The invention discloses a method for measuring the internal defects of the double layer and the multilayer thin film layer, which belongs to the technical field of micro electronics and micro electronic machinery manufacturing. In order to solve the existing thin film devices, microelectronics, micro electro mechanical devices such as the preparation and testing process need destructive processing, Fei Shichang, high cost problem, the invention provides a method for measuring the surface morphology detection of double and multilayer film with internal defects, aging, thermal cycling or mechanical circulation before and after the film on the surface of the identify internal defects phenomenon caused by the change of the morphology of the positions and size of defects. The method is rapid, non-destructive, real-time, low detection cost, its application in the electronic manufacturing field of microelectronics, micro electro mechanical and other information, can make the manufacturing cost and test cost is greatly reduced, the quality can be improved, and has broad application prospects in these areas as well as the field of manufacturing similar structure.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微电子及微电子机械制造
,涉及一种新型的缺陷检测方法,具体涉及一种测量表面形貌检测双层及多层薄膜层间内部缺陷的方法。
技术介绍
多层薄膜是信息电子制造领域中的薄膜器件、微电子器件、微电子机械(MEMS)等的基本结构。其特点是由双层或多层薄膜以及薄的基板通过蒸镀、溅射、化学沉积、旋涂、粘接等工艺制成。在制备过程中膜和膜之间由于种种原因会出现微小缺陷,如气泡、脱层、裂纹、夹渣、异物等等。为了控制多层薄膜的质量,保证层间的牢固结合,需要随时检测缺陷的出现和形貌,以随时调整工艺;另外,为评估器件的可靠性,需要进行热老化、机械循环等测试,也需要随时检测层间的内部缺陷的产生和扩展。目前,这种检测都是破坏性的,例如随时采样、切片,然后在电子显微镜上进行观测。这种检测方法费时、费力,而且成本很高。
技术实现思路
为了解决现有薄膜器件、微电子、微电子机械等器件制备、检测过程中需要破坏性加工、费时长、成本高等的问题,本专利技术提供了一种测量表面形貌检测双层及多层薄膜层间内部缺陷的方法,利用老化、热循环或者机械循环前后薄膜表面由于内部缺陷出现造成的形貌变化的现象识别出缺陷的部位和尺寸。该方法具有快速、无损、实时、检测成本低的特点,将其应用于微电子、微电子机械等信息电子制造领域,可以使制造成本、测试成本大幅降低,质量得以提高,在这些领域以及类似结构的制造领域具有广阔的应用前景。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的:一种测量表面形貌检测双层及多层薄膜层间内部缺陷的方法,包括如下步骤:一、将被检测件放置在低温加热平台上,表面形貌检测装置位于被检测件上方,记录被检 ...
【技术保护点】
一种测量表面形貌检测双层及多层薄膜层间内部缺陷的方法,其特征在于所述方法步骤如下:一、将被检测件放置在低温加热平台上,表面形貌检测装置位于被检测件上方,记录被检测件在低温加热平台的放置位置;二、调节表面形貌检测装置的各项参数并记录,以此作为参考参数对被检测件进行检测;三、设置低温加热平台为室温,测量被检测件的表面形貌并记录;四、设置低温加热平台恒温加热,测量被检测件的表面形貌并记录,试验后关闭低温加热平台使之冷却到室温;五、对被检测件进行老化、热循环或者机械循环测试规定的时间或次数;六、将测试后的被检测件放置在步骤一记录的放置位置上;七、设置低温加热平台为室温,对被检测件进行检测并记录;八、设置低温加热平台恒温加热温度与步骤四的温度相同,对被检测件进行检测并记录;九、根据步骤三、步骤四、步骤七、步骤八中四次检测的表面形貌变形区别,利用计算机进行计算,判断是否有缺陷产生及缺陷产生的位置;十、重复步骤三~九,直至完成老化测试。
【技术特征摘要】
1.一种测量表面形貌检测双层及多层薄膜层间内部缺陷的方法,其特征在于所述方法步骤如下:一、将被检测件放置在低温加热平台上,表面形貌检测装置位于被检测件上方,记录被检测件在低温加热平台的放置位置;二、调节表面形貌检测装置的各项参数并记录,以此作为参考参数对被检测件进行检测;三、设置低温加热平台为室温,测量被检测件的表面形貌并记录;四、设置低温加热平台恒温加热,测量被检测件的表面形貌并记录,试验后关闭低温加热平台使之冷却到室温;五、对被检测件进行老化、热循环或者机械循环测试规定的时间或次数;六、将测试后的被检测件放置在步骤一记录的放置位置上;七、设置低温加热平台为室温,对被检测件进行检测并记录;八、设置低温加热平台恒温加热温度与步骤四的温度相同,对被检测件进行检测并记录;九、根据步骤三、步骤四、步骤七、步骤八中四次检...
【专利技术属性】
技术研发人员:王晓婷,王春青,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:黑龙江;23
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