一种新型扫描电镜样品台制造技术

本实用新型专利技术提供一种新型扫描电镜样品台，包括样品台和样品固定夹，样品固定夹包括弹性球以及呈夹角的连接段和压紧段，压紧段通过连接部件与样品台边缘转动连接，连接段自由端通过弹性球与样品台连接，弹性球中充有气体。当系统的气压逐渐下降时，弹性球逐渐增大，推动连接段旋转，使压紧段压在样品表面，且该压力随着系统气压的下降逐渐增大，从而实现样品的固定；该样品台兼容性好、自动化程度高，适用于薄片状样品或带磁性样品的固定，能有效防止样品在高真空环境下从样品台脱落。

【技术实现步骤摘要】
一种新型扫描电镜样品台
本技术涉及半导体制造设备领域，具体涉及一种新型扫描电镜样品台。
技术介绍
在科技高速发展的当下，扫描电镜因其简单、高效、高分辨率等特性，在各个领域都得到了广泛的应用。而样品的多样性，也对扫描电镜样品台提出了更多要求。现有的样品台多为圆形平台，也有为满足横截面观察或FIB切割、EBSD测试等的垂直样品台或一定角度倾斜的样品台，其材料多为铝、铜或铝镁合金等。在使用时，多采用双面导电胶粘贴在样品台上的方式固定样品。使用该固定方式固定的薄片型样品，测试完成后取样品时很容易损坏样品；使用该固定方式固定的磁性样品，在电子束的照射下很容易被吸上去遮挡物镜或物镜光阑。综上所述，现有样品台固定方式存在会损坏样品和固定不牢固的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种新型扫描电镜样品台，该方法可以很好地解决薄片型样品或磁性样品在样品台上固定不牢、容易损坏的问题。为达到上述要求，本技术采取的技术方案是：提供一种新型扫描电镜样品台，包括样品台和样品固定夹，样品固定夹包括弹性球以及呈夹角的连接段和压紧段，压紧段通过连接部件与样品台边缘转动连接，连接段自由端通过弹性球与样品台连接，弹性球中充有气体。与现有技术相比，本技术具有的优点是：(1)当系统的气压逐渐下降时，弹性球逐渐增大，推动连接段旋转，使压紧段压在样品表面，且该压力随着系统气压的下降逐渐增大，从而实现样品的固定；该样品台兼容性好、自动化程度高，适用于薄片状样品或带磁性样品的固定，能有效防止样品在高真空环境下从样品台脱落；(2)压紧段为弹性件，对样品进行固定时会发生一定的形变，避免压坏样品。附图说明此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，在这些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：图1为本技术处于在大气压时的结构示意图。图2为本技术处于真空系统中的结构示意图。图3为本技术连接部件的结构示意图。具体实施方式为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合附图及具体实施例，对本申请作进一步地详细说明。为简单起见，以下描述中省略了本领域技术人员公知的某些技术特征。本技术提供一种新型扫描电镜样品台1，如图1所示，包括样品台1和样品固定夹2，样品固定夹2包括弹性球21以及呈夹角的连接段22和压紧段24，压紧段24通过连接部件23与样品台1边缘转动连接，连接段22自由端通过弹性球21与样品台1连接。该弹性球21为丁基橡胶球，其中充有少量气体，并且气密性良好，当其所处的系统气压从大气压逐渐减小时，弹性球21体积逐渐增大；当其所处的系统气压逐渐恢复到大气压时，弹性球21恢复到初始大小。该样品固定夹2的压紧段24为弹性件，在受到压力时会发生形变。如图3所示，该连接部件23包括两个平行设置的连接块231和连接两个连接块231的连接杆232，压紧段24开设有通孔，连接杆232穿过该通孔，两个连接块231与样品台1固定连接。两个连接块231的间距略宽于压紧段24的宽度，使压紧段24可以绕此连接杆232旋转。该样品固定夹2的数量可以根据实际需要进行调整，但至少设置有一个，本实施例中设置有2个。该样品台1和样品固定夹2均采用铜、铝或铜铝合金制成，但使用其他材料也属于本申请的保护范围。该样品台1底部中央设置有内螺纹接口，便于连接不同的固定杆3，实现样品台1与扫描电镜样品底座的配套使用。当系统气压下降时，弹性球21逐渐增大，推动连接段22旋转，使压紧段24压在样品边缘，如图2所示，当系统气压进一步下降时，压紧段24压在样品边缘的力增大，压紧段24会发生一定程度的形变，避免压坏样品，该种方式对样品的固定更牢固；当系统气压恢复到大气压时，弹性球21体积逐渐减小，带动连接段22反向转动，使压紧段24离开样品，便于取下样品。以上所述实施例仅表示本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能理解为对本技术范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术保护范围。因此本技术的保护范围应该以所述权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型扫描电镜样品台，其特征在于，包括样品台和样品固定夹，样品固定夹包括弹性球以及呈夹角的连接段和压紧段，压紧段通过连接部件与样品台边缘转动连接，连接段自由端通过弹性球与样品台连接，弹性球中充有气体。

【技术特征摘要】
1.一种新型扫描电镜样品台，其特征在于，包括样品台和样品固定夹，样品固定夹包括弹性球以及呈夹角的连接段和压紧段，压紧段通过连接部件与样品台边缘转动连接，连接段自由端通过弹性球与样品台连接，弹性球中充有气体。2.根据权利要求1所述的新型扫描电镜样品台，其特征在于，所述压紧段为弹性件。3.根据权利要求1或2所述的新型扫描电镜样品台，其特征在于，所述连接部件包括两个平行设置的连接块和连接两个连接块的连接杆，压紧段套设在连接杆上，两个连接块与样品台固定连接。4.根据权利要求1或2所述的新型扫描电镜样品台，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘万鹏，
申请(专利权)人：成都海威华芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51