用于测试光电器件的方法及装置制造方法及图纸

装置(10)用于仿真太阳辐射的光谱以及测试使用所述仿真的太阳辐射光谱(15)的光电器件(17)。所述装置(10)包含光源器件以及基板支座(16)，其中光源器件配置成再生太阳辐射的光谱(15)且包含被划分成多个单元的辐射板(13)，且每一个单元包含多个发光二极管，所述发光二极管发射至少两种不同波长，其中基板支座(16)设置于与光源器件相对。在一个示例中，多个发光二极管发射一种波长，所述波长从以下波长所组成的群组中选出：蓝、绿、黄、红、以及在红外光范围中彼此具有不同波长的第一色与第二色。

Method and apparatus for testing optoelectronic devices

A device (10) is used to simulate the spectrum of solar radiation and to test a photoelectric device (17) using the simulated solar radiation spectrum (15). The device (10) comprises a light source device and substrate support (16), wherein the light source device is configured to regenerate spectral solar radiation (15) and includes a radiation plate is divided into a plurality of units (13), and each unit comprises a plurality of light-emitting diodes, wherein the light emitting diode emits at least two different the wavelength, where the substrate support (16) is arranged on the light source and relative device. In one example, a plurality of light emitting diodes emitting a wavelength, the wavelength selected from the following group consisting of wavelength: blue, green, yellow, red, and the first and second color with different wavelengths in the infrared range in color from each other.

