一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备制造技术

本发明专利技术公开了一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，包括有第一真空腔体、第二真空腔体、第三真空腔体、第一密封门、第二密封门、第三密封门、抽真空系统、显示控制系统和柜体，所述第一真空腔体、第二真空腔体和第三真空腔体组成相同，每个真空腔体均包括有左侧热辐射室、右侧热辐射室和位于左、右热辐射室之间的工作室。抽真空系统由分子泵、前级泵、预抽泵和真空电磁阀门组成，一套抽真空系统即可对多个腔体抽真空；预抽泵用于真空腔体的第一级抽空，前级泵用于对分子泵抽空工作维持，必要时也可兼做预抽泵，整个系统抽真空时间短；本发明专利技术实现多个真空腔体独立控制、显示，可以单独停止和再启动操作，实现真正意义上的互不干扰。

Vacuum chamber high temperature storage device capable of independently controlling

The invention discloses a multi chamber high temperature storage devices can be controlled independently, including the first vacuum chamber, second chamber, third chamber, a first sealing door, second door, third door seal seal, vacuum system, display system and control cabinet, the first vacuum chamber, second chamber and third the vacuum cavity composed of the same, each of which comprises a vacuum chamber between the left and right ventricular heat radiation heat radiation chamber and is located on the left and right heat radiation room studio. The vacuum system consists of molecular pump, pump, pump and pre vacuum electromagnetic valve, a vacuum pumping system of multiple cavity vacuum pre pumping; for the first level of vacuum vacuum chamber, before the pump used for molecular pump maintenance, when necessary can be used as the pre pump the whole system, vacuum time is short; the invention realizes a plurality of vacuum chamber independent control, that alone can stop and restart the operation, realize the true sense of mutual interference.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及整机或零部件出气处理后真空、高温环境封装或储存领域，具体为一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备。
技术介绍
真空高温存储设备在电子产品、光学零件、食品卫生、医疗、科研教学、工业等领域有着广泛的应用，其可提供一个真空、高温条件对设备进行干燥、加热和真空存储处理。尤其是在电子仪器、部件产品的生产、试验中，真空高温存储设备发挥着重要的作用。现在真空高温存储设备多设计成单个真空腔体，这样一批整机或零部件在试验存储过程中，必须一批全部放进或全部取出，这些就会给试验或生产带来很大的不便；为确保试验或生产的节点，有些真空高温储存设备设计成多个真空腔体，但但是每个腔体对应一套抽真空系统以确保各个真空腔体互不干扰，由此会造成设备成本和使用能耗增加。
技术实现思路
本专利技术提供一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，本设备具有多个腔体，每个腔体可实现独立真空度控制，相互之间互不影响，仅需要一套抽真空系统，克服了上述问题。为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案为：一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，其特征在于：包括有第一真空腔体、第二真空腔体、第三真空腔体、第一密封门、第二密封门、第三密封门、抽真空系统、显示控制系统和柜体，所述第一真空腔体、第二真空腔体和第三真空腔体组成相同，所述每个真空腔体均包括有左侧热辐射室、右侧热辐射室和位于左、右热辐射室之间的工作室。所述的一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，其特征在于：所述左侧热辐射室包括有真空腔不锈钢壁、左侧加热管、左侧热辐射孔板，所述左侧加热管固定在左侧前加热管固定架、左侧后加热管固定架上；所述右侧热辐射室包括有真空腔不锈钢壁、右侧加热管、右侧热辐射孔板，所述右侧加热管固定在右侧前加热管固定架、右侧后加热管固定架上。所述的一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，其特征在于：所述工作室中设置样品搁板，所述样品搁板支撑在左侧前样品搁板支架、左侧后样品搁板支架、右侧前样品搁板支架和右侧后样品搁板支架上。所述的一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，其特征在于：所述每个真空腔体底部均设有抽真空接口。所述的一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，其特征在于：所述抽真空系统包括有分子泵、前级泵、预抽泵，所述前级泵与分子泵连接，用于分子泵的抽真空；所述分子泵和预抽泵分别经过真空电磁阀和管路连接至各个真空腔体上。