一种加速度计探头及加速度计系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种加速度计探头及加速度计系统。该加速度计系统包括加速度计探头、射频振荡电路和频谱仪。加速度计探头包括应力集中结构、薄膜体声波谐振器、支撑固定结构和薄膜体声波谐振器的电极焊盘；应力集中结构通过支撑固定结构固定在加速度计探头上；薄膜体声波谐振器通过薄膜体声波谐振器的电极焊盘与射频振荡电路的选频网络端相连。本实用新型专利技术采用具有大质量块的桥式应力集中结构，具有应力放大效果，可以提高系统测量加速度的灵敏度；加速度的大小通过频谱仪测量由薄膜体声波谐振器作为选频网络部件的射频振荡电路输出射频振荡信号频率的变化得出，避免了电容式微机电系统加速度计寄生电容干扰和结构复杂的缺点。

Accelerometer probe and accelerometer system

The utility model relates to an accelerometer probe and an accelerometer system. The accelerometer system includes an accelerometer probe, a radio frequency oscillation circuit, and a spectrum analyzer. Accelerometer probe including electrode pads, stress concentration, structure of thin film bulk acoustic resonator and supporting and fixing structure and thin film bulk acoustic resonator; stress concentration structure through the support fixing structure is fixed on the accelerometer probe; thin film bulk acoustic resonator connected by frequency selective network film bulk acoustic resonator electrode pads and RF oscillator circuit terminal. The utility model adopts high quality block bridge structure stress concentration, stress has amplification effect, can improve the sensitivity of the system for measuring acceleration; acceleration by measuring the thin film bulk acoustic resonator as the change of frequency selective network components RF oscillation circuit output RF frequency, avoiding the capacitive MEMS the parasitic capacitance accelerometer system interference and the shortcoming of complex structure.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种加速度计系统，特别是涉及一种具有应力集中结构并且基于薄膜体声波谐振器的加速度计系统、加速度计探头及其制备方法。
技术介绍
加速度计是一种常见的惯性传感器，被广泛使用在航空航天和消费电子等领域。随着消费电子的体积逐渐减小，功耗逐渐降低，现有加速度计的制备也普遍使用微机电系统(MicroelectromechanicalSystems，MEMS)的方法来减小体积、降低功耗，从而适应其发展。现今，电容式加速度计是最普遍的一种，通过测量电容变化来得出加速度的大小。现有技术中，通常采用微机电系统(MicroelectromechanicalSystems，MEMS)的方法制备电容式加速度计，其主要由质量块、弹性梁、电容极板等构成。通过检测由加速度引起的质量块与电容极板之间的电容差，可以得到加速度的大小，但是此过程加速度计对寄生电容比较敏感。此外，微机电系统(MicroelectromechanicalSystems，MEMS)的电容式加速度计还需要外围读出电路对其施加一定的静电力，通过闭环反馈力平衡技术保证零频、高分辨率和自检功能，此过程增加了外围读出电路的复杂度。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的缺陷，提供了一种加速度计系统以实现加速度测量的高灵敏度和高分辨率，避免了电容式微机电系统(MicroelectromechanicalSystems，MEMS)的加速度计寄生电容干扰和结构复杂的缺点。为实现上述目的，本技术提供了一种加速度系统、加速度计探头及其制备方法：一种加速度计探头，其特征在于：加速度计探头包括应力集中结构、薄膜体声波谐振器、支撑固定结构和薄膜体声波谐振器的电极焊盘；应力集中结构通过支撑固定结构固定在加速度计探头上；薄膜体声波谐振器通过薄膜体声波谐振器的电极焊盘与射频振荡电路的选频网络端相连。加速度计探头包含一种应力集中结构，应力集中结构包括至少一个质量块和多个所述应力集中桥。加速度计探头具有多个薄膜体声波谐振器，多个薄膜体声波谐振器位于多个应力集中桥上并且靠近固定端。优选地，应力集中结构其中的应力集中桥包含第一氮化硅、二氧化硅、第二氮化硅三种薄膜。优选地，上述的第一氮化硅薄膜和第二氮化硅薄膜厚度可以相同也可不同。优选地，上述的薄膜体声波谐振器的顶电极和底电极材料为钼；薄膜体声波谐振器的压电层材料为氮化铝。优选地，如实施例所示，所述固定端为对角线方向。一种加速度计系统，其特征在于，加速度系统包括：加速度计探头、射频振荡电路和频谱仪；其中，加速度计探头，用于探测加速度并且将加速度转化为薄膜体声波谐振器的频率变化；射频振荡电路与加速度探头中的薄膜体声波谐振器相连，用于根据薄膜体声波谐振器的频率变化输出不同频率的射频振荡信号；频谱仪，用于读出射频振荡信号的频率变化。薄膜体声波谐振器的结构包括底电极、压电层和顶电极。射频振荡电路包括，多个并排的CMOS反相器、至少一个MOS管、多个电容、至少一个选频网络端、至少一个信号输出端和至少一个偏压输入端。射频振荡电路是一个皮尔斯振荡电路。频谱仪为商用频谱仪，用于测量吉赫(GHz)的射频信号。与现有技术相比，本技术具有以下优点：(1)本技术采用具有大质量块的桥式应力集中结构，具有应力放大效果，可以提高系统测量加速度的灵敏度。(2)加速度的大小通过频谱仪测量由薄膜体声波谐振器作为选频网络部件的射频振荡电路输出射频振荡信号频率的变化得出，避免了电容式微机电系统(MicroelectromechanicalSystems，MEMS)加速度计寄生电容干扰和结构复杂的缺点。(3)由于射频振荡电路输出射频振荡信号的频率在吉赫(GHz)，而加速度引起的频率变化在千赫(KHz)，具有更优异的分辨率。(4)加速度计探头采用微机电系统(MicroelectromechanicalSystems，MEMS)方法制备，具有体积小、功耗低、能够批量生产的优点。附图说明图1为本技术的一种加速度计系统的框图；图2为本技术的一种加速度计系统的加速度计探头图；图3为本技术的一种加速度计系统的射频振荡电路图；具体实施方式下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。图1为本技术实施例的一种加速度计系统的框图，如图1所示，该加速度计系统主要包括加速度计探头000、射频振荡电路100、频谱仪200。其中，加速度计探头000，用于探测加速度并且将加速度转化为薄膜体声波谐振器005-008的频率变化；射频振荡电路100与加速度探头中的薄膜体声波谐振器005-008相连，用于根据薄膜体声波谐振器005-008的频率变化输出不同频率的射频振荡信号；频谱仪200，用于读出射频振荡信号的频率变化。具体地，将加速度计探头000的薄膜体声波谐振器的电极焊盘019-026接入射频振荡电路100的选频网络端P1，CMOS反相器M1-M6保证足够的增益来克服电路损耗，保证起振条件，MOS管M7为CMOS反相器M1-M6提供偏置，偏压Vb为MOSM7提供正常工作的偏压，电容C1-C2用来改善振荡器的启动，信号输出端(Sout)接入频谱仪200。加速度计探头000探测加速度并且将加速度转化为薄膜体声波谐振器005-008的频率变化；薄膜体声波谐振器005-008作为射频振荡电路100的选频网络部件，与射频振荡电路100的选频网络端P1相连；薄膜体声波谐振器005-008的频率变化导致射频振荡电路100信号输出端(Sout)输出不同频率的射频振荡信号；通过频谱仪200读出射频振荡电路100信号输出端(Sout)的射频振荡信号频率；由射频振荡信号频率的变化能够推算出感测得到的加速度大小。图2为本技术实施例的一种加速度计系统的加速度计探头图，如图2所示，该加速度计探头000主要包括应力集中结构、多个薄膜体声波谐振器，每个薄膜体声波谐振器连接至少一个电极焊盘、以及支撑固定结构010。应力集中结构通过支撑固定结构010固定在加速度计探头000上；四个薄膜体声波谐振器005-008通过薄膜体声波谐振器的电极焊盘019-026与射频振荡电路P1相连。应力集中结构包括一个大的质量块009和四个应力集中桥001-004，一个质量块009和四个应力集中桥001-004通过支撑固定结构010固定在所述加速度计探头上。每个薄膜体声波谐振器连接两个电极焊盘，两个电极焊盘对称布置在薄膜体声波谐振器两侧。四个薄膜体声波谐振器005-008设置在四个应力集中桥001-004上并且靠近固定端，所述固定端为对角线方向，固定端根据加速度探头的形状会有不同的位置。其中，一个薄膜体声波谐振器与两个薄膜体声波谐振器的电极焊盘相连，例如：薄膜体声波谐振器005与薄膜体声波谐振器的电极焊盘019和025相连；薄膜体声波谐振器006与薄膜体声波谐振器的电极焊盘020和021相连；薄膜体声波谐振器007与薄膜体声波谐振器的电极焊盘022和023相连；薄膜体声波谐振器008与薄膜体声波谐振器的电极焊盘024和026相连。薄膜体声波谐振器005的结构包括底电极016、压电层017和顶电极018。具体地，通过质量块009感测加速度，质量块009的运动使应力集中桥001-004产生应力并得到放本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度计探头，其特征在于：包括应力集中结构、多个薄膜体声波谐振器，每个薄膜体声波谐振器连接至少一个电极焊盘、以及支撑固定结构(010)；所述应力集中结构通过所述支撑固定结构(010)固定在所述加速度计探头上；所述多个薄膜体声波谐振器通过所述薄膜体声波谐振器的电极焊盘与射频振荡电路相连。