【技术实现步骤摘要】
本申请是申请日为“2012年7月18日”、申请号为“201280027190.5”、题为“用于测试光电器件的方法及装置”的分案申请。
本专利技术大体上与用于测试光电器件的方法与装置有关。
技术介绍
在光电器件的生产中，公知地会使用一些器件用以再生仿真太阳光谱的辐射以对物品实施必要的测试与检查以检验操作上的可靠性以及在实验室条件下光电器件的整体转换效率。业界已发展出一套标准用以在以下三个性能领域定义太阳仿真器的性能：匹配太阳光谱的光谱频率、在被照射物体表面上的辐照度的空间均匀性、以及所产生光的量在时间上的稳定性。在传统的太阳仿真器中，广泛使用氙弧灯。然而，氙种类的灯具有一些缺点。例如，氙弧灯所产生的光在近红外光区域含有相当强的强度峰值，而在任何标准太阳光谱中都没有发现所述在近红外光区域中相当强的强度峰值。因此，氙弧灯要遭受输出光分布均匀性差以及辐照度效率低的问题，还要遭受由这种灯产生的光谱与太阳光谱之间的光谱准确性差的问题。氙种类灯的其它缺点是：输出光光谱一般通过控制提供给此种灯的电流及电压而改变光的强度，从而加以调整。然而，修改这些参数通常会影响此种灯所产生的所有波长。因此，不可能选择且修改单一波长而使此种灯所产生的光的光谱在不同的应用上尽可能与太阳光谱相似。氙类灯的另一个缺点是：此种灯的辐照度强度正常情况下不稳定且要遭受因(施加于不同灯的)电流变化所致的波动，电流的变化是因环境或电力条件改变所致。这种状况会影响此种灯所产生的输出光谱中的波动的量，且因此影响测试所得结果的可靠性与可重复性。因此，在本领域中需要在任何给定的情况下改进太阳仿真器所产生的输出光谱的再生性与效率。
技术实现思路
在一个实施例中，一种装置包含光源器件以及基板支座，所述光源器件配置成再生具有与太阳辐射相类似光谱的光，所述光源器件包含辐射板，所述辐射板被划分成多个单元或区域，其中所述多个单元中的每一个包含多个发光二极管，所述多个发光二极管发射至少两种不同波长(颜色)，所述基板支座设置成与所述光源器件相对。所述多个发光二极管中的每一个配置成发射一波长，所述波长选自由以下颜色组成的群组：蓝、绿、黄、红、在红外光区的至少第一与第二颜色，所述第一与所述第二颜色相对于彼此具有不同波长。在另一个实施例中，提供一种用于测试光电器件的方法。所述方法包含以下步骤：提供光源器件以朝向光电器件发射至少两种不同波长，所述至少两种不同波长提供输出光谱，所述输出光谱仿真太阳辐射；检测由所述光源器件发射的所述输出光谱；将由所述光源器件所发射的所述输出光谱与待发射的预定光谱进行比较；以及修正所述光源器件的运行参数以消除介于所述光源器件所发射的输出光谱与所述待发射的预定光谱之间的变化。附图说明为了可以详细地理解本专利技术的上述特征，通过参考本专利技术的实施例(其中一些图示在附图中)，可以对上文所简要概括的专利技术作更为具体的描述。然而，应注意的是，附图仅图示本专利技术的典型实施例且因此不应被视为对本专利技术范围的限制，因为本专利技术可允许其它同等有效的实施例。图1根据本专利技术的一个实施例示意性地示出测试与检查器件，所述测试与检查器件使用用于再生太阳辐射的太阳仿真器。图2根据本专利技术的一个实施例示出示例性太阳仿真器。图3a与3b根据本专利技术的一个实施例示出存在于图2所示的太阳仿真器内的单元的可能配置。图4a与4b根据本专利技术的一个实施例示出LED灯可能的配置。图5根据本专利技术的另一个实施例示出辐射板被划分成三个不同区域。为使更容易了解本专利技术，在可能的情况下，相同的组件符号会指定在不同图式中的相同组件。需了解的是，一些实施例的组件与特征可有益地合并于其它实施例中而无须进一步记载。具体实施方式在此讨论的实施例与用于封闭环境中的光源器件相关，所述封闭环境诸如实验室或测试腔室，所述光源器件用于再生或仿真太阳辐射的光谱且具有测试/检查光电器件或其它相当器件的目的。在本专利技术的不同实施例中，光源器件可包含至少一个基于半导体的光源，诸如发光二极管(LED)。可设想使用任何其它基于半导体的光源，例如激光二极管(LD)。在本专利技术的环境中，术语“LED灯”可指单一密封结构(LED芯片可位于所述结构)或多密封单元，所述多密封单元以任何所期望的图案被结合于所述单一密封结构上。在本专利技术的不同实施例中，光源器件可包含一个或更多个LED灯。在一个示例中，两个或更多个LED灯可设置成面向待测试的光电器件的表面。在设置至少两个LED灯的情况中，所述LED灯关于待测试的物体表面的数目与位置根据特定环境以及应用加以安排，以对在要被照射物体表面上产生的光辐射获得最佳的空间均匀性。使用LED灯来取代传统的灯，尤其是取代如上所述的氙气灯，就发光强度和光质量而言，可获得平均来说接近日光光谱的光谱，而不会有氙气灯的种种问题。尤其，LED灯展现许多优于传统灯的优点，诸如较低的能量消耗与较长的使用寿命。在本专利技术的不同实施例中，根据本专利技术用于光源器件的LED灯可被配置成发射至少两种不同波长。所述至少两种不同波长可在整个太阳辐射的发射频谱上选择。在一个示例中，所述至少两种不同波长选自以下颜色：蓝、黄、绿、红以及在红外波长范围中的至少两种不同颜色。应该理解的是，在此使用的术语“红外”未描述通常归类为红外的任何特定光波长。相反地，术语“红外”所指的是整个波长范围。在一个示例中，蓝色LED灯的标称波长介于约450纳米与约500纳米之间，黄色LED灯的标称波长介于约570纳米与约590纳米之间，绿色LED灯的标称波长介于约500纳米与约570纳米之间，红色LED灯的标称波长介于约610纳米与约760纳米之间，以及红外色LED灯的标称波长介于约760纳米与约1000纳米的间。在一些实施例中，一个或更多个LED灯可使用其它灯输出一些颜色，诸如紫外光(如小于400纳米)、紫罗兰色(如400纳米～450纳米之间)、橙色(如590纳米～610纳米之间)、紫色、粉红色或其它有用的颜色。图1示意性地示出测试与检查器件10，所述测试与检查器件10用以执行对位于支座16上的太阳/光电器件17的测试与检查。虽然在接下来的描述中将具体讨论太阳/光电器件，可理解的是，本专利技术也可应用于其它需要光辐射照射的基板或器件，所述光辐射仿真出太阳光谱。测试与检查器件10通常包含光源器件，诸如太阳仿真器11与支座16，太阳/光电器件17位于所述支座16上。太阳仿真器11包含辐射板13，所述辐射板13被配置成朝着位于支座16上的太阳/光电器件17发射电磁辐射15。在一个配置中，正如图1中所示，辐射板13设置成离太阳/光电器件17有距离“h”。辐射板13与太阳/光电器件17之间的距离“h”可根据所使用的LED灯的数目和LED的容量在50毫米到800毫米或更大距离的范围内变化，以确保在将被测试的太阳/光电器件17的整个表面上发射的辐射的空间均匀性。为了使输出光尽可能均匀以提高整体辐照度效率，可选择性地在辐射板13与支座16之间的中间位置提供一个或更多个光学透镜14，使得通过所述一个或更多个透镜14的电磁辐射15呈均匀状且到达太阳/光电器件17的整个表面而具有最大化的光分布性能。光学透镜14可由塑料材料制成，诸如丙烯酸、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚氯乙烯(PVC)、聚碳酸酯(PC)、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测试光电器件的装置，包含：光源器件，所述光源器件配置成再生太阳辐射的光谱，所述光源器件包含辐射板，所述辐射板被划分成多个单元，且所述多个单元中的每一个包含多个发光二极管，所述多个发光二极管发射至少两种不同波长；基板支座，所述基板支座设置成与所述光源器件相对；一个或更多个传感器，所述传感器设置为接近所述基板支座以检测所述辐射板所发射出的辐射；以及控制系统，所述控制系统与所述一个或更多个传感器相连接且所述控制系统适于接收与所述光谱相关联的信息，所述光谱由所述辐射板随时间发射出，且所述控制系统调整发射参数以至少将波动最小化且在空间上使所述辐射板所发射出的辐射均匀化。

【技术特征摘要】
2011.07.19 IT UD2011A000115;2011.12.07 US 61/567,91.一种用于测试光电器件的装置，包含：光源器件，所述光源器件配置成再生太阳辐射的光谱，所述光源器件包含辐射板，所述辐射板被划分成多个单元，且所述多个单元中的每一个包含多个发光二极管，所述多...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·沃尔坦，G·切莱雷，G·梅内盖索，M·梅内吉尼，D·巴尔比桑，E·扎诺利，
申请(专利权)人：应用材料意大利有限公司，
类型：发明
国别省市：意大利;IT