所述的一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，其特征在于：所述第一真空腔体通过管路与第一充气阀、第一精抽电磁阀连接到分子泵总管路上，所述第一充气阀和第一精抽电磁阀之间设有支路，通过管路连接第一预抽电磁阀到预抽泵的总管路上；第二真空腔体通过管路与第二充气阀、第二精抽电磁阀连接到分子泵总管路上，所述第二充气阀和第二精抽电磁阀之间的设有支路，通过管路连接第二预抽电磁阀到预抽泵的总管路上；第三真空腔体通过管路与第三充气阀、第三精抽电磁阀连接到分子泵总管路上，所述第三充气阀和第三精抽电磁阀之间的设有支路，通过管路连接第三预抽电磁阀到预抽泵的总管路上。本专利技术和现有技术相比具有以下有益效果：1）真空腔内左侧和右侧设置热辐射室，辐射室内整个面布置电加热管，热辐射面积大，工作室温场均匀性满足±1℃；2）优化的抽真空系统，多个真空腔体独立控制、显示，可以单独停止和再启动操作，实现真正意义上的互不干扰；3）抽真空系统采用一台分子泵，一台预抽泵、一台前级泵配置；其中，预抽泵用于预抽真空腔体，前级泵用于对分子泵抽真空和工作维持，必要时也可兼做预抽泵，整个系统抽真空时间短。附图说明图1.本专利技术多腔真空高温存储设备外观图。图2.真空腔体外观图。图3.真空腔体正视图。图4是图3沿A-A剖线的结构视图。图5是图3沿B-B剖线的结构视图。图6是抽真空系统图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术做进一步详细的说明。如图1～3所示，一种可独立控制的多腔真空高温存储设备，包括有第一真空腔体1、第二真空腔体2、第三真空腔体3、第一密封门4、第二密封门5、第三密封门6、抽真空系统7、显示控制系统8和柜体9；每个真空腔体包括有左侧热辐射室101、右侧热辐射室102、工作室103和不锈钢壁100。左侧热辐射室101由真空腔不锈钢壁、左侧加热管104、左侧热辐射孔板105组成，左侧加热管104固定在左侧前加热管固定架106、左侧后加热管固定架107上；右侧热辐射室102由真空腔不锈钢壁、右侧加热管108、右侧热辐射孔板109组成，右侧加热管108固定在右侧前加热管固定架109、右侧后加热管固定架上110。工作室103在左侧热辐射室101和右侧热辐射室102之间，工作室中设置样品搁板111，所述样品搁板111支撑在左侧前样品搁板支架112、左侧后样品搁板支架113、右侧前样品搁板支架114和右侧后样品搁板支架115上。第一真空腔体1、第二真空腔体2和第三真空腔体3组成相同。每个真空腔体底部均设有抽真空接口116。抽真空系统7由分子泵701、前级泵702、预抽泵703和真空电磁阀经过管路连接组成。所述前级泵702与分子泵701连接，用于分子泵的抽真空工作维持；第一真空腔体1通过管路与第一充气阀710、第一精抽电磁阀704连接到分子泵701总管路上，所述第一充气阀710和第一精抽电磁阀704之间设有支路，通过管路连接第一预抽电磁阀704到预抽泵703的总管路上；第二真空腔体2通过管路与第二充气阀711、第二精抽电磁阀707连接到分子泵701总管路上，所述第二充气阀711和第二精抽电磁阀707之间的设有支路，通过管路连接第二预抽电磁阀706到预抽泵703的总管路上；第三真空腔体3通过管路与第三充气阀712、第三精抽电磁阀709连接到分子泵701总管路上，所述第三充气阀712和第三精抽电磁阀709之间的设有支路，通过管路连接第三预抽电磁阀708到预抽泵703的总管路上。对本专利技术公布的一种可独立控制的多腔真空高温存储设备具体工作过程做进一步说明：1、三个腔体同时工作：1）把需要真空储存的器件放入腔体1～3内，将密封门4～6关闭，打开第一预抽电磁阀705、第二预抽电磁阀706、第三预抽电磁阀708、第一精抽电磁阀704、第二精抽电磁阀707、第三精抽电磁阀709，启动预抽泵703和前级泵702；2）当三个腔体真空度抽至分子泵701允许开启真空度时，启动分子泵701，关闭预抽干泵703，关闭第一预抽电磁阀705、第二预抽电磁阀706、第三预抽电磁阀708，对腔体进行精抽，抽至目标真空度以下，腔体进入储存工作状态；3）结束三个腔体工作运行时，关闭第一精抽电磁阀704、第二精抽电磁阀707、第三精抽电磁阀709；关闭分子泵701，关闭前级泵702，打开第一充气阀门710、第二充气阀门711、第三充气阀门712，待腔体压力恢复至常压时，即可打开箱门。2、三个腔体同时进行高真空储存时，关闭腔体1：1）同上述运行方式1中1）和2）步骤；2）关闭腔体1的第一精抽电磁阀705；3）打开腔体1的第一充气阀门710，待腔体压力恢复至常压时，即可打开箱门1。3、三个腔体同时进行高真空储存时，关闭腔体1，又重新工作：1)完成腔体1内实验器件取放后，将箱门关闭；2）打开腔体1对应的第一预抽电磁阀705，打开预抽泵703，当腔体1真空度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，其特征在于：包括第一真空腔体、第二真空腔体、第三真空腔体、第一密封门、第二密封门、第三密封门、抽真空系统、显示控制系统和柜体，所述第一真空腔体、第二真空腔体和第三真空腔体组成相同，所述每个真空腔体均包括有左侧热辐射室、右侧热辐射室和位于左、右热辐射室之间的工作室。

【技术特征摘要】
1.一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，其特征在于：包括第一真空腔体、第二真空腔体、第三真空腔体、第一密封门、第二密封门、第三密封门、抽真空系统、显示控制系统和柜体，所述第一真空腔体、第二真空腔体和第三真空腔体组成相同，所述每个真空腔体均包括有左侧热辐射室、右侧热辐射室和位于左、右热辐射室之间的工作室。2.根据权利要求1所述的一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，其特征在于：所述左侧热辐射室包括有真空腔不锈钢壁、左侧加热管、左侧热辐射孔板，所述左侧加热管固定在左侧前加热管固定架、左侧后加热管固定架上；所述右侧热辐射室包括有真空腔不锈钢壁、右侧加热管、右侧热辐射孔板，所述右侧加热管固定在右侧前加热管固定架、右侧后加热管固定架上。3.根据权利要求2所述的一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，其特征在于：所述工作室中设置样品搁板，所述样品搁板支撑在左侧前样品搁板支架、左侧后样品搁板支架、右侧前样品搁板支架和右侧后样品搁板支架上。4.根据权利要求1所述的一种可独立...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱彪，马学焕，王昆，
申请(专利权)人：安徽亿瑞深冷能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34