掩膜板夹取装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种掩膜板夹取装置，属于显示技术领域。该掩膜板夹取装置包括：第一夹取部、第二夹取部和吸附部；该第一夹取部和该第二夹取部相对设置，用于将掩膜板固定在该第一夹取部和该第二夹取部之间；在该掩膜板放置在该第一夹取部上时，该吸附部能够与该掩膜板靠近该第一夹取部的一面接触，并吸附该掩膜板，因此能够提高掩膜板放置在第一夹取部上时的稳定性，避免第二夹取部压紧掩膜板时使该掩膜板发生移动，进而可以避免掩膜板在夹取过程中产生的额外褶皱，保证了掩膜板的拉伸效果。本实用新型专利技术用于夹取掩膜板。

Mask plate clamping device

The utility model discloses a mask plate clamping device, which belongs to the technical field of display. The mask plate clamping device comprises a first clamping part, second clamping part and the adsorption; the first clamping part and the second clamping parts are arranged, used to mask plate fixed on the first clamping part and the second clamping part; in the mask placed in the the first clamping part, the adsorption part can contact with the side of the mask plate near the first clamping part, and the adsorption of the mask, so it can improve the mask placed in the first part of the clip from the stability, to avoid the mask plate to move second clip, press the mask the film board, which can avoid the mask in the extra fold clip generated in the process, to ensure the drawing effect of the mask plate. The utility model is used for clamping the mask plate.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及显示
，特别涉及一种掩膜板夹取装置。
技术介绍
精细金属掩膜板(英文：FineMetalMask；简称：FMM)是有机发光二极管(英文：OrganicLight-EmittingDiode；简称：OLED)显示装置制造过程中，用于在基板上蒸镀发光层的组件。在通过该FMM对基板进行蒸镀前，需要先通过多个掩膜板夹取装置分别夹取该FMM的两端，然后对该FMM进行拉伸，使得FMM上的掩膜图形与基板上待蒸镀的图形保持一致。相关技术中，参考图1，每个掩膜板夹取装置可以包括相对设置的第一夹取部A和第二夹取部B。在使用该多个掩膜板夹取装置夹取FMM时，可以先将该FMM放置在各个夹取装置的第一夹取部A的端面上，然后使该多个掩膜板夹取装置的第二夹取部B同时靠近并压紧在该FMM远离第一夹取部A的一面，使得该FMM固定在该两个夹取部之间，以便对该FMM进行拉伸。但是，在使用相关技术中的掩膜板夹取装置对FMM进行夹取的过程中，对该多个掩膜板夹取装置的第二夹取部的同步性要求较高，若某个掩膜板夹取装置的第二夹取部提前压紧在FMM上，则可能会使该FMM发生移动，进而使得夹取过程中FMM产生额外褶皱，影响后续的拉伸效果。
技术实现思路
为了解决相关技术中的掩膜板夹取装置在夹取掩膜板时可能使得掩膜板发生移动而产生额外褶皱的问题，本技术提供了一种掩膜板夹取装置。所述掩膜板夹取装置包括：第一夹取部、第二夹取部以及吸附部；所述第一夹取部和所述第二夹取部相对设置，用于将掩膜板固定在所述第一夹取部和所述第二夹取部之间；在所述掩膜板放置在所述第一夹取部上时，所述吸附部能够与所述掩膜板靠近所述第一夹取部的一面接触，并吸附所述掩膜板。可选的，所述吸附部设置在所述第一夹取部的一侧，且所述吸附部的吸附面与所述第一夹取部的端面位于同一平面。可选的，所述吸附部设置在所述第一夹取部靠近所述掩膜板的一侧。可选的，所述吸附部设置在所述第一夹取部的端面。可选的，所述吸附部包括吸附面板和抽真空组件；所述吸附面板上设置有多个贯穿所述吸附面板的通孔；所述抽真空组件通过气管与所述多个通孔连通，当所述吸附面板与所述掩膜板接触时，所述抽真空组件能够通过所述多个通孔，对所述吸附面板与所述掩膜板之间的空间进行抽真空。可选的，所述多个通孔的进气口阵列排布在所述吸附面板的吸附面上。可选的，所述多个通孔中至少两个通孔共用一个出气口，所述出气口为与所述气管连接的开口。可选的，所述吸附面板的吸附面上设置有硅胶层。可选的，所述吸附部包括支撑组件、抽真空组件和多个真空吸嘴；所述多个真空吸嘴插装在所述支撑组件上，且每个所述真空吸嘴与所述抽真空组件连通。可选的，所述吸附部为电磁铁。本技术提供的技术方案带来的有益效果是：本技术实施例提供了一种掩膜板夹取装置，该掩膜板夹取装置中除了第一夹取部和第二夹取部，还包括吸附部，在掩膜板放置在第一夹取部上时，该吸附部能够吸附掩膜板，从而可以提高掩膜板放置在第一夹取部上时的稳定性，避免第二夹取部压紧掩膜板时使该掩膜板发生移动，进而可以避免掩膜板在夹取过程中产生的额外褶皱，保证了掩膜板的拉伸效果，进而保证了显示装置的蒸镀效果。