【技术特征摘要】
1.一种加速度计探头，其特征在于：包括应力集中结构、多个薄膜体声波谐振器，每个薄膜体声波谐振器连接至少一个电极焊盘、以及支撑固定结构(010)；所述应力集中结构通过所述支撑固定结构(010)固定在所述加速度计探头上；所述多个薄膜体声波谐振器通过所述薄膜体声波谐振器的电极焊盘与射频振荡电路相连。2.根据权利要求1所述的加速度计探头，其特征在于：所述每个薄膜体声波谐振器连接两个电极焊盘，所述两个电极焊盘对称布置在所述薄膜体声波谐振器两侧。3.根据权利要求1所述的加速度计探头，其特征在于：所述应力集中结构包括至少一个质量块(009)和多个应力集中桥，所述至少一个质量块(009)和多个应力集中桥通过所述支撑固定结构(010)固定在所述加速度计探头上。4.根据权利要求3所述的加速度计探头，其特征在于：所述多个薄膜体声波谐振器设置在所述多个应力集中桥上并且靠近固定端。5.一种加速度计系统，其特征在于，加速度系统包括：加速度计探头(000)、射频...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤亮，张忠山，季磊，支萌辉，齐敏，孙泉，乔东海，张倩，
申请(专利权)人：中国科学院声学研究所，
类型：新型
国别省市：北京;11