半导体激光装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体激光装置及其制造方法。半导体激光装置具备：半导体激光元件，其朝向第1方向射出激光；准直透镜，其使从上述半导体激光元件射出的激光的成分中的与上述第1方向垂直的第2方向的成分准直；以及透镜固定块，其具有相对于与上述第1方向以及上述第2方向垂直的第3方向垂直的透镜安装面。上述准直透镜的在上述第3方向的第1端部被固定用树脂固定于上述透镜固定块的上述透镜安装面，在被上述固定用树脂固定的上述第1端部中交叉的两个面形成有胶瘤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体激光装置及其制造方法
本专利技术涉及半导体激光装置及其制造方法。本申请基于2014年11月17日在日本申请的特愿2014-232637号主张优先权，并在此引用其内容。
技术介绍
半导体激光装置与气体激光、固体激光相比，具有小型且功率消耗小(能量转换效率高)等特征。因此，半导体激光装置在民生用途(例如，光学拾取的光源)以及工业用途(例如，光纤激光的激发光源)中被广泛地使用。这样的半导体激光装置具备：射出激光的半导体激光元件、和用于将从半导体激光元件射出的激光准直的准直透镜。此处，从半导体激光元件射出的激光相比与半导体激光元件的pn接合面平行的方向(慢轴)在垂直的方向(快轴)上更大地扩展。因此，作为上述的准直透镜，使用使从半导体激光元件射出的激光的快轴的成分准直的准直透镜(FAC透镜：快轴准直透镜)。在以下的专利文献1中公开有半导体激光装置。对于该半导体激光装置而言，在搭载有半导体激光元件的基台上设置有透镜固定台，在该透镜固定台上树脂固定有准直透镜。而且，在半导体激光元件的激光射出部对置配置有准直透镜。另外，在专利文献1中也公开有其他的半导体激光装置。对于该半导体装置而言，上部成为凹型的透镜固定台被设置在基台上，准直透镜的一部分以非接触状态被树脂固定在该透镜固定台的凹部内。由此，可减少因树脂的收缩(例如，固化收缩)、膨胀(例如，吸湿膨胀)而引起的准直透镜的位置偏移。另外，在以下的专利文献2中也公开有半导体激光装置。对于该半导体激光装置而言，在搭载有半导体激光元件的基台上设置有透镜固定台，通过该透镜固定台以在轴向上夹持准直透镜的方式将准直透镜的两端树脂固定。对于该半导体激光装置而言，因树脂的收缩、膨胀而产生的准直透镜的位置偏移可被准直透镜的长度方向(沿着慢轴的方向)限制。因此，可减少沿着快轴的方向以及沿着激光的射出方向的方向的准直透镜的位置偏移。专利文献1：日本国特开2011-187525号公报专利文献2：日本国特开2004-273545号公报然而，上述的专利文献1所公开的第一个半导体激光装置是将准直透镜树脂固定在透镜固定台上的构造。因此，若产生树脂的收缩、膨胀则存在准直透镜向沿着快轴的方向位置偏移而产生性能降低的担忧。与此相对的，上述的专利文献1所公开的第二个半导体激光装置是树脂固定于上部成为凹型的透镜固定台的构造。因此，可减少准直透镜的位置偏移，但存在上部需要使用凹型的透镜固定台从而成本上升的担忧。另外，上述的专利文献2所公开的半导体激光装置是准直透镜的两端被树脂固定于透镜固定台的构造。在这样的构造中，为了提高固定强度，有时以在准直透镜的两端形成有胶瘤的方式进行树脂固定。此处，胶瘤是指从应该固定的面间溢出的树脂，此处是指从准直透镜的端面与透镜固定台之间溢出并在准直透镜的侧面扩张的树脂。