蚀刻电极装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蚀刻电极装置，包括至少一个电极本体，电极本体的内部设有冷却通道，冷却通道包括入水口和出水口；支撑框体，电极本体设于支撑框体内，支撑框体设有至少一个第一安装孔和至少一个第二安装孔；输液机构，输液机构包括第一输液组件和第二输液组件，第一输液组件穿设于第一安装孔、并与入水口连通，第二输液组件穿设于第二安装孔、并与出水口连通；及冷却液供给装置，冷却液供给装置与第一输液组件、第二输液组件管路连接。因而通过冷却液在电极本体内部的冷却通道内循环流动，可以有效降低气体电离撞击电极而产生的热量，进而确保产品蚀刻均匀性好，蚀刻速度高，保证产品较佳的加工质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及等离子蚀刻
，特别是涉及一种蚀刻电极装置。
技术介绍
等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。采用该原理工作的等离子蚀刻机是用等离子体中的自由基去轰击或溅射被刻蚀材料的表面分子，形成易挥发物质，从而实现刻蚀的目的。然后目前市面上等离子蚀刻机中参与蚀刻反应的电极通常为平板式结构，当参与一段时间的反应之后电极表面会因蚀刻损耗形成凹凸不平的结构；此外在等离子运动过程中，气体被电离后在电极间运动电极会产生热量，热量越高，等离子运动越剧烈，在此基础上的进一步反应会因为电极温度过高，反应距离、反应液浓度均一性差等原因导致产品的蚀刻速度降低，且蚀刻均匀性不佳，影响产品加工质量。
技术实现思路
基于此，本专利技术在于克服现有技术的缺陷，提供一种蚀刻均匀性好，蚀刻速度高，产品加工质量好且结构简单的蚀刻电极装置及等离子蚀刻机。其技术方案如下：一种蚀刻电极装置，包括：至少一个电极本体，所述电极本体的内部设有冷却通道，所述冷却通道包括入水口和出水口；支撑框体，所述电极本体设于所述支撑框体内，所述支撑框体设有至少一个第一安装孔和至少一个第二安装孔；输液机构，所述输液机构包括第一输液组件和第二输液组件，所述第一输液组件穿设于所述第一安装孔、并与所述入水口连通，所述第二输液组件穿设于所述第二安装孔、并与所述出水口连通；及冷却液供给装置，所述冷却液供给装置与所述第一输液组件、所述第二输液组件管路连接。上述蚀刻电极装置通过在所述支撑框体内安设至少一盒所述电极本体，并在所述电极本体内部设置冷却通道，之后将所述冷却液供给装置通过所述第一输液组件与冷却通道的入水口连通、通过所述第二输液组件与冷却通道的出水口连通。因而通过冷却液在电极本体内部的冷却通道内循环流动，可以有效降低气体电离撞击电极而产生的热量，进而确保产品蚀刻均匀性好，蚀刻速度高，保证产品较佳的加工质量。下面对技术方案座进一步的说明：在其中一个实施例中，所述冷却通道呈迂回型结构，并沿所述电极本体的延伸方向布置。因而可以使冷却通道的布设面积与电极的面积相适配，进而确保冷却液可以流经整个电极，保证电极降温可靠，避免局部降温不彻底而引起的加工质量问题。在其中一个实施例中，所述第一输液组件和所述第二输液组件均包括固定座、输液管和锁紧件，所述固定座设有与所述第一安装孔和所述第二安装孔相适配的第三安装孔，所述输液管穿设于所述第一安装孔和所述第三安装孔、或所述第二安装孔或所述第三安装孔，所述输液管伸出所述固定座的端部与所述锁紧件连接。如此不仅可以牢固将电极本体安装固定在支撑框体上，且该连接方式结构简单，装拆方便，有利于提高工作效率，同时也可以将冷却液可靠导引入冷却通道内，避免冷却液发生泄漏，造成资源浪费和加工环境污染。在其中一个实施例中，还包括至少一个温度探测件和温度控制器，所述温度控制器与所述冷却液供给装置电性连接，所述温度探测件设置于所述电极本体上并与所述温度控制器通信连接。因而通过温度探测件对电极本体温度进行实时检测，可以通过温度控制器灵活控制冷却液的通断供给，确保电极本体工作可靠，保证产品蚀刻量均匀性好；此外，也有利于降低设备损耗及资源消耗，提高企业生产经济性。在其中一个实施例中，所述温度探测件的数量为多个，多个所述温度探测件均匀间隔设置于所述电极本体上。因而可以更为全面及灵敏的检测电极本体各个区域的温度，避免局部温差导致的产品加工质量一致性差的问题，确保蚀刻均匀性好。在其中一个实施例中，所述电极本体设有至少一个镂空部，所述冷却通道包括至少两个通道单元，所述镂空部位于相邻两个所述通道单元间。如此可以有效提高电极本体的表面放大面积，从而使得负辉区内产生的所有离子几乎都能轰击阴极表面，以提高负辉区和阴极暗区内的电力、激发等碰撞过程的发生几率，使得蚀刻电流密度和等离子密度大大增加，从而提高产品的蚀刻速度和均匀性。在其中一个实施例中，所述镂空部的数量为多个，所述通道单元的数量为多个，所述镂空部与所述通道单元交替布置。如此在提高电极本体的表面积，提高加工速度和均匀性的同时，还可以通过通道单元内的冷却液对电极进行充分降温，避免产品温度过高，确保产品加工质量好。在其中一个实施例中，所述镂空部的数量范围为：2～50。