用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法技术

本发明专利技术公开了一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法。本发明专利技术提供的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在检测载体上的透明检测板，该透明检测板的材质是亚克力板，该透明检测板的结构尺寸和在检测载体上的安装位置与干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配，通过用透明检测板代替传统的玻璃基板，有效避免了玻璃基板的损坏，并缩短矫正时间。本发明专利技术提供的矫正干蚀刻机台的扫描传感器的方法通过比对第一信号值A、第二信号值B，以及干蚀刻机台的参考值C，能够有效判别扫描传感器是否需要矫正，并能够简化矫正过程，缩短矫正时间。

Detecting jig and method for correcting scanning sensor of dry etching machine

The invention discloses a detecting jig and a method for correcting a scanning sensor of a dry etching machine. The invention provides a method for correcting the dry etching machine tool for detecting scanning sensor includes the import dry etching machine the transmission carrier detection chamber, and installed in the detection of carriers on the transparency of the transparent plate detection, detection plate material is acrylic plate, the scan area scan sensor structure size of the transparent plate and the detection in the detection of carriers the installation position and the transfer chamber above the dry etching machine matched with the glass substrate by using transparent plate instead of traditional detection, effectively avoids the damage of the glass substrate, and shorten the time of correction. A, the second signal value correction method B scanning sensor etching machine through the comparison of the first signal value provided by the invention, and the reference value of C dry etching machine, scanning sensor can effectively distinguish whether need correction, and can simplify the correction process, shorten the time of correction.

