The invention discloses a symmetrical L shaped metal super surface beam splitter, which comprises a metal reflecting layer and a SiO plated on the metal reflecting layer
【技术实现步骤摘要】
一种对称L形金属超构表面分束器以及制备方法
本专利技术属于光电信息功能器件与材料制备
,且特别是有关于一种对称L形金属超构表面分束器以及制备方法。
技术介绍
分束器可以将一束光分成两束或更多束,而等能分束器在相干光学以及量子通讯、计算等方面有着重大应用。过去人们应用多层介电膜以及金属膜半透镜等方法可以实现光一部分透射和一部分反射,但是在宽频段保持严格相等的50:50的分束器依旧是很难实现的。
技术实现思路
为解决上述问题,本专利技术提出一种对称L形金属超构表面分束器以及制备方法,可以在宽频段将偏振光转变为两束强度相位偏振相等的偏振光。为达上述目的,本专利技术提出一种对称L形金属超构表面分束器,其特征在于,包括:金属反射层;镀在金属反射层上的SiO2层;以及在SiO2层上形成的金属膜,所述金属膜由多个周期性分布的分束器结构单元组成,所述分束器结构单元由相同数量n个L形结构和相同数量n个L形结构镜面对称的反L形结构在平面上依次排列构成,n根据不同工作波段可以取2-10,每个L形金属结构的边长为工作波长的五分之一,线宽为工作波长的十五分之一,厚度为工作波长的二十分之一。在1000-1400nm的工作波段中,所述L形结构和其镜面对称的反L形结构其金属膜边长250±10nm,线宽80±10nm,厚度60±10nm,每个平行L形结构的间距为500±20nm。在本例的工作波段中,分别由3个L形结构和3个L形结构镜面对称的反L形结构构成,重复周期为3000±120nm。其中,在本例的工作波段1000-1400nm中,所述L形结构和其镜面对称的反L形结构其金属膜边长250 ...
【技术保护点】
一种对称L形金属超构表面分束器,其特征在于,包括:金属反射层;镀在金属反射层上的SiO
【技术特征摘要】
1.一种对称L形金属超构表面分束器,其特征在于,包括:金属反射层;镀在金属反射层上的SiO2层;以及在SiO2层上形成的金属膜,所述金属膜由多个周期性分布的分束器结构单元组成,所述分束器结构单元由相同数量n个L形结构和相同数量n个L形结构镜面对称的反L形结构在平面上依次排列构成,n根据不同工作波段取2-10,每个L形金属结构的边长为工作波长的五分之一,线宽为工作波长的十五分之一,厚度为工作波长的二十分之一。2.根据权利要求1所述的对称L形金属超构表面分束器,其特征在于,在1000-1400nm的工作波段中,所述L形结构和其镜面对称的反L形结构其金属膜边长250±10nm,线宽80±10nm,厚度60±10nm,每个平行L形结构的间距为500±20nm。3.根据权利要求1所述的对称L形金属超构表面分束器,其特征在于,分别由3个L形结构和3个L形结构镜面对称的反L形结构构成,重复周期为3000±120nm。4.根据权利要求1所述的对称L形金属超构表面分束器,其特征在于,金属结构为导电性良好的金属膜,包括银膜、金膜和合金膜。5.根据权利要求1所述的对称L形金属超...
【专利技术属性】
技术研发人员:王牧,彭茹雯,熊翔,王政翰,蒋尚池,郝西萍,
申请(专利权)人:南京大学,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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