磁盘用玻璃基板的制造方法技术

一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其可在玻璃基板的主表面抑制清洗污渍的产生，该磁盘用玻璃基板的制造方法包括上述玻璃基板的表面的清洗处理、和在上述清洗处理后进行的上述表面的干燥处理。上述清洗处理包括将上述玻璃基板浸渍到包含沸点低于水的水溶性溶剂和水的第1液体中的第1液体处理，上述第1液体包含上述水溶性溶剂作为主要成分，并包含3.0重量％以上的水。或者，上述干燥处理包括：将上述玻璃基板配置于包含沸点低于水的水溶性溶剂和水的第2液体的蒸气中，一边在上述玻璃基板的表面形成液滴，一边使上述玻璃基板的液滴的一部分从上述玻璃基板滴下。上述第2液体包含上述水溶性溶剂作为主要成分，并包含超过1.0重量％的上述水。

Method for manufacturing glass substrate for magnetic disk

Method for manufacturing glass substrate for a magnetic disk, which can inhibit cleaning stains on the main surface of the glass substrate of the disk, method for manufacturing glass substrate including the glass substrate surface cleaning processing, and the surface of the cleaning process after the drying process. The cleaning process includes the glass substrate impregnated into first liquid handling first liquid containing lower boiling point than water soluble solvent and water, the first liquid containing the water soluble solvent as main ingredient, and contains more than 3 wt% water. Or, the drying process includes: second the liquid vapor is arranged on the glass substrate includes a lower boiling point than water soluble solvent and water in the side surface of the glass substrate to form droplets, while a part of the glass substrate of the liquid droplet from the glass substrate drops. The second liquid contains the water-soluble solvent as the main component and contains more than 1 wt.% of the said water.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】磁盘用玻璃基板的制造方法
本专利技术涉及磁盘用玻璃基板的制造方法。
技术介绍
对于用作信息记录介质之一的磁盘而言，以往适宜地使用了玻璃基板。现在，应硬盘驱动装置中的存储容量增大的要求，实现了磁记录的高密度化。伴随于此，进行了下述操作：使磁头距磁记录面的悬浮距离极短，从而对磁记录信息区域进行微细化。对于这种磁盘用玻璃基板而言，为了达成高记录密度硬盘驱动装置所需的磁头低悬浮量化，降低基板的表面凹凸、特别是微小起伏的要求越来越强。此外，由于在玻璃基板的主表面形成磁性层，因而对主表面进行严格的管理，以使主表面不残存有机成分等导致的不必要的异物。因此，最终研磨后的玻璃基板的主表面的清洗处理和干燥处理的重要性高。例如，下述清洗处理、干燥处理是众所周知的，其用于防止因异物而使玻璃发生改性、劣化(所谓的腐蚀(ヤケ))(专利文献1)，该异物附着于主表面上形成了纹理的磁盘用玻璃基板的主表面上。具体而言，在制造磁盘用玻璃基板时，在清洗处理中，至少用纯水、或以水为主要成分的水溶液进行清洗，之后将以沸点低于水的水溶性溶剂作为主要成分并且含水量为1.0重量％以下的液体作为清洗液进行清洗。在干燥处理中，至少进行使以沸点低于水的水溶性溶剂为主要成分的液体的蒸气与磁盘用玻璃基板接触的脱水处理。该脱水处理的上述液体中包含的水含量为1.0重量％以下。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利5032758号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，近年来产生了下述问题：即，在进行了清洗处理和干燥处理的玻璃基板的主表面上的外周侧端面附近的圆周上的一部分区域会产生看起来像是白浊的污渍那样的缺陷。之后，将该缺陷称为清洗污渍。认为该清洗污渍与位于玻璃中的主表面的碱金属成分和空气中的水发生反应而使主表面整个面白浊地形成的上述腐蚀是不同的，在干燥处理时部分残留于主表面。从通过在玻璃基板的主表面形成磁性膜而制作磁盘的方面考虑，这样的清洗污渍是不优选的。因此，本专利技术的目的在于提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法在制造磁盘用玻璃基板时能够在玻璃基板的主表面抑制清洗污渍的产生。用于解决课题的方案本申请专利技术人为了探索上述清洗污渍的原因而对清洗污渍的组成等进行了调查，结果发现，清洗污渍来源于清洗处理中所用的清洗剂及在清洗处理前附着于玻璃基板的有机成分的异物，该有机成分的一部分在干燥处理中残存于玻璃基板。因此，本申请专利技术人对于即便是有机成分附着于玻璃基板的表面的玻璃基板也能够通过清洗处理和干燥处理充分除去有机成分的对策进行了研究，结果完成了下述方式的专利技术。即，本专利技术的一个方式为磁盘用玻璃基板的制造方法。该制造方法包括下述方式。[方式1]一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，其包括上述玻璃基板的表面的清洗处理、和在上述清洗处理后使上述表面干燥的干燥处理，上述清洗处理包括将上述玻璃基板浸渍到第1液体中的第1液体处理，该第1液体包含沸点低于水的水溶性溶剂和水，上述第1液体包含上述水溶性溶剂作为主要成分，并包含3.0重量％以上的水。