若在准直透镜的侧面形成有胶瘤，则沿着快轴的方向以及沿着激光的射出方向的方向上的树脂的重心与透镜的重心的距离变大。树脂的收缩、膨胀以树脂的重心为基准进行。换句话说，朝向树脂的重心收缩，以树脂的重心为中心膨胀。因此，若如上述那样重心间的距离变大，则存在产生准直透镜沿着快轴的方向以及沿着激光的射出方向的方向上的位置偏移的问题。另外，在上述的专利文献1、2所公开的半导体激光装置中，可认为通过使用长度较短的准直透镜，能够实现小型化以及成本的减少。在使用这样的长度较短的准直透镜的情况下，需要使透镜固定台与准直透镜共同接近配置于半导体激光元件的激光射出部。上述的专利文献1所公开的第二个半导体激光装置是在透镜固定台的凹部内配置有准直透镜的一部分的构造。因此，为了将准直透镜接近配置于半导体激光元件的激光射出部，有时使凹部的侧壁的厚度变薄，从而存在成本大幅度上升的担忧。另外，对于上述的专利文献2所公开的半导体激光装置而言，存在被涂覆于透镜固定台的树脂(用于固定准直透镜的树脂)附着于半导体激光元件的激光射出部，从而导致成品率变差这样的担忧。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而完成的，目的在于提供一种能够有效地减少因树脂的收缩、膨胀引起的准直透镜的位置偏移、并且能够不伴随着成本的大幅度的上升而以较高的成品率制造的半导体激光装置及其制造方法。为了解决上述课题，本专利技术的第1方式的半导体激光装置具备：半导体激光元件，其朝向第1方向射出激光；准直透镜，其使从上述半导体激光元件射出的激光的成分中的与上述第1方向垂直的第2方向的成分准直；以及透镜固定块，其具有相对于与上述第1方向以及上述第2方向垂直的第3方向垂直的透镜安装面，上述准直透镜的在上述第3方向的第1端部被固定用树脂固定于上述透镜固定块的上述透镜安装面，在被上述固定用树脂固定的上述第1端部中交叉的两个面形成有胶瘤。另外，也可以上述准直透镜在从上述透镜固定块向上述半导体激光元件的一侧探出的状态下被固定于上述透镜安装面，上述胶瘤被形成于上述准直透镜的侧面即与同上述半导体激光元件对置的一侧相反的一侧的侧面、以及上述准直透镜的端面即从上述透镜固定块向上述半导体激光元件的一侧探出的部分的端面。另外，也可以被形成于上述准直透镜的侧面的上述胶瘤是在上述透镜安装面处随着靠近上述准直透镜而隆起的形状，被形成于上述准直透镜的端面的上述胶瘤是在上述透镜固定块的与上述透镜安装面交叉的两个面中的朝向上述半导体激光元件的一侧的面处随着靠近上述准直透镜而隆起的形状。另外，也可以被形成于上述准直透镜的侧面的上述胶瘤与被形成于上述准直透镜的端面的上述胶瘤体积几乎相等。另外，也可以以同上述第3方向平行的上述准直透镜的重心线的延长线与上述透镜安装面相交的方式将上述准直透镜固定于上述透镜安装面。另外，也可以上述透镜固定块被配置于以下位置，与上述透镜安装面交叉的两个面中的朝向上述半导体激光元件的一侧的面距上述半导体激光元件的距离是在上述准直透镜的工作距离加上上述准直透镜的从上述透镜固定块的探出量所得到的距离。另外，上述固定用树脂也可以是紫外线固化树脂或者热固化树脂。另外，上述第2方向也可以是沿着从上述半导体激光元件射出的激光的快轴的方向。