【技术实现步骤摘要】
用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法
本专利技术涉及矫正干蚀刻机台的扫描传感器
，尤其是一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法。
技术介绍
目前，干蚀刻机台(DryEtcher)被广泛地应用于玻璃基板的加工制作过程中，玻璃基板是TFT-LCD(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay，薄膜晶体管液晶显示器)面板的一个重要组成部分。首先，玻璃基板经过传送腔体并被传送到干蚀刻机台的工艺腔室中，玻璃基板在干蚀刻机台的工艺腔室(ProcessChamber)中进行蚀刻加工；玻璃基板在工艺腔室中制程完毕之后，再被运行载体传回至干蚀刻机台的传送腔体中，一般在干蚀刻机台的传送腔体的顶面的两侧各设置一个扫描传感器，当玻璃基板经过扫描传感器的扫描区域时，通过扫描传感器检测制程完毕之后的该玻璃基板是否有破损，比如检测玻璃基板是否存在缺角。扫描传感器有时会出现检测不准的现象，所以需要经常检查扫描传感器的检测结果是否准确，以及进行矫正。传统的矫正方法是利用玻璃基板对扫描传感器进行调整，这种方法存在以下两个缺点：一是易于造成玻璃基板的损坏，从而造成材料的严重浪费；二是采用玻璃基板进行调整时，手动取放玻璃基板耗时长，影响干蚀刻机台的正常作业时间。基于上述原因，有必要提供一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法，该检测治具的透明检测板采用强度较大的亚克力板制作，不会发生破损，且尺寸较小，便于搬运和安装，对干蚀刻机台的矫正不会占用太多干蚀刻机台的工作时间。解决现有技术中采用玻璃基板对干蚀刻机台的扫描传感器进行矫正容易造成玻璃基板的破损以及影响作业时间的问题。为解决上述技术问题，本专利技术的一方面是，提供一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的治具，该检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在该检测载体上的透明检测板，该透明检测板的材质是亚克力板，且该透明检测板的结构尺寸和在该检测载体上的安装位置与干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配。在本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该检测载体是安装在干蚀刻机台的驱动装置上的用于作为承载玻璃基板在干蚀刻机台的传送腔体中移动的运行载体。在本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该运行载体包括均匀分布的多个分支臂，该透明检测板卡接在该运行载体的外侧的分支臂上，该透明检测板的外边缘到该外侧的分支臂的距离与玻璃基板放置在该运行载体的外边缘到该外侧的分支臂的距离相同。在本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该透明检测板的一侧边缘设置用于将该透明检测板卡接在该运行载体上的卡接结构。在本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该卡接结构是与该运行载体的外侧的分支臂相匹配的卡槽，该卡槽由两个间隔垂直于该透明检测板的表面设置的侧板构成，两个该侧板与该透明检测板一体成型设置。在本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该检测治具的两个该侧板的远离该透明检测板的那一边设置有倒钩。在本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该透明检测板的长度小于干蚀刻机台所检测的玻璃基板的长度。在本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该透明检测板的厚度为1mm，该透明检测板的宽度范围是100mm～300mm，其长度范围是300mm～500mm。为解决上述技术问题，本专利技术的另一方面是，提供一种该的检测治具对干蚀刻机台的扫描传感器进行矫正，具体包括以下步骤：将该运行载体安装在干蚀刻机台的驱动装置上，并将该透明检测板卡接在该运行载体上，操作干蚀刻机台的驱动装置带动该运行载体移动，使该透明检测板逐渐移动并通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域；在该透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域之前，干蚀刻机台的扫描传感器产生第一信号值A，并且通过干蚀刻机台的控制器记录该第一信号值A；在该透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域时，干蚀刻机台的扫描传感器产生第二信号值B，并且通过干蚀刻机台的控制器记录该第二信号值B；将该第一信号值A以及该第二信号值B与通过干蚀刻机台的控制器设定的参考值C进行比对，如果该第一信号值A大于该参考值C且该参考值C大于该第二信号值B，则该扫描传感器正常，如果不满足该第一信号值A大于该参考值C且该参考值C大于该第二信号值B，则至少采取以下措施中的一种对干蚀刻机台的扫描传感器进行矫正至正常：检查干蚀刻机台的传送腔体顶面的透明板、干蚀刻机台的传送腔体内部的反光板，以及干蚀刻机台的传送腔体上方的发光源的表面是否有脏污，如果有脏污，则清理干净；更换干蚀刻机台的扫描传感器；调整该发光源与该反光板之间的角度；对该参考值C进行重新设定。本专利技术的有益效果是：本专利技术提供的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在检测载体上的透明检测板，该透明检测板采用亚克力板制作，且透明检测板的结构尺寸和在检测载体上的安装位置与干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配。通过用透明检测板代替传统的玻璃基板矫正扫描传感器，有效避免了玻璃基板的损坏，同时也缩短矫正时间，避免耽误干蚀刻机台的正常作业。通过比对透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域之前扫描传感器产生的第一信号值A、透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域时扫描传感器产生的第二信号值B，以及干蚀刻机台的控制器设定的参考值C，能够有效判别扫描传感器是否需要矫正，并能够简化矫正过程，缩短矫正时间。附图说明图1是玻璃基板放置在干蚀刻机台的运行载体上的示意图；图2是干蚀刻机台的运行载体带动玻璃基板进入干蚀刻机台的传送腔体的示意图；图3是本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1的示意图；图4是本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1中的检测治具进入干蚀刻机台的传送腔体的示意图；图5是图4中的A部放大图；图6是本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1中的透明检测板的立体图；图7是本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1中透明检测板在运行载体上的另一种布置方式的示意图；图8是本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例2中透明检测板的立体图；图9是本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例3的示意图；图10是本专利技术用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测方法的流程示意图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面结合附图和具体实施例，对本专利技术进行更详细的说明。附图中给出了本专利技术的较佳的实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本说明书所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，除非另有定义，本说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在所述检测载体上的透明检测板，所述透明检测板的材质是亚克力板，所述透明检测板的结构尺寸和在所述检测载体上的安装位置与所述干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配。

【技术特征摘要】
1.一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在所述检测载体上的透明检测板，所述透明检测板的材质是亚克力板，所述透明检测板的结构尺寸和在所述检测载体上的安装位置与所述干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配。2.根据权利要求1所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述检测载体是安装在干蚀刻机台的驱动装置上的用于作为承载玻璃基板在干蚀刻机台的传送腔体中移动的运行载体。3.根据权利要求2所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述运行载体包括均匀分布的多个分支臂，所述透明检测板卡接在所述运行载体的外侧的分支臂上，所述透明检测板的外边缘到所述外侧的分支臂的距离与玻璃基板放置在所述运行载体的外边缘到所述外侧的分支臂的距离相同。4.根据权利要求3所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述透明检测板的一侧边缘设置用于将所述透明检测板卡接在所述运行载体上的卡接结构。5.根据权利要求4所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述卡接结构是与所述运行载体的外侧的分支臂相匹配的卡槽，所述卡槽由垂直于所述透明检测板的表面间隔设置的两个侧板构成，所述侧板与所述透明检测板一体成型。6.根据权利要求5所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述检测治具的两个所述侧板的底边设置有倒钩。7.根据权利要求2至6任一项所述的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具，其特征在于，所述透明检测板的长度小于干蚀刻机台所检...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯文杰，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42