平坦化膜用或微透镜用树脂组合物制造技术

本发明专利技术的课题是提供热固性的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物。本发明专利技术的解决方法是一种平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，含有：具有下述式(1)所示的结构单元和式(2)所示的结构单元的共聚物、以及溶剂。(式中，R0分别独立地表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1～5的亚烷基，该亚烷基在其主链上可以具有醚键，R2表示环氧基、或具有环氧环的碳原子数为5～12的有机基团。)

Resin composition for planarization film or microlens

The subject of the present invention is to provide a thermosetting flat film or a resin composition for microlens. The invention relates to a resin composition for a flat film or microlens, comprising a copolymer having a structural unit and a structural unit (2) as shown in the formula (1), and a solvent. (in the formula, R0 independently represents a hydrogen atom or a methyl group, R1 represents a single bond or the number of carbon atoms is 1 ~ 5 alkylene, the alkylene in its main chain can have ether bond, R2 epoxy, epoxy ring or with the number of carbon atoms is 5 ~ 12 of the organic group. )

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及热固性的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物、以及使用该树脂组合物的平坦化膜的制作方法和微透镜的制作方法。
技术介绍
在制造CCD/CMOS图像传感器的工序中，利用溶剂、碱性溶液等进行浸渍处理，为了防止这样的处理引起元件劣化或损伤，在元件表面设置针对该处理具有耐性的保护膜。对于这样的保护膜，要求具有透明性、耐热性和耐光性高、经过长时间而不引起着色等变质、耐溶剂性、耐碱性优异等性能(专利文献1)。进而，近年来，随着CCD/CMOS图像传感器的高精细化，需要提高传感器灵敏度，因此，为了从微透镜高效率地向受光部聚光，在将保护膜形成于滤色器上等的情况下，还要求该保护膜能够使在底层基板上形成的高低差平坦化(专利文献2～专利文献4)。此外，也在进行由这样的保护膜来制作微透镜。作为制作CCD/CMOS图像传感器用微透镜的方法之一，已知有回蚀法(专利文献5和专利文献6)。即，在滤色器上形成的微透镜用树脂膜上形成抗蚀剂图案，通过热处理使该抗蚀剂图案回流从而形成透镜图案。以该抗蚀剂图案回流而形成的透镜图案作为蚀刻掩模，将下层的微透镜用树脂膜回蚀，将透镜图案形状转印到微透镜用树脂膜，从而制作微透镜。另一方面，在CCD/CMOS图像传感器用的滤色器中，对于以往的颜料分散体系而言，进一步提高分辨率是困难的，存在由于颜料的粗大粒子而发生颜色不均匀等问题，因此，不适合固体摄像元件这样要求微细图案的用途。因此，提出了使用染料代替颜料分散体系的技术(专利文献7)。然而，由于以往的热固性的保护膜在180℃以上的温度下被烧成，因此难以应用于使用了通常在180℃左右开始分解的染料的滤色器上(专利文献8)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第2921770号专利文献2：国际公开第2013/005619号专利文献3：日本特开2008-31417号公报专利文献4：日本特开2006-113547号公报专利文献5：日本特开平1-10666号公报专利文献6：日本特开平6-112459号公报专利文献7：日本特开平6-75375号公报专利文献8：日本特开2010-237374号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术是基于前述情况而提出的，其所要解决的课题是提供透明性、耐溶剂性和平坦性优异的、在比100℃高的期望的温度下可固化的热固性的树脂组合物。用于解决课题的方法本专利技术者们为了解决前述课题而进行了深入研究，结果完成了本专利技术。即，作为第1观点，是一种平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，含有：具有下述式(1)所示的结构单元和式(2)所示的结构单元的共聚物、以及溶剂。(式中，R0分别独立地表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1～5的亚烷基，该亚烷基在其主链上可以具有醚键，R2表示环氧基、或具有环氧环的碳原子数为5～12的有机基团。)作为第2观点，是根据第1观点所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，所述式(1)所示的结构单元由下述式(1-1)或式(1-2)表示。(式中，R0表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1～5的亚烷基，该亚烷基在其主链上可以具有醚键。)作为第3观点，是第1观点或第2观点所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，所述共聚物为进一步具有下述式(3)所示的结构单元的共聚物。(式中，R0表示氢原子或甲基，R3表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为1～10的烷氧基、氰基、羧基、苯基或卤代基。)