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是相关技术中一种掩膜板夹取装置的结构示意图；图2是本技术实施例提供的一种掩膜板夹取装置的结构示意图；图3是本技术实施例提供的另一种掩膜板夹取装置的结构示意图；图4是本技术实施例提供的又一种掩膜板夹取装置的结构示意图；图5是本技术实施例提供的再一种掩膜板夹取装置的结构示意图；图6是本技术实施例提供的一种吸附面板的俯视图；图7是图6所示的吸附面板在AA方向的截面图；图8是本技术实施例提供的再一种掩膜板夹取装置的结构示意图；图9是本技术实施例提供的再一种掩膜板夹取装置的结构示意图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术实施方式作进一步地详细描述。图2是本技术实施例提供的一种掩膜板夹取装置的结构示意图，如图2所示，该掩膜板夹取装置可以包括：第一夹取部10、第二夹取部20以及吸附部30。该第一夹取部10和该第二夹取部20相对设置，用于将掩膜板00固定在该第一夹取部10和该第二夹取部20之间。在该掩膜板00放置在该第一夹取部10上时，该吸附部30能够与该掩膜板00靠近该第一夹取部10的一面接触，并吸附该掩膜板00。综上所述，本技术实施例提供了一种掩膜板夹取装置，该掩膜板夹取装置中还包括吸附部，在掩膜板放置在第一夹取部上时，该吸附部能够吸附掩膜板，提高了掩膜板放置在第一夹取部上时的稳定性，避免第二夹取部压紧掩膜板时使该掩膜板发生移动，进而可以避免掩膜板在夹取过程中产生的额外褶皱，保证了掩膜板的拉伸效果，进而保证了显示装置的蒸镀效果。需要说明的是，本技术实施例提供的掩膜板夹取装置主要用于夹取精细金属掩膜板。可选的，如图2和图3所示，该吸附部30可以设置在该第一夹取部10的一侧，且该吸附部30的吸附面与该第一夹取部10的端面位于同一平面。例如图2中，吸附部30设置在第一夹取部10靠近掩膜板00的一侧，即图2中第一夹取部10的左侧；或者，如图3所示，吸附部30也可以设置在该第一夹取部10远离掩膜板的一侧，即图3中第一夹取部10的右侧。优选的，参考图2，该吸附部30可以设置在该第一夹取部10靠近该掩膜板00的一侧；使得当该第二夹取部20压紧在掩膜板00的末端时，该吸附部30能够对该掩膜板进行有效的预固定，避免各个夹取装置中第二夹取部同步性较差对该掩膜板造成的影响。另一方面，如图4所示，该吸附部30还可以设置在该第一夹取部10的端面。也即是，在放置掩膜板时，可以直接将该掩膜板放置在该吸附部30的端面(即吸附面)上。在本技术一种可选的实现方式中，如图5所示，该吸附部可以包括吸附面板301和抽真空组件302。其中，该吸附面板301上设置有多个贯穿该吸附面板301的通孔a；该抽真空组件302通过气管b与该多个通孔a连通，当该吸附面板301与该掩膜板接触时，该抽真空组件302能够通过该多个通孔a，对该吸附面板301与该掩膜板之间的空间进行抽真空，从而将该掩膜板吸附在该吸附面板301上。图6是本技术实施例提供的一种吸附面板的俯视图，从图6中可以看出，该多个通孔a的进气口可以阵列排布在该吸附面板301的吸附面上，以保证该掩膜板所受到的吸附力是均匀分布的。图7是图6所示的吸附面板在AA方向的截面图，从图7中可以看出，该多个通孔a中至少两个通孔可以共用一个出气口，该出气口为与该气管连接的开口。由于每个出气口需要通过一根气管与抽真空组件连接，因此使多个通孔共用一个出气口可以减少吸附部中所需使用的气管的数量，降低该掩膜板夹取装置的成本和体积。可选的，该吸附面板301的吸附面上可以设置有硅胶层，即该吸附面可以由硅胶材料制成，由于硅胶具有一定的弹性，能够增强真空吸附的效果。作为本技术另一种可选的实现方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板夹取装置，其特征在于，所述装置包括：第一夹取部、第二夹取部以及吸附部；所述第一夹取部和所述第二夹取部相对设置，用于将掩膜板固定在所述第一夹取部和所述第二夹取部之间；在所述掩膜板放置在所述第一夹取部上时，所述吸附部能够与所述掩膜板靠近所述第一夹取部的一面接触，并吸附所述掩膜板。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板夹取装置，其特征在于，所述装置包括：第一夹取部、第二夹取部以及吸附部；所述第一夹取部和所述第二夹取部相对设置，用于将掩膜板固定在所述第一夹取部和所述第二夹取部之间；在所述掩膜板放置在所述第一夹取部上时，所述吸附部能够与所述掩膜板靠近所述第一夹取部的一面接触，并吸附所述掩膜板。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述吸附部设置在所述第一夹取部的一侧，且所述吸附部的吸附面与所述第一夹取部的端面位于同一平面。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述吸附部设置在所述第一夹取部靠近所述掩膜板的一侧。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述吸附部设置在所述第一夹取部的端面。5.根据权利要求1至4任一所述的装置，其特征在于，所述吸附部包括吸附面板和抽真空组件；所述吸附面板上设置有多个贯穿所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林治明，王震，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京;11