因而可以根据不同尺寸的加工对象在电极本体上灵活设置不同数量的镂空部，从而有效改善加工条件，提高产品蚀刻质量，提升蚀刻电极装置的适用范围。本专利技术还提供一种等离子蚀刻机，其包括有如上所述的蚀刻电极装置。上述等离子蚀刻机通过安装使用上述蚀刻电极装置，即通过在所述支撑框体内安设至少一盒所述电极本体，并在所述电极本体内部设置冷却通道，之后将所述冷却液供给装置通过所述第一输液组件与冷却通道的入水口连通、通过所述第二输液组件与冷却通道的出水口连通。因而通过冷却液在电极本体内部的冷却通道内循环流动，可以有效降低气体电离撞击电极而产生的热量，进而确保产品蚀刻均匀性好，蚀刻速度高，保证产品较佳的加工质量。附图说明图1为本专利技术实施例所述的蚀刻电极装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例所述的蚀刻电极装置的A处局部放大图；图3为本专利技术实施例所述的电极本体的结构示意图。附图标记说明：100、电极本体，120、冷却通道，122、入水口，124、出水口，126、通道单元，140、镂空部，200、支撑框体，220、第一安装孔，240、第二安装孔，300、第一输液组件，400、第二输液组件，500、冷却液供给装置，600、固定座，620、第三安装孔，700、输液管，800、锁紧件，900a、温度探测件，900b、温度控制器。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本专利技术进行进一步的详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用以解释本专利技术，并不限定本专利技术的保护范围。如图1至图3所示，为本专利技术展示的一种蚀刻电极装置，包括至少一个电极本体100，所述电极本体100的内部设有冷却通道120，所述冷却通道120包括入水口122和出水口124；支撑框体200，所述电极本体100设于所述支撑框体200内，所述支撑框体200设有至少一个第一安装孔220和至少一个第二安装孔240；输液机构，所述输液机构包括第一输液组件300和第二输液组件400，所述第一输液组件300穿设于所述第一安装孔220、并与所述入水口122连通，所述第二输液组件400穿设于所述第二安装孔240、并与所述出水口124连通；及冷却液供给装置500，所述冷却液供给装置500与所述第一输液组件300、所述第二输液组件400管路连接。上述蚀刻电极装置通过在所述支撑框体200内安设至少一盒所述电极本体100，并在所述电极本体100内部设置冷却通道120，之后将所述冷却液供给装置500通过所述第一输液组件300与冷却通道120的入水口122连通、通过所述第二输液组件400与冷却通道120的出水口124连通。因而通过冷却液在电极本体100内部的冷却通道120内循环流动，可以有效降低气体电离撞击电极而产生的热量，进而确保产品本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蚀刻电极装置，其特征在于，包括：至少一个电极本体，所述电极本体的内部设有冷却通道，所述冷却通道包括入水口和出水口；支撑框体，所述电极本体设于所述支撑框体内，所述支撑框体设有至少一个第一安装孔和至少一个第二安装孔；输液机构，所述输液机构包括第一输液组件和第二输液组件，所述第一输液组件穿设于所述第一安装孔、并与所述入水口连通，所述第二输液组件穿设于所述第二安装孔、并与所述出水口连通；及冷却液供给装置，所述冷却液供给装置与所述第一输液组件、所述第二输液组件管路连接。

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻电极装置，其特征在于，包括：至少一个电极本体，所述电极本体的内部设有冷却通道，所述冷却通道包括入水口和出水口；支撑框体，所述电极本体设于所述支撑框体内，所述支撑框体设有至少一个第一安装孔和至少一个第二安装孔；输液机构，所述输液机构包括第一输液组件和第二输液组件，所述第一输液组件穿设于所述第一安装孔、并与所述入水口连通，所述第二输液组件穿设于所述第二安装孔、并与所述出水口连通；及冷却液供给装置，所述冷却液供给装置与所述第一输液组件、所述第二输液组件管路连接。2.根据权利要求1所述的蚀刻电极装置，其特征在于，所述冷却通道呈迂回型结构，并沿所述电极本体的延伸方向布置。3.根据权利要求1所述的蚀刻电极装置，其特征在于，所述第一输液组件和所述第二输液组件均包括固定座、输液管和锁紧件，所述固定座设有与所述第一安装孔和所述第二安装孔相适配的第三安装孔，所述输液管穿设于所述第一安装孔和所述第三安装孔、或所述第二安装孔或所述第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵公魄，赵芝强，丁雪苗，
申请(专利权)人：珠海宝丰堂电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44