作为第4观点，是根据第1观点～第3观点中任一项所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，其还含有促进所述共聚物的固化的催化剂。作为第5观点，是根据第1观点～第4观点中任一项所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，基于从所述树脂组合物中除去所述溶剂而得的固体成分中的含量，包含0.1质量％～20质量％的所述催化剂。作为第6观点，是根据第1观点～第5观点中任一项所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，所述共聚物的重均分子量为1,000～50,000。作为第7观点，是一种平坦化膜，是将第1观点～第6观点中任一项所述的树脂组合物涂布在基板上，以高于100℃且小于180℃的温度进行烘烤来制作的。作为第8观点，是一种第7观点所述的平坦化膜的制作方法，在所述基板上形成滤色器，在该滤色器上涂布所述树脂组合物。作为第9观点，是一种微透镜的制作方法，将第1观点～第6观点中任一项所述的树脂组合物涂布在形成有滤色器的基板上，以高于100℃且小于180℃的温度进行烘烤从而形成树脂膜，在所述树脂膜上形成抗蚀剂图案，使所述抗蚀剂图案回流从而形成透镜图案，将所述透镜图案作为蚀刻掩模来对所述树脂膜进行回蚀。专利技术效果对于本专利技术的树脂组合物而言，该组合物中包含的共聚物是具有环氧基或环氧环和羟基的自交联类型，所以未必需要添加交联剂，其具有在高于100℃且小于180℃的期望的温度、例如140℃下的热固性。进而，由本专利技术的树脂组合物形成的树脂膜具有优异的透明性、耐溶剂性和平坦性。综上，通过由本专利技术的树脂组合物形成的树脂膜，能够使在底层基板上形成的高低差平坦化。此外，在由本专利技术的树脂组合物形成树脂膜后涂布抗蚀剂的情况下，以及在形成平坦化膜或微透镜后进行电极/布线形成工序的情况下，也能够显著减少前述树脂膜与抗蚀剂的混合、由有机溶剂引起平坦化膜或微透镜的变形和剥离等问题。因此，本专利技术的树脂组合物作为形成平坦化膜和微透镜的材料是适合的。附图说明图1是表示在高低差基板上涂布本专利技术的树脂组合物，进行烘烤而形成的树脂膜的示意图。具体实施方式以下说明本专利技术的各成分的详细内容。从本专利技术的树脂组合物除去溶剂而得的固体成分通常为1质量％～50质量％。<共聚物>本专利技术的树脂组合物中包含的共聚物是具有前述下述式(1)所示的结构单元和式(2)所示的结构单元的共聚物。(式中，R0分别独立地表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1～5的亚烷基，该亚烷基在其主链上可以具有醚键，R2表示环氧基、或具有环氧环的碳原子数为5～12的有机基团。)作为前述式(1)的例子，可举出下述式(1-1)或式(1-2)所示的结构单元。(式中，R0表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1～5的亚烷基。)前述共聚物可以是还具有下述式(3)所示的结构单元的共聚物。(式中，R0表示氢原子或甲基，R3表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为1～10的烷氧基、氰基、羧基、苯基或卤代基。)作为形成前述式(3)所示的结构单元的化合物(单体)的具体例，可举出苯乙烯、α-甲基苯乙烯、2-甲基苯乙烯、3-甲基苯乙烯、4-甲基苯乙烯、4-叔丁基苯乙烯、4-甲氧基苯乙烯、4-氰基苯乙烯、4-乙烯基苯甲酸、4-乙烯基联苯、4-氟苯乙烯、4-氯苯乙烯、4-溴苯乙烯。这些化合物可以单独使用，也可以组合2种以上使用。在前述共聚物中，上述式(1)所示的结构单元的含量例如为10mol％～90mol％，优选为20mol％～70mol％。此外，上述式(2)所示的结构单元的含量例如为10mol％～90mol％，优选为20mol％～80mol％。在前述共聚物进一步具有上述式(3)所示的结构单元的情况下，其含量例如为10mol％～90mol％，优选为20mol％～70mol％。前述共聚物的重均分子量通常为1,000～50,000，优选为3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，含有：具有下述式(1)所示的结构单元和式(2)所示的结构单元的共聚物、以及溶剂，式中，R0分别独立地表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1～5的亚烷基，该亚烷基在其主链上可以具有醚键，R2表示环氧基、或具有环氧环的碳原子数为5～12的有机基团。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.08.08 JP 2014-1623681.一种平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，含有：具有下述式(1)所示的结构单元和式(2)所示的结构单元的共聚物、以及溶剂，式中，R0分别独立地表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1～5的亚烷基，该亚烷基在其主链上可以具有醚键，R2表示环氧基、或具有环氧环的碳原子数为5～12的有机基团。2.根据权利要求1所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，所述式(1)所示的结构单元由下述式(1-1)或式(1-2)表示，式中，R0和R1分别与权利要求1中的R0和R1的含义相同。3.根据权利要求1或2所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，所述共聚物为进一步具有下述式(3)所示的结构单元的共聚物，式中，R0与权利要求1中的R0含义相同，R3表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为1～10的烷氧基、氰基、羧基、苯基或卤代基。4.根据权利要求1～3中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：安达勋，坂口崇洋，
申请(专利权)人：日产化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP