Including a manufacturing method of piezoelectric composite materials: piezoelectric materials and bonding plate of piezoelectric materials; bonding on the plate for cutting, the piezoelectric material cutting depth is less than the thickness of piezoelectric material; piezoelectric materials in the slot filled with decoupling material in the flat panel; as a benchmark, to fill to the coupling material curing of piezoelectric materials on the surface grinding, and then remove the piezoelectric materials, the piezoelectric material grinding surface; after grinding pressure electrode material is arranged on the surface, get the piezoelectric composite material. The method can prevent the bending of the piezoelectric material in the process of processing, effectively guarantee the correct sorting of the micro crystal element and the regularity of the shape, and provide a reliable guarantee for the consistency of the array probe.
【技术实现步骤摘要】
一种压电复合材料的制作方法
本专利技术属于二维面超声波换能器制备领域,尤其涉及一种压电复合材料的制作方法。
技术介绍
近年来,超声三维成像以及三维空间声刺激、声操控、声治疗的需求日益增大,对二维面阵超声换能器的性能要求也越来越高。二维面阵超声换能器的核心部件是面阵探头,面阵探头的好坏直接关系到整个二维面阵超声换能器的质量水平。一个面阵探头通常由一个至上千个单独的压电阵元(或称为压电单元)组成。各个压电阵元之间的一致性是影响面阵探头质量的重要因素。面阵探头在制作过程中,需要将压电陶瓷分割为微晶元(单个压电单元)。为了使得微晶元的振动模式一致,提高面阵列探头的机电耦合系数,压电陶瓷一般会选择进行完全分割。并在分割后的割缝中填充去耦合材料。但是,在固化成型所述去耦合材料的过程中,可能会导致压电陶瓷材料弯曲变形,使得微晶元之间形成错位;或者,在固化成型过程中采用夹具进行压制,防止在固化过程中变化,但在其后中对多余的去耦合材料的研磨工序中,由于夹具取下后,由于多次的研磨,受到内应力的影响也会使压电陶瓷材料发生变形,会导致研磨后的微晶元不能形成一个规则的立方体,严重影响面阵探头的一致性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种压电复合材料的制作方法,以解决现有技术的压电复合材料制作过程中,容易使得压电复合材料发生变形或者微晶元之间错位,严重影响面阵列探头的一致性的问题。第一方面,本专利技术实施例提供了一种压电复合材料的制作方法,所述方法包括:将压电材料与平板黏合;对黏合在所述平板上的压电材料进行切割,所述压电材料的割缝的深度小于所述压电材料的厚度;在所述压电材料的割缝 ...
【技术保护点】
一种压电复合材料的制作方法,其特征在于,所述方法包括:将压电材料与平板黏合;对黏合在所述平板上的压电材料进行切割,所述压电材料的割缝的深度小于所述压电材料的厚度;在所述压电材料的割缝中填充去耦合材料;以所述平板为基准,对填充了去耦合材料所固化的压电材料的上表面研磨,然后取下压电材料,对压电材料的下表面研磨;在研磨后的压电材料表面设置电极,得到压电复合材料。
【技术特征摘要】
1.一种压电复合材料的制作方法,其特征在于,所述方法包括:将压电材料与平板黏合;对黏合在所述平板上的压电材料进行切割,所述压电材料的割缝的深度小于所述压电材料的厚度;在所述压电材料的割缝中填充去耦合材料;以所述平板为基准,对填充了去耦合材料所固化的压电材料的上表面研磨,然后取下压电材料,对压电材料的下表面研磨;在研磨后的压电材料表面设置电极,得到压电复合材料。2.根据权利要求1的述方法,其特征在于,在研磨后的压电材料表面设置电极,得到压电复合材料的步骤之后,所述方法还包括:将所述压电复合材料与所述平板黏合;在所述压电复合材料表面灌注匹配层材料;在匹配层材料固化后,以平板为基准研磨覆盖在所述压电复合材料表面的匹配层材料。3.根据权利要求2所述方法,其特征在于,在匹配层材料固化后,以平板为基准研磨所述复合材料表面的匹配层的步骤后,所述方法还包括:从平板上取下所述压电复合材料,对所述压电复合材料的下表面进行阵列元划分,得到预定尺寸的压电复合材料。4.根据权利要求2...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱明,李永川,黄继卿,何华林,郭瑞彪,
申请(专利权)人:中国科学院深圳先进技术研究院,
类型:发明
国别省市:广东,44
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