一种靶材挤压成型工装制造技术

本实用新型专利技术公开一种靶材挤压成型工装，其包括底座及两对称设置的挤压组件，所述两挤压组件对称的安装在底座上且能相对运动形成挤压结构，其中各挤压组件包括移动架体、固定架体及由气缸带动的挤压头，所述移动架体一端弯折并与底座相连，固定架体固定在底座边沿处并与移动架体平行设置，所述气缸固定在固定架体上且其动力输出轴穿过固定架体及移动架体与所述挤压头相连。本实用新型专利技术待挤压靶材置于两对称设置的挤压组件之间，待挤压靶材通过工作台上部件带动旋转，所述挤压组件中挤压头与靶材表面接触并通过控制气缸输出端的伸缩量控制挤压参数，实现在靶材生产同时均匀挤压，确保靶材密度，从而在提高生产效率的同时确保产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材挤压成型工装
本技术涉及一种靶材挤压成型工装，尤其是涉及一种能增加靶材密封、提高靶材质量同时提高挤压均匀性的靶材挤压成型工装。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。而现有靶材成品大多为圆筒状且其长度较长，其在靶材制造喷涂的过程中要将喷涂材料喷涂或溅射在原有层结构上，形成圆筒状靶材，而在喷涂过程中由于材料密度、喷射环形种种原因影响导致成品的厚度大，且致密度不足等问题，为了解决这些问题需要将成品表面挤压，现有挤压大多是通过独立的挤压工具，且该挤压工具挤压不均匀，导致成品质量不高等。因此在现有靶材挤压工装结构上，如何能与工件喷涂工装配合实现一次性挤压，同时确保挤压均匀，根据不同靶材实施不同挤压力而达到不同产品密度的要求等是目前靶材挤压工装结构中研发人员的重要课题之一。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种靶材挤压成型工装，其主要针对现有挤压工具挤压不均匀、且需要将人工搬运产品至独立的挤压工具处，降低工作效率等不足。为达到上述目的，本技术是通过以下技术方案实现的：一种靶材挤压成型工装，其包括底座及两对称设置的挤压组件，所述两挤压组件对称的安装在底座上且能相对运动形成挤压结构，其中各挤压组件包括移动架体、固定架体及由气缸带动的挤压头，所述移动架体一端弯折并与底座相连，固定架体固定在底座边沿处并与移动架体平行设置，所述气缸固定在固定架体上且其动力输出轴穿过固定架体及移动架体与所述挤压头相连。进一步，所述移动架体包括竖直部及折边部，所述竖直部与固定架体平行设置，而折边部与竖直部垂直相连，其中折边部上开设有允许调节螺栓穿过的通孔，而底座对应通孔位置设置有用于配合锁紧的底座通孔，形成能通过调节螺栓将移动架体与底座固接的连接结构。进一步，所述移动架体的竖直部一侧设置有与气缸输出轴相适配的导向套筒，所述气缸动力输出轴穿过导向套筒、移动架体的竖直部与挤压头相连。进一步，所述挤压头包括头架及挤压滚轮，所述头架固定在气缸动力输出轴的一端且内平行设置有两滚轮轴，所述挤压滚轮为两个且呈上下分布，各挤压滚轮安装在滚轮轴上形成能随待挤压工件旋转的滚轮挤压结构。与现有技术相比较，本技术的优点：本技术利用底座将挤压用的结构设置在成品旋转的工作台上，且其与工作台垂直设置，而待挤压靶材置于两对称设置的挤压组件之间，待挤压靶材通过工作台上部件带动旋转，所述挤压组件中挤压头与靶材表面接触并通过控制气缸输出端的伸缩量控制挤压参数，实现在靶材生产同时挤压，且这种靶材匀速旋转挤压头沿轴向平行移动的结构确保靶材外表面的均匀挤压，确保靶材密度，从而在提高生产效率的同时确保产品质量，同时减小成品占据的空间。附图说明图1是本技术实施例结构立体图一；图2是本技术实施例结构立体图二；图3是本技术实施例结构局部放大图；图4是本技术实施例中优选头架结构示意图。具体实施方式为使本技术实施的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行更加详细的描述。在附图中，自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本技术方案的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术保护范围的限制，下面结合附图对本技术作进一步说明：实施例：请参阅图1至图3所示，一种靶材挤压成型工装，其包括底座1及两对称设置的挤压组件2，所述两挤压组件2对称的安装在底座1上且能相对运动形成挤压结构。