Including the production method, the invention relates to a flexible device: (1) making the first electrode layer on the base board, set the channel on the first electrode layer; (2) making the first electrostrictive material film on the first electrode layer, and the first electrostrictive material film are connected through the channel and extension on the first floor; (3) electrostrictive material film is formed on the upper surface of the second electrode layer; (4) in the second electrode layer on the surface of the flexible substrate production, making functional devices on flexible substrates; (5) applying a voltage between the first and second electrode layers, threshold voltage and phase transition the first voltage is greater than the first electrostrictive material film, the first film of electrostrictive material to connect the baseplate of the deformation to at least partially out of the bottom plate; (6) the first electrode layer and the first electrostrictive material from the base film Be stripped\u3002 The method is simple and feasible, and can realize large area flexible substrate stripping and improve the yield of flexible devices.
【技术实现步骤摘要】
一种柔性器件的制作方法
本申请涉及柔性显示
,具体涉及一种柔性器件的制作方法。
技术介绍
柔性器件使用的可卷曲的柔性基板,可实现卷对卷(rolltoroll)制备,但是目前在技术上存在一些问题,现有的柔性器件制作方法大多是把柔性基板固定到底板上,器件制作完成后,再从底板上剥离柔性基板,得到柔性器件。目前把柔性基板固定到底板的方法很多,除了使用粘合剂将柔性基板贴附在底板上的方法之外,较为常见的是直接将柔性基板的原材料譬如PI(聚酰亚胺)涂布在底板上加热烘烤做成柔性基板,在所述柔性基板上制作电子或光学器件,然后通过激光照射的形式进行剥离,即在高分子柔性基板和底板界面施以高强度激光,将界面的一层高分子薄层烧蚀,从而实现剥离。这种剥离方式不仅受到激光扫描尺寸的限制,而且还会在激光照射过程中损坏器件,降低产品良率。鉴于此,特提出本申请。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种柔性器件的制作方法,利用电致伸缩性材料的电致伸缩的形变特性,可实现大面积柔性基板剥离而且有利于提高柔性器件的制作良率。本申请的具体技术方案为:本申请提供的一种柔性器件的制作方法,包括以下步骤:(1)在底板上制作第一电极层,在所述第一电极层中设置通道;(2)在所述第一电极层上制作一层第一电致伸缩性材料膜,且所述第一电致伸缩性材料膜延伸通过所述通道与所述底板相连接;(3)在所述第一电致伸缩性材料膜的上表面形成第二电极层;(4)在所述第二电极层的上表面制作柔性基板,在所述柔性基板上制作功能器件;(5)在所述第一电极层和所述第二电极层之间施加电压,并使所述电压大于所述第一电致伸缩性材料膜的相变阈值电压 ...
【技术保护点】
一种柔性器件的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在底板上制作第一电极层,在所述第一电极层中设置通道;(2)在所述第一电极层上制作一层第一电致伸缩性材料膜,且所述第一电致伸缩性材料膜延伸通过所述通道与所述底板相连接;(3)在所述第一电致伸缩性材料膜的上表面形成第二电极层;(4)在所述第二电极层的上表面制作柔性基板,在所述柔性基板上制作功能器件;(5)在所述第一电极层和所述第二电极层之间施加第一电压,并使所述第一电压大于所述第一电致伸缩性材料膜的相变阈值电压,以使与所述底板相连接的所述第一电致伸缩性材料膜发生形变从而至少部分脱离所述底板;(6)将所述第一电极层和所述第一电致伸缩性材料膜从所述底板上剥离。
【技术特征摘要】
1.一种柔性器件的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在底板上制作第一电极层,在所述第一电极层中设置通道;(2)在所述第一电极层上制作一层第一电致伸缩性材料膜,且所述第一电致伸缩性材料膜延伸通过所述通道与所述底板相连接;(3)在所述第一电致伸缩性材料膜的上表面形成第二电极层;(4)在所述第二电极层的上表面制作柔性基板,在所述柔性基板上制作功能器件;(5)在所述第一电极层和所述第二电极层之间施加第一电压,并使所述第一电压大于所述第一电致伸缩性材料膜的相变阈值电压,以使与所述底板相连接的所述第一电致伸缩性材料膜发生形变从而至少部分脱离所述底板;(6)将所述第一电极层和所述第一电致伸缩性材料膜从所述底板上剥离。2.根据权利要求1所述的柔性器件的制作方法,其特征在于,所述底板为柔性玻璃基板。3.根据权利要求1所述的柔性器件的制作方法,其特征在于,所述底板为刚性玻璃基板。4.根据权利要求2或3所述的柔性器件的制作方法,其特征在于,在底板上制作第一电极层前,先在所述底板上制作介质层。5.根据权利要求4所述的柔性器件的制作方法,其特征在于,在所述底板上制作所述介质层之前,在所述底板上制作第三电极层,在所述第三电极层上制作第二电致伸缩性材料膜,在所述第二电致伸缩性材料膜的表层刻蚀形成多个电极沟槽,在所述多个电极沟槽内填充第四电极,然后在所述第二电致伸缩性材料膜以及所述第四电极的表面制作所述的介质层。6.根据权利要求5所述的柔性器件的制作方法,其特征在于,在所述介质层上实现如权利要求1所述的步骤(1)、(2)、(3)、(4);在步骤(5...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭瑞,贺良伟,徐磊,卜凡中,赵景训,俞凤至,
申请(专利权)人:昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司,昆山国显光电有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。