[方式2]如方式1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其中，上述干燥处理为如下的处理：将上述玻璃基板配置于包含沸点低于水的水溶性溶剂和水的第2液体的蒸气中，一边在上述玻璃基板的表面形成液滴，一边使上述玻璃基板的液滴的至少一部分从上述玻璃基板滴下，并且使上述玻璃基板干燥，上述第2液体的水的含量低于上述第1液体的水的含量。[方式3]如方式2所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其中，上述第2液体的水的含量超过1.0重量％。[方式4]一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，其包括上述玻璃基板的表面的清洗处理、和在上述清洗处理后使上述表面干燥的干燥处理，上述干燥处理包括：将上述玻璃基板配置于包含沸点低于水的水溶性溶剂和水的第2液体的蒸气中，一边在上述玻璃基板的表面形成液滴，一边使上述玻璃基板的液滴的一部分从上述玻璃基板滴下，上述第2液体包含上述水溶性溶剂作为主要成分，并包含超过1.0重量％的上述水。[方式5]如方式4所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其中，上述清洗处理包括将上述玻璃基板浸渍到第1液体中的第1液体处理，该第1液体包含沸点低于水的水溶性溶剂和水，上述第1液体的水的含量高于上述第2液体的水的含量。[方式6]如方式1～3和5中任一项所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其中，上述玻璃基板含有碱金属成分，上述清洗处理包括水处理，其中，将上述玻璃基板浸渍到温度为40℃以上50℃以下的水中从而对上述表面进行清洗的水处理。[方式7]如方式6所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其中，按照上述水处理、上述第1液体处理以及上述干燥处理的顺序来对上述玻璃基板进行处理。[方式8]如方式1～7中任一项所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其中，上述水溶性溶剂为异丙醇。[方式9]如方式1～8中任一项所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其中，上述玻璃基板的碱金属成分的总含量为22.0摩尔％以下。专利技术的效果在上述磁盘用基板的制造方法中，制造磁盘用玻璃基板时，能够在玻璃基板的主表面抑制清洗污渍的产生。附图说明图1是示意性地说明本实施方式中的清洗处理和干燥处理的图。具体实施方式下面，对本专利技术的磁盘用玻璃基板的制造方法进行详细说明。本实施方式中，磁盘用玻璃基板为圆板形状，呈中心部分以同心圆形状被挖空的环状。磁盘用玻璃基板将该环状的中心作为旋转轴而进行旋转。磁盘是通过将磁性层等层积于磁盘用玻璃基板上而得到的。例如，在玻璃基板上成膜有附着层、软磁性层、非磁性基底层、垂直磁记录层、保护层和润滑层等。由此，制造出磁盘。因此，对磁盘用玻璃基板的表面进行严格管理，以使其洁净。这样的磁盘用玻璃基板利用下述制造方法来制造。下面，对该玻璃基板的制造方法的各处理进行说明。(a)玻璃坯料成型处理玻璃坯料为作为玻璃基板的基础的板状玻璃。在玻璃坯料的成型中，例如使用浮法。在玻璃坯料的成型处理中，首先是将熔融玻璃连续地流入装满锡等熔融金属的浴槽内，从而得到板状玻璃。熔融玻璃在实施了严密的温度操作的浴槽内沿着行进方向流动，最终形成调整为所期望的厚度、宽度的板状玻璃。由该板状玻璃切出规定形状(例如平面观察为四边形状)的板状玻璃坯料作为磁盘用玻璃基板的基础。另外，除了浮法之外，板状的玻璃坯料的成型例如也可以使用压制成型法。进一步，可以使用下拉法、重新引下法、熔融法等公知的制造方法来进行制造。对于由这些公知的制造方法制作得到的板状玻璃，适宜地进行形状加工，从而切出圆板状的玻璃坯料作为磁盘用玻璃基板的基础。(b)形状加工处理接着，在形状加工处理中，在玻璃坯料成型处理后，使用公知的加工方法形成圆孔，从而制作开穿有圆形贯通孔的盘状玻璃基板。之后，可以进一步实施倒角。另外，出于调整板厚、降低平坦度等目的，可以实施主表面的磨削。(c)第1研磨处理接着，对玻璃基板的主表面实施第1研磨处理。第1研磨处理的目的在于主表面的镜面研磨。具体而言，一边将玻璃基板保持在设置于保持部件(载具)的保持孔内一边进行玻璃基板的两侧的主表面的研磨，该保持部件安装于双面研磨装置中。基于第1研磨的加工余量例如为几μm～100μm左右。第1研磨处理的目的在于，例如去除残留于主表面的伤痕或应变、或调整微小的表面凹凸。需要说明的是，关于表面凹凸，为了进一步降低或进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，其包括所述玻璃基板的表面的清洗处理、和在所述清洗处理后使所述表面干燥的干燥处理，所述清洗处理包括将所述玻璃基板浸渍到第1液体中的第1液体处理，该第1液体包含沸点低于水的水溶性溶剂和水，所述第1液体包含所述水溶性溶剂作为主要成分，并包含3.0重量％以上的水。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.30 JP 2014-202008;2014.09.30 JP 2014-202051.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，其包括所述玻璃基板的表面的清洗处理、和在所述清洗处理后使所述表面干燥的干燥处理，所述清洗处理包括将所述玻璃基板浸渍到第1液体中的第1液体处理，该第1液体包含沸点低于水的水溶性溶剂和水，所述第1液体包含所述水溶性溶剂作为主要成分，并包含3.0重量％以上的水。2.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其中，所述干燥处理为如下的处理：将所述玻璃基板配置于包含沸点低于水的水溶性溶剂和水的第2液体的蒸气中，一边在所述玻璃基板的表面形成液滴，一边使所述玻璃基板的液滴的至少一部分从所述玻璃基板滴下，并且使所述玻璃基板干燥，所述第2液体的水的含量低于所述第1液体的水的含量。3.如权利要求2所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其中，所述第2液体的水的含量超过1.0重量％。4.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，其包括所述玻璃基板的表面的清洗处理、和在所述清洗处理后使所述表面干燥的干...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·斯瓦特，S·潘尼，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，HOYA玻璃磁盘泰国公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP