利要求1所述的柔性器件的制作方法,其特征在于,所述底板为柔性玻璃基板。3.根据权利要求1所述的柔性器件的制作方法,其特征在于,所述底板为刚性玻璃基板。4.根据权利要求2或3所述的柔性器件的制作方法,其特征在于,在底板上制作第一电极层前,先在所述底板上制作介质层。5.根据权利要求4所述的柔性器件的制作方法,其特征在于,在所述底板上制作所述介质层之前,在所述底板上制作第三电极层,在所述第三电极层上制作第二电致伸缩性材料膜,在所述第二电致伸缩性材料膜的表层刻蚀形成多个电极沟槽,在所述多个电极沟槽内填充第四电极,然后在所述第二电致伸缩性材料膜以及所述第四电极的表面制作所述的介质层。6.根据权利要求5所述的柔性器件的制作方法,其特征在于,在所述介质层上实现如权利要求1所述的步骤(1)、(2)、(3)、(4);在步骤(5...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭瑞贺良伟徐磊卜凡中赵景训俞凤至
申请(专利权)人:昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司昆山国显光电有限公司
类型:发明
国别省市:江苏,32

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