存储单元阵列版图数据中的通孔的替换方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种存储单元阵列版图数据中的通孔的替换方法，建立一个数据序列，将需要处理的存储单元阵列版图数据中的各存储单元按顺序建立存储单元链表,并记录各存储单元的1/2通孔的四个角的坐标，按链表的顺序查找，将同数据序列中已有的1/2通孔没有匹配成功的当前存储单元的1/2通孔的四个角的坐标添加到数据序列，将同当前存储单元的1/2通孔匹配成功的1/2通孔的四个角的坐标从数据序列中清除，将匹配成功两个的1/2通孔组合成一个待替换完整通孔。本发明专利技术还公开了一种存储单元阵列版图数据中的通孔的替换系统。本发明专利技术，无论存储单元阵列相邻两个存储单元间的完整通孔的两个1/2通孔无论是否在版图的同一阶层，都可以全部、准确、快速的定位替换。

Method and system for replacing vias in a storage cell array layout data

The invention discloses a method for replacing a memory cell array layout data in the through hole, the establishment of a data sequence, will need to each memory cell array layout data processing in a storage unit according to the order of the list, and records of each storage unit 1/2 via the coordinates of the four corners, in order find the list, will have the same data in the sequence of 1/2 through hole did not match the current success of the 1/2 storage unit via the coordinates of the four corners are added to the data sequence, will remove the current storage unit with 1/2 hole matching success 1/2 via the coordinates of the four corners from the data sequence, the to match the success of two 1/2 holes are combined into a complete hole to replace. The invention also discloses a replacement system for the through holes in the storage cell array layout data. In the invention, the two 1/2 vias of the entire through hole between the two memory cells of the memory cell array can be positioned accurately, rapidly and accurately regardless of whether they are in the same class of the layout.

【技术实现步骤摘要】
存储单元阵列版图数据中的通孔的替换方法及系统
本专利技术涉及一种半导体物理版图数据处理技术，特别涉及一种存储单元阵列版图数据中的通孔的替换方法及系统。
技术介绍
