The present invention provides a liquid crystal panel and method of forming resist pattern, the method comprises the following steps: coating a photoresist layer on the substrate; the shielding layer is arranged on the patterned photoresist layer; the light of the shielding layer, by forming a photoresist pattern on the photoresist layer on the line width; the block pattern layer on the local position than other location pattern. Compared with the prior art, the invention provides a liquid crystal panel and a method for forming a resist pattern by the panel on resistance of different material layers corresponding to the position of the shielding layer pattern width for different settings, for the central position of the pattern width specific line width of the shielding layer is greater than the location around the pattern, to overcome the existing technology in the substrate polishing resistance material layer at different positions of the different solvent residue, also use the same width of the shielding layer of light and produce the final formation of technical problems of the photoresist pattern width difference.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及液晶面板制作工艺的
,具体是涉及一种液晶面板及其光阻图案形成方法。
技术介绍
液晶面板的光阻层形成过程中,一般是利用光照透过遮挡层照射光阻材料层,以将遮挡层上的图案形成于光阻材料层上。然而现有技术中,在制作同一块基板上的光阻图案时,遮挡层的图案线宽一般都是均匀相同的,但是很多时候光阻材料层在去除溶剂的过程中,由于整个基板上光阻材料层不同位置的溶剂去除情况不尽相同,光阻材料层中残留溶剂的含量不一致,这种情况下,如果还是利用线宽均匀相同的遮挡层进行遮挡照射时,就会导致在显影液中的溶解速度不一样,进而会导致最终形成的光阻图案的线宽有差异。固定位置的光阻图案的线宽差异很难通过设备和工艺改善,因为设备和工艺方式都是基板整面性的,无法对局部进行区别对待。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种液晶面板及其光阻图案形成方法,以解决现有技术中基板不同位置形成的光阻图案线宽存在差异的技术问题。为解决上述问题,本专利技术实施例一方面提供了一种用于液晶面板上的光阻图案形成方法,所述方法包括:在基板上涂布光阻材料层;在所述光阻材料层上设置带有图案的遮挡层;对所述遮挡层进行光照,以在所述光阻材料层上形成光阻图案;其中,所述遮挡层上的局部位置图案的线宽大于其他位置图案的线宽。根据本专利技术一优选实施例,所述遮挡层的中部位置图案的线宽大于四周位置图案的线宽。根据本专利技术一优选实施例,所述基板上设有接触孔。根据本专利技术一优选实施例,基板上接触孔的直径为4um。根据本专利技术一优选实施例,所述遮挡层的中部位置图案的线宽比四周位置图案的线宽大0.2-1um。根据本专利技 ...
【技术保护点】
一种用于液晶面板上的光阻图案形成方法,其特征在于,所述方法包括:在基板上涂布光阻材料层;在所述光阻材料层上设置带有图案的遮挡层;对所述遮挡层进行光照,以在所述光阻材料层上形成光阻图案;其中,所述遮挡层上的局部位置图案的线宽大于其他位置图案的线宽。
【技术特征摘要】
1.一种用于液晶面板上的光阻图案形成方法,其特征在于,所述方法包括:在基板上涂布光阻材料层;在所述光阻材料层上设置带有图案的遮挡层;对所述遮挡层进行光照,以在所述光阻材料层上形成光阻图案;其中,所述遮挡层上的局部位置图案的线宽大于其他位置图案的线宽。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述遮挡层的中部位置图案的线宽大于四周位置图案的线宽。3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基板上设有接触孔。4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,基板上接触孔的直径为4um。5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述遮挡层的中部位置图案的线宽比四周位置图案的线宽大0.2-1um。6....
【专利技术属性】
技术研发人员:龚成波,
申请(专利权)人:武汉华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北;42
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