The invention discloses a method for improving the surface acoustic wave filter tolerance power, using 42 DEG lithium tantalate piezoelectric substrate, electrical excitation of surface acoustic wave on the substrate surface spread; plating transition layer evaporation on the piezoelectric substrate; steam plating alloy film electrode layer combination in transition layer. The morphology of the transition layer is consistent with the morphology of the electrode layer, so as to improve the adhesion of the metal electrode. The electrode layer is used to design the electrode morphology of the interdigital transducer, and the surface acoustic wave is excited and received to realize the filtering function. To solve the high power signal in long time by surface acoustic wave filter, caused by the failure of the device due to high temperature or metal migration problems, power tolerance of the method for preparation of surface acoustic wave band pass filter has been improved.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种声表面波滤波器,尤其涉及一种提高声表面波滤波器耐受功率的方法。
技术介绍
随着当前军用、民用电子系统向小型化、高可靠性、抗干扰能力强、保密性好等方向进一步发展,声表面波滤波器必将获得更加广泛的应用和青睐。然而对于声表面波滤波器来说,叉指换能器指条宽度一般为微米或纳米级别,如此细微的电极,需要有强的功率承受力和机械承受力,因为在高功率下来自于声表面波的重复应力会引起Al原子沿着晶界迁移,从而引起Al膜形成空洞或小丘,电极处很容易短路或断路,高功率给基片表面带来的高温也使器件很容易失效。同时,滤波器频率越高,要求薄膜厚度越小,导致Al膜与基体的附着力减小,从而严重影响器件性能。否则器件很容易失效。这样我们急需提高高频器件的耐受功率来满足现代SAW发展的需求。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种可以使声表面波滤波器承受较大的输入功率的提高声表面波滤波器耐受功率的方法。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的:本专利技术的提高声表面波滤波器耐受功率的方法,包括:采用42°钽酸锂压电基片,电信号激励的声表面波在此基片表面传播;在所述压电基片上蒸镀过渡层;在所述过渡层上蒸镀组合合金膜的电极层。由上述本专利技术提供的技术方案可以看出,本专利技术实施例提供的声表面波滤波器耐受功率的方法,当声表面波滤波器需要工作在较高的输入功率环境下,就可以用此方法制备声表面波滤波器的叉指换能器电极,解决了高功率下来自于声表面波的重复应力引起的Al原子沿着晶界迁移,或因高功率给基片表面带来的高温而引起的器件失效问题,可以使声表面波滤波器承受较大的输入功率。附图说明图1 ...
【技术保护点】
一种提高声表面波滤波器耐受功率的方法,其特征在于,包括:采用42°钽酸锂压电基片,电信号激励的声表面波在此基片表面传播;在所述压电基片上蒸镀过渡层;在所述过渡层上蒸镀组合合金膜的电极层。
【技术特征摘要】
1.一种提高声表面波滤波器耐受功率的方法,其特征在于,包括:采用42°钽酸锂压电基片,电信号激励的声表面波在此基片表面传播;在所述压电基片上蒸镀过渡层;在所述过渡层上蒸镀组合合金膜的电极层。2.根据权利要求1所述的提高声表面波滤波器耐受功率的方法,其特征在于,所述过渡层的形貌与所述电极层的形貌一致,用以提高金属电...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘利鹏,张雅,杨思川,黄歆,
申请(专利权)人:北京中科飞鸿科技有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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