一种基板的干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基板的干燥装置，包括用于对基板进行干燥处理的干燥单元、与干燥单元连接的控制单元以及分别与控制单元连接的第一处理单元和第二处理单元；控制单元用于控制第一处理单元或第二处理单元与干燥单元连通，第一处理单元用于在与干燥单元连通时对干燥单元进行清洗，第二处理单元用于在与干燥单元连通时且在第一处理单元对干燥单元进行清洗后对干燥单元进行干燥；这样，在干燥单元被污染后，可以利用控制单元控制第一处理单元与干燥单元连通，利用第一处理单元对干燥单元进行清洗，之后利用控制单元控制第二处理单元与干燥单元连通，利用第二处理单元对干燥单元进行干燥，从而提供了一种自带清洁功能的干燥装置。

【技术实现步骤摘要】
一种基板的干燥装置
本技术涉及显示
，尤其涉及一种基板的干燥装置。
技术介绍
在显示面板的制作过程中，一般在基板上形成各膜层之前，需要对基板的表面依次进行清洗处理和干燥处理，以避免基板表面的杂质影响成膜质量，进而影响显示面板的良率。目前，一般利用干燥装置喷出气体来对基板的表面进行干燥处理。现有的干燥装置由于长时间使用，喷头和气体管路容易受到污染，这样，会影响对基板的干燥效果，从而会对后续在该基板上成膜造成影响，进而会导致制作的显示面板出现不良。现有的干燥装置通常采用风刀喷头，清洁难度较大。因此，如何提供一种容易清洁的干燥装置，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术实施例提供了一种基板的干燥装置，用以提供一种容易清洁的干燥装置。因此，本技术实施例提供了一种基板的干燥装置，包括：干燥单元、与所述干燥单元连接的控制单元以及分别与所述控制单元连接的第一处理单元和第二处理单元；其中，所述干燥单元，用于对所述基板进行干燥处理；所述控制单元，用于控制所述第一处理单元或所述第二处理单元与所述干燥单元连通；所述第一处理单元，用于在与所述干燥单元连通时利用清洗液对所述干燥单元进行清洗；所述第二处理单元，用于在与所述干燥单元连通时且在所述第一处理单元对所述干燥单元进行清洗后利用气体对所述干燥单元进行干燥。在一种可能的实现方式中，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，所述第二处理单元，还用于在与所述干燥单元连通时向所述干燥单元通入用于对所述基板进行干燥处理的气体。在一种可能的实现方式中，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，所述干燥单元，包括：喷头；所述喷头，用于喷出对所述基板进行干燥处理的气体。在一种可能的实现方式中，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，所述喷头为风刀喷头。在一种可能的实现方式中，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，所述控制单元，包括：三通阀；所述三通阀的输入端与所述喷头连接，第一输出端与所述第一处理单元连接，第二输出端与所述第二处理单元连接。在一种可能的实现方式中，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，所述第一处理单元，包括：容器和与所述容器连通且与所述三通阀的第一输出端连接的压力泵；所述容器，用于容纳清洗液；所述压力泵，用于将所述容器内的清洗液抽取至所述三通阀的第一输出端。在一种可能的实现方式中，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，所述清洗液为水。本技术实施例提供的上述基板的干燥装置，包括用于对基板进行干燥处理的干燥单元、与干燥单元连接的控制单元以及分别与控制单元连接的第一处理单元和第二处理单元；控制单元用于控制第一处理单元或第二处理单元与干燥单元连通，第一处理单元用于在与干燥单元连通时对干燥单元进行清洗，第二处理单元用于在与干燥单元连通时且在第一处理单元对干燥单元进行清洗后对干燥单元进行干燥；这样，在干燥单元被污染后，可以利用控制单元控制第一处理单元与干燥单元连通，利用第一处理单元对干燥单元进行清洗，之后利用控制单元控制第二处理单元与干燥单元连通，利用第二处理单元对干燥单元进行干燥，从而提供了一种自带清洁功能的干燥装置。附图说明图1为本技术实施例提供的基板的干燥装置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的基板的干燥装置的具体结构示意图。具体实施方式下面结合附图，对本技术实施例提供的基板的干燥装置的具体实施方式进行详细地说明。附图中各部件的形状和尺寸不反映其真实比例，目的只是示意说明本
技术实现思路