具体的说：请参阅图1至图3所示，所述底座1为一能与靶材加工平台垂直相连的板体，其上开设有若干能与加工平台配合安装的通孔，优选的所述底座可以沿靶材轴向行走，从而提高挤压效率，所述靶材置于两对称设置的挤压组件2之间，两挤压组价2均与靶材表面接触。请参阅图1至图3所示，前述各挤压组件2包括移动架体21、固定架体22及由气缸23带动的挤压头24，所述移动架体21一端弯折并与底座相连，固定架体22固定在底座1边沿处并与移动架体21平行设置，所述气缸23固定在固定架体22上且其动力输出轴穿过固定架体22及移动架体21与所述挤压头24相连。具体的说：请参阅图1至图3所示，所述移动架体21包括竖直部及折边部，所述竖直部与固定架体平行设置，而折边部与竖直部垂直相连，其中折边部上开设有允许调节螺栓穿过的通孔，而底座1对应通孔位置设置有用于配合锁紧的底座通孔，形成能通过调节螺栓将移动架体与底座固接的连接结构。所述移动架体21的竖直部一侧设置有与气缸23输出轴相适配的导向套筒211，所述气缸动力输出轴穿过导向套筒211、移动架体21的竖直部与挤压头24相连；请参阅图1至图3所示，所述挤压头24包括头架241及挤压滚轮242，所述头架241固定在气缸23动力输出轴的一端且内平行设置有两滚轮轴242，所述挤压滚轮243为两个且呈上下分布，各挤压滚轮242安装在滚轮轴243上形成能随待挤压工件旋转的滚轮挤压结构。优选的所述挤压头24上的各挤压滚轮242为硬度大于靶材表面层结构的材料制成。请参阅图4所示，跟优选的技术方案是：所述各挤压头24上各挤压滚轮242固定安装在滚轮轴243上，而所述头架241侧壁上开设有能挂接滚轮轴243的凹槽2411，各滚轮轴243可拆卸的安装在头架241上，所述头架241的凹槽2411呈L形状，且凹槽2411弯折部的内侧壁上设置有一弹性凸起5，该弹性凸起5为T性轴置于凹槽内壁的孔内，所述T性轴上套接有弹簧6，形成凸起结构，所述T性轴5的外表面上铺设有锯齿状橡胶凸牙51，以防止滚轴弹出。本技术利用底座将挤压用的结构设置在成品旋转的工作台上，且其与工作台垂直设置，而待挤压靶材置于两对称设置的挤压组件之间，待挤压靶材通过工作台上部件带动旋转，所述挤压组件中挤压头与靶材表面接触并通过控制气缸输出端的伸缩量控制挤压参数，实现在靶材生产同时挤压，且这种靶材匀速旋转挤压头沿轴向平行移动的结构确保靶材外表面的均匀挤压，确保靶材密度，从而在提高生产效率的同时确保产品质量，同时减小成品占据的空间。以上所记载，仅为利用本创作
技术实现思路
的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种靶材挤压成型工装，其特征在于：其包括能与工件加工台安装的底座，及两对称设置的挤压组件，所述两挤压组件对称的安装在底座上且能相对运动形成挤压结构，其中各挤压组件包括移动架体、固定架体及由气缸带动的挤压头，所述移动架体一端弯折并与底座相连，固定架体固定在底座边沿处并与移动架体平行设置，所述气缸固定在固定架体上且其动力输出轴穿过固定架体及移动架体与所述挤压头相连。

【技术特征摘要】
1.一种靶材挤压成型工装，其特征在于：其包括能与工件加工台安装的底座，及两对称设置的挤压组件，所述两挤压组件对称的安装在底座上且能相对运动形成挤压结构，其中各挤压组件包括移动架体、固定架体及由气缸带动的挤压头，所述移动架体一端弯折并与底座相连，固定架体固定在底座边沿处并与移动架体平行设置，所述气缸固定在固定架体上且其动力输出轴穿过固定架体及移动架体与所述挤压头相连。2.根据权利要求1所述的一种靶材挤压成型工装，其特征在于：所述移动架体包括竖直部及折边部，所述竖直部与固定架体平行设置，而折边部与竖直部垂直相连，其中折边部上开设有允许调...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗文富，罗传熙，黄国良，
申请(专利权)人：厦门佰事兴新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35