本专利技术的第2方式的半导体激光装置的制造方法是具备：半导体激光元件，其朝向第1方向射出激光；准直透镜，其使从上述半导体激光元件射出的激光的成分中的与上述第1方向垂直的第2方向的成分准直；以及透镜固定块，其具有相对于与上述第1方向以及上述第2方向垂直的第3方向而垂直的透镜安装面的半导体激光装置的制造方法，对于半导体激光装置的制造方法而言，具有以下工序：使搭载有上述半导体激光元件以及上述透镜固定块的基板旋转以便上述透镜安装面朝向铅垂上方，在上述透镜固定块的上述透镜安装面上涂覆固定用树脂，将沿着铅垂上下方向的上述准直透镜从上述透镜安装面的上方配置于涂覆有上述固定用树脂的位置，使上述准直透镜与上述基板中的一方水平移动，对上述准直透镜与上述半导体激光元件的相对位置进行调整，使上述固定用树脂固化。另外，涂覆上述固定用树脂的工序也可以包括在上述透镜安装面上的比上述准直透镜的工作距离更远离的位置涂覆上述固定用树脂。另外，对上述准直透镜与上述半导体激光元件的相对位置进行调整的工序也可以包括：以上述准直透镜成为从上述透镜固定块向上述半导体激光元件的一侧探出的状态的方式，对上述准直透镜与上述半导体激光元件的相对位置进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光装置，其具备：半导体激光元件，其向第1方向射出激光；准直透镜，其使从所述半导体激光元件射出的激光的成分中的与所述第1方向垂直的第2方向的成分准直；以及透镜固定块，其具有相对于与所述第1方向以及所述第2方向垂直的第3方向垂直的透镜安装面，所述准直透镜的在所述第3方向上的第1端部被固定用树脂固定于所述透镜固定块的所述透镜安装面，在被所述固定用树脂固定的所述第1端部中交叉的两个面形成有胶瘤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.17 JP 2014-2326371.一种半导体激光装置，其具备：半导体激光元件，其向第1方向射出激光；准直透镜，其使从所述半导体激光元件射出的激光的成分中的与所述第1方向垂直的第2方向的成分准直；以及透镜固定块，其具有相对于与所述第1方向以及所述第2方向垂直的第3方向垂直的透镜安装面，所述准直透镜的在所述第3方向上的第1端部被固定用树脂固定于所述透镜固定块的所述透镜安装面，在被所述固定用树脂固定的所述第1端部中交叉的两个面形成有胶瘤。2.根据权利要求1所述的半导体激光装置，其中，所述准直透镜在从所述透镜固定块向所述半导体激光元件的一侧探出的状态下被固定于所述透镜安装面，所述胶瘤被形成于所述准直透镜的侧面即与同所述半导体激光元件对置的一侧相反的一侧的侧面、以及所述准直透镜的端面即从所述透镜固定块向所述半导体激光元件的一侧探出的部分的端面。3.根据权利要求2所述的半导体激光装置，其中，被形成于所述准直透镜的侧面的所述胶瘤是在所述透镜安装面处随着靠近所述准直透镜而隆起的形状，被形成于所述准直透镜的端面的所述胶瘤是在所述透镜固定块的与所述透镜安装面交叉的两个面中的朝向所述半导体激光元件的一侧的面处随着靠近所述准直透镜而隆起的形状。4.根据权利要求2或3所述的半导体激光装置，其中，被形成于所述准直透镜的侧面的所述胶瘤与被形成于所述准直透镜的端面的所述胶瘤体积几乎相等。5.根据权利要求2～4中任一项所述的半导体激光装置，其中，以同所述第3方向平行的所述准直透镜的重心线的延长线与所述透镜安装面相交的方式将所述准直透镜固定于所述透镜安装面。6.根据权利要求2～5中任一项所述的半导体激光装置，其中，所述透镜固定块被配置于如下位置，与所述透镜安装面交叉的两个面中的朝向所述半导体激光元件的一侧的面距所述半导体激光元件的距离是、在所述准直透镜的工作距离加上所述准直透镜的从...

【专利技术属性】
技术研发人员：片桐健，丰原望，
申请(专利权)人：株式会社藤仓，
类型：发明
国别省市：日本,JP