。本技术实施例提供的一种基板的干燥装置，如图1所示，包括：干燥单元1、与干燥单元1连接的控制单元2以及分别与控制单元2连接的第一处理单元3和第二处理单元4；其中，干燥单元1，用于对基板进行干燥处理；控制单元2，用于控制第一处理单元3或第二处理单元4与干燥单元1连通；第一处理单元3，用于在与干燥单元1连通时利用清洗液对干燥单元1进行清洗；第二处理单元4，用于在与干燥单元1连通时且在第一处理单元3对干燥单元1进行清洗后利用气体对干燥单元1进行干燥。本技术实施例提供的上述干燥装置，在干燥单元被污染后，可以利用控制单元控制第一处理单元与干燥单元连通，利用第一处理单元对干燥单元进行清洗，之后利用控制单元控制第二处理单元与干燥单元连通，利用第二处理单元对干燥单元进行干燥，即可完成对干燥单元的清洁，从而提供了一种自带清洁功能的干燥装置。利用本技术实施例提供的上述干燥装置对基板的表面进行干燥处理，可以避免干燥单元被污染后影响对基板表面的干燥效果，从而可以保证后续在基板表面的成膜质量。较佳地，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，为了简化干燥装置的结构，可以利用用于对基板进行干燥处理的气体来对干燥单元进行清洗之后的干燥，也就是将用于对基板进行干燥处理的单元和用于对干燥单元进行清洗之后的干燥的单元集成在一起，如图1所示，第二处理单元4，还可以用于在与干燥单元1连通时向干燥单元1通入用于对基板进行干燥处理的气体。具体地，在本技术实施例提供的上述干燥装置需要清洁干燥单元1时，第二处理单元4可以在与干燥单元1连通时且在第一处理单元3对干燥单元1进行清洗后利用气体对干燥单元1进行干燥；在本技术实施例提供的上述干燥装置用于对基板进行干燥处理时，第二处理单元4可以在与干燥单元1连通时向干燥单元1通入用于对基板进行干燥处理的气体。在具体实施时，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，如图2所示，干燥单元1，可以包括：喷头10；喷头10用于喷出对基板进行干燥处理的气体。图2以示出两个相对设置的喷头10为例，可以将基板从两个喷头10之间通过，从而可以实现对基板的两个表面进行干燥处理。具体地，喷头的设置位置与现有的干燥装置中喷头的设置位置类似，在此不做赘述。较佳地，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，喷头优选风刀喷头，这是由于人工清洁风刀喷头的难度较大，利用本技术实施例提供的上述干燥装置可以简单实现对风刀喷头的清洁。当然，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，喷头并非局限于风刀喷头，还可以为其他类型的喷头，在此不做限定。在具体实施时，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，如图2所示，控制单元2，可以包括：三通阀20；三通阀20的输入端20a与喷头10连接，第一输出端20b与第一处理单元3连接，第二输出端20c与第二处理单元4连接。具体地，在三通阀20的输入端20a和第一输出端20b相通时，可以控制第一处理单元3与喷头10连通，从而可以利用第一处理单元3对喷头10进行清洗；在三通阀20的输入端20a和第二输出端20c相通时，可以控制第二处理单元3与喷头10连通，从而可以利用第二处理单元3对喷头10进行干燥。在具体实施时，在本技术实施例提供的上述干燥装置中，如图2所示，三通阀20的输入端20a可以通过管道30与喷头10连接；这样，在三通阀20控制第一处理单元3与喷头10连通从而利用第一处理单元3对喷头10进行清洗的同时，还可以实现对管道30进行清洗；在三通阀20控制第二处理单元3与喷头10连通从而利用第二处理单元3对喷头10进行干燥的同时，还可以实现对管道30进行干燥，从而还可以实现对管道30进行清洁。在具体实施时，在本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板的干燥装置，其特征在于，包括：干燥单元、与所述干燥单元连接的控制单元以及分别与所述控制单元连接的第一处理单元和第二处理单元；其中，所述干燥单元，用于对所述基板进行干燥处理；所述控制单元，用于控制所述第一处理单元或所述第二处理单元与所述干燥单元连通；所述第一处理单元，用于在与所述干燥单元连通时利用清洗液对所述干燥单元进行清洗；所述第二处理单元，用于在与所述干燥单元连通时且在所述第一处理单元对所述干燥单元进行清洗后利用气体对所述干燥单元进行干燥。

【技术特征摘要】
1.一种基板的干燥装置，其特征在于，包括：干燥单元、与所述干燥单元连接的控制单元以及分别与所述控制单元连接的第一处理单元和第二处理单元；其中，所述干燥单元，用于对所述基板进行干燥处理；所述控制单元，用于控制所述第一处理单元或所述第二处理单元与所述干燥单元连通；所述第一处理单元，用于在与所述干燥单元连通时利用清洗液对所述干燥单元进行清洗；所述第二处理单元，用于在与所述干燥单元连通时且在所述第一处理单元对所述干燥单元进行清洗后利用气体对所述干燥单元进行干燥。2.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述第二处理单元，还用于在与所述干燥单元连通时向所述干燥单元通入用于对所述基板进行干燥处理的气体。3.如权利要求1或2...

【专利技术属性】
技术研发人员：于洪禄，陈国，张万鹏，程鹏，戴俊奕，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11