存储单元阵列版图数据，基于不同的半导体工艺要求，经常需要对通孔单位尺寸进行更改，例如存储单元阵列版图数据中原有的通孔单位尺寸为0.8mμm*0.8μm，而当前半导体工艺要求的通孔单位尺寸为0.28mμm*0.28μm，此时就需要将存储单元阵列版图数据中的通孔单位尺寸更改为0.28mμm*0.28μm，如图1所示。存储单元阵列的各存储单元分布在多个版图阶层中，存储单元阵列相邻两个存储单元间的整个通孔是由两个1/2通孔拼接而成的，每个1/2通孔由其四个角的坐标定位，组成相邻两个存储单元间的整体通孔的两个1/2通孔之间，有两个角的坐标是相同的。存储单元阵列的相邻两个存储单元，有时不在同一版图阶层。相邻两个存储单元在同一版图阶层时，相邻两个存储单元间的通孔通过常规的查找方法即可定位，能够全部、准确的替换通孔；但是当相邻两个存储单元不在同一版图阶层时，由于整个通孔的二分之一位于一个版图阶层，整个通孔的另二分之一位于另一个版图阶层，两个存储单元间的通孔的定位就比较困难。现有的做法是利用版图工具如Virtuoso，目视查找这些不在同一版图阶层的相邻两个存储单元间的整个通孔，然后进行通孔替换，由于存储单元阵列版图数据中的相邻两个存储单元间的通孔数量极大(可达3万多个)这既需要花费大量的时间，又存在着巨大的风险，万一有个别的通孔数据替换错误，将会导致通孔丢失，电路失效等重大问题。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是对需要处理的存储单元阵列版图数据中的不在同一版图阶层的存储单元间的完整通孔，进行全部、准确、快速的定位替换。为解决上述技术问题，本专利技术提供的存储单元阵列版图数据中的通孔的替换方法，包括以下步骤:一.建立一个数据序列，并将其清零；i＝1；二.对需要处理的存储单元阵列版图数据进行解析，将需要处理的存储单元阵列版图数据中的各存储单元按读取的先后顺序建立存储单元链表,并记录各存储单元邻接的各二分之一通孔的四个角的坐标，需要处理的存储单元阵列版图数据中的存储单元个数为N；三.将所述存储单元链表中的第i个存储单元的各个二分之一通孔的四个角的坐标，分别同所述数据序列中已有的各个存储单元的各个二分之一通孔的四个角的坐标进行比较，如果有两个角的坐标相同，则将所述数据序列中已有的该个存储单元的该个二分之一通孔同第i个存储单元的该个二分之一通孔组成一个待替换完整通孔，并将所述数据序列中已有的该个存储单元的该个二分之一通孔的四个角的坐标数据清除；否则，将第i个存储单元的该个二分之一通孔的四个角的坐标添加到所述数据序列；四.i自增1；如果i小于等于N，则进行步骤三，否则进行步骤五；五.将组成的各个待替换完整通孔进行替换，将数据序列清零。为解决上述技术问题，本专利技术提供的存储单元阵列版图数据中的通孔的替换系统，包括一存储单元阵列版图数据解析模块、一数据序列模块、一匹配处理模块、一完整通孔替换模块；所述存储单元阵列版图数据解析模块，用于对需要处理的存储单元阵列版图数据进行解析，将需要处理的存储单元阵列版图数据中的各存储单元按读取的先后顺序建立存储单元链表,并记录各存储单元邻接的各二分之一通孔的四个角的坐标，记录需要处理的存储单元阵列版图数据中的存储单元个数；所述数据序列模块，用于存放数据序列，初始状态为清零；所述匹配处理模块，工作过程如下：一.i＝1；二.将所述存储单元链表中的第i个存储单元的各个二分之一通孔的四个角的坐标，依序分别同所述数据序列中已有的各个存储单元的各个二分之一通孔的四个角的坐标进行比较，如果有两个角的坐标相同，则将所述数据序列中已有的该个存储单元的该个二分之一通孔同第i个存储单元的该个二分之一通孔组成一个待替换完整通孔，并将所述数据序列中已有的该个存储单元的该个二分之一通孔的四个角的坐标数据清除；否则，将第i个存储单元的该个二分之一通孔的四个角的坐标添加到所述数据序列；三.i自增1；如果i小于等于N，则进行步骤二，否则进行步骤四；N为需要处理的存储单元阵列版图数据中的存储单元个数；四.将数据序列清零；所述完整通孔替换模块，用于将所述匹配处理模块组成的待替换完整通孔进行替换。本专利技术的存储单元阵列版图数据中的通孔的替换方法及系统，建立一个数据序列，将需要处理的存储单元阵列版图数据中的各存储单元的按读取的先后顺序建立存储单元链表,并记录各存储单元邻接的二分之一通孔的四个角的坐标。然后，按链表的顺序从头开始向下查找，将同该数据序列中已有的二分之一通孔没有匹配成功的当前存储单元的二分之一通孔的四个角的坐标添加到该数据序列，将同当前存储单元的二分之一通孔匹配成功的二分之一通孔的四个角的坐标从该数据序列中清除，将匹配成功两个的二分之一通孔组合成一个待替换完整通孔，当依序遍历完存储单元链表中所有的存储单元后，便会得到需要处理的存储单元阵列版图数据中的各存储单元间的全部待替换完整通孔，不会遗漏不在同一版图阶层的完整通孔，无论存储单元阵列相邻两个存储单元间的完整通孔的两个1/2通孔无论是否在版图的同一阶层，都可以全部、准确、快速的定位替换，大大节省了存储单元阵列版图数据中的通孔的替换时间。