一种用于多台多晶硅炉的中央真空系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。进一步地，本实用新型专利技术还提供了一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统以及一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，从而为所有投入运行的多晶硅炉提供相应的真空要求。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多台多晶硅炉的真空系统控制
，尤其涉及一种用于多台多晶硅炉的中央真空系统，具体地，是一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统、一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统以及一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，从而为所有投入运行的多晶硅炉提供相应的真空要求。
技术介绍
目前市场上的多晶硅炉真空系统采用的是一套真空泵拖一套多晶硅炉的“一拖一”的真空应用，这种方式在作为新兴行业的太阳能多晶硅生产的早期是正常的，其与早期一家一户的取暖炉、一个房间一个房间的窗式空调都是一个概念。但是随着行业发展和市场竞争，一拖一模式所产生的各个问题逐渐显现：1、可靠性问题：当任何一台真空泵出现运行或维护问题时，该炉的使用就要中断；2、没有集中共用资源，在总体系统可靠性并非最优的情况下，设备总投资过大，而且营运成本也过高；3、真空泵总数多，使得维护保养工作量大，对生产影响大。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于多台多晶硅炉的中央真空系统，解决现有系统中一套真空泵拖一套多晶硅炉的耗能耗时的真空应用问题。为了实现以上目的，本技术采用以下技术方案：一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。进一步地，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉。进一步地，每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵和手动蝶阀然后与所述高真空子系统连接。进一步地，所述多台多晶硅炉为8台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和三台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。进一步地，所述多台多晶硅炉为10台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和三组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和四台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。进一步地，所述阀门为气动球阀。考虑到设备的最佳优化情况，进一步地，所述低真空子系统中的所述2#滑阀泵与所述高真空子系统中的所述1#滑阀泵共用一台滑阀泵，通过三通阀的控制实现所述滑阀泵在所述高真空管道和所述粗真空管道中的转换。这一技术特征，使得滑阀泵的总配置数大大减小，进一步地减小了设备投入资金。优选地，所述低真空子系统中的至少一台所述2#滑阀泵单独存在，即至少一台所述2#滑阀泵仅与所述粗真空管道连接而不通过所述三通阀与所述高真空管道连接。进一步地，所述管道罗茨泵上下采用快卸法兰连接，可以迅速替换。进一步地，所述用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统还设有PLC控制柜，用于自动化控制中央混合真空系统中所有设备的启停及根据真空度自动选择真空获得设备的运行数量。当然，上述技术方案均是将高真空和低真空系统集合在一个中央系统中，事实上，根据需要，可以直接将其拆分为两个系统，具体地：一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉；所述中央低真空系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分别连接所述粗真空管道，并在连接处分别装设有阀门。一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉；所述中央高真空系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分别连接所述高真空管道，并在连接处分别装设有阀门和管道罗茨泵。其中，上述所述的阀门可以为气动球阀。其中，所述1#滑阀泵可以为ET150滑阀泵；所述2#滑阀泵可以为ET300滑阀泵；所述罗茨泵可以为EMBD540罗茨泵；所述管道罗茨泵可以为ER110管道罗茨泵。根据本技术的优选实施例，本技术所述的中央真空系统还包括PLC控制柜，其具备可以完全自动化控制中央真空系统中所有设备的启停及根据真空度自动选择真空获得设备的运行数量等符合实际生产需求的功能。上述的中央真空系统代替了传统给每台多晶硅炉分别配套真空系统的技术，其包括滑阀泵、罗茨泵、阀门、管道等，其中罗茨泵和滑阀泵是保证真空获得的设备，阀门、管道等用于低真空及高真空的分离及切换。本技术所述的上述所有用于多台多晶硅炉的中央真空系统，利用一套中央真空系统为所有投入运行的多晶硅炉提供相应的真空要求，相比给每台多晶硅炉分别配套真空系统的技术，本技术具有以下优点：1、可靠性高，采用中央真空系统时，所有真空获得设备均有备份，任何一台故障都不会影响正常生产中的炉子，有效避免了由真空获得设备故障引起的停产；2、应用成本低，中央真空系统所携带的多晶硅炉越多，所体现的节能越明显，以一拖八为例，大约可以节能75%，尤其是仅中央低真空线路的节能效果就可以达到90%，甚至以上；3、维护工作量低，采用中央真空系统时，因为真空泵的总数量降低并且采用了可以方便快捷更换的管道罗茨泵，大大降低了真空泵维护的工作量。附图说明图1本技术所述的一种用于八台多晶硅炉的中央混合真空系统的一个实施例的结构线路示意图；图2本技术所述的一种用于十台多晶硅炉的中央混合真空系统的一个实施例的结构线路示意图。其中，1-高真空管道，2-联合泵组，21-罗茨泵，22-1#滑阀泵，3-粗真空管道，4-2#滑阀泵，5-多晶硅炉，6-阀门，7-管道罗茨泵，8-手动蝶阀。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“1#”、“2#”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有一台管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有一台管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。2.根据权利要求1所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉是指至少7台多晶硅炉。3.根据权利要求1所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉为8台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和三台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。4.根据权利要求1所述的用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述多台多晶硅炉为10台多晶硅炉；所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和三组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和四台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路...

【专利技术属性】
技术研发人员：潇然，荣易，吴彬，
申请(专利权)人：上海伊莱茨真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31