附图说明为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面对本专利技术所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是存储单元阵列版图数据中的通孔单位尺寸变换示意图；图2是一实施例的存储单元阵列版图数据的存储单元链表示意图；图3是本专利技术的存储单元阵列版图数据中的通孔的替换方法一实施例示意图；图4是本专利技术的存储单元阵列版图数据中的通孔的替换系统一实施例示意图。具体实施方式下面将结合附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例一存储单元阵列版图数据中的通孔的替换方法，包括以下步骤:一.建立一个数据序列，并将其清零；i＝1二.对需要处理的存储单元阵列版图数据进行解析，将需要处理的存储单元阵列版图数据中的各存储单元的按读取的先后顺序建立存储单元链表,并记录各存储单元所在版图阶层、各存储单元邻接的二分之一通孔的四个角的坐标，需要处理的存储单元阵列版图数据中的存储单元个数为N；一存储单元阵列版图数据的存储单元链表如图2所示，该树状结构的存储单元链表，各存储单元分别分布在第一版图阶层(TOP)、第二版图阶层(SUB)、第三版图阶层(DEEPSUB)三个版图阶层；各存储单元(CELL)的读取先后顺序为：TOPCELL1→SUBCELL1→DEEPSUBCELL1→SUBCELL1→TOPCELL1→SUBCELL2→DEEPSUBCELL2→SUBCELL2→DEEPSUBCELL3→SUBCELL2→TOPCELL1→SUBCELL3→DEEPSUBCELL3→SUBCELL3→DEEPSUBCELL本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种存储单元阵列版图数据中的通孔的替换方法，其特征在于，包括以下步骤:一.建立一个数据序列，并将其清零；i＝1；二.对需要处理的存储单元阵列版图数据进行解析，将需要处理的存储单元阵列版图数据中的各存储单元按读取的先后顺序建立存储单元链表,并记录各存储单元邻接的各二分之一通孔的四个角的坐标，需要处理的存储单元阵列版图数据中的存储单元个数为N；三.将所述存储单元链表中的第i个存储单元的各个二分之一通孔的四个角的坐标，分别同所述数据序列中已有的各个存储单元的各个二分之一通孔的四个角的坐标进行比较，如果有两个角的坐标相同，则将所述数据序列中已有的该个存储单元的该个二分之一通孔同第i个存储单元的该个二分之一通孔组成一个待替换完整通孔，并将所述数据序列中已有的该个存储单元的该个二分之一通孔的四个角的坐标数据清除；否则，将第i个存储单元的该个二分之一通孔的四个角的坐标添加到所述数据序列；四.i自增1；如果i小于等于N，则进行步骤三，否则进行步骤五；五.将组成的各个待替换完整通孔进行替换，将数据序列清零。

【技术特征摘要】
1.一种存储单元阵列版图数据中的通孔的替换方法，其特征在于，包括以下步骤:一.建立一个数据序列，并将其清零；i＝1；二.对需要处理的存储单元阵列版图数据进行解析，将需要处理的存储单元阵列版图数据中的各存储单元按读取的先后顺序建立存储单元链表,并记录各存储单元邻接的各二分之一通孔的四个角的坐标，需要处理的存储单元阵列版图数据中的存储单元个数为N；三.将所述存储单元链表中的第i个存储单元的各个二分之一通孔的四个角的坐标，分别同所述数据序列中已有的各个存储单元的各个二分之一通孔的四个角的坐标进行比较，如果有两个角的坐标相同，则将所述数据序列中已有的该个存储单元的该个二分之一通孔同第i个存储单元的该个二分之一通孔组成一个待替换完整通孔，并将所述数据序列中已有的该个存储单元的该个二分之一通孔的四个角的坐标数据清除；否则，将第i个存储单元的该个二分之一通孔的四个角的坐标添加到所述数据序列；四.i自增1；如果i小于等于N，则进行步骤三，否则进行步骤五；五.将组成的各个待替换完整通孔进行替换，将数据序列清零。2.一种存储单元阵列版图数据中的通孔的替换系统，其特征在于，包括一存储单元阵列版图数据解析模块、一数据序列模块、一匹配处理模块、...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兴洲，倪凌云，孙长江，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31