用于生产机台的管理控制方法和管理控制系统技术方案

本发明专利技术提供一种用于生产机台的管理控制方法和管理控制系统。所述管理控制方法包括：针对待测生产机台收集预定时间段内的在线数据和离线数据；确定所述在线数据和所述离线数据是否满足各自的预定基准；基于所确定的结果对所述待测生产机台进行等级划分；以及基于所划分的等级对所述待测生产机台进行管理控制。本发明专利技术所提供的用于生产机台的管理控制方法和管理控制系统基于在线数据和离线数据分析机台的能力，并依据机台能力对机台进行管理控制，可以提高整个生产线的优秀机台利用率并提升产品品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体工艺
，具体而言涉及一种用于生产机台的管理控制方法和管理控制系统。
技术介绍
在生产中，质量控制是非常关键的。目前，虽然半导体公司都建立了各种各样的方法和系统对产品特性进行管控，所有的系统目的都是为了更好的及时追踪掌控产品特性，避免发生问题之后再去处理解决。然而，在产品已经进行加工生产之后再对其进行管控可能为时已晚。因此，应该提早一步预防不良异常的产生。现有的方法和系统通常只对产品进行管控，一旦产品发生问题，才追溯回机台进行改善，这样的方式不仅滞后而且会造成资源浪费。如果对生产产品的机台可以提前侦测并进行有效管控，则可能避免上述问题。因此，对机台建立科学的管控势在必行。
技术实现思路
针对现有技术的不足，一方面，本专利技术提供一种用于生产机台的管理控制方法，所述管理控制方法包括：针对待测生产机台收集预定时间段内的在线(Inline)数据和离线(offline)数据；确定所述在线数据和所述离线数据是否满足各自的预定基准；基于所确定的结果对所述待测生产机台进行等级划分；以及基于所划分的等级对所述待测生产机台进行管理控制。在本专利技术的一个实施例中，确定所述在线数据和所述离线数据是否满足各自的预定基准包括：确定所述在线数据的均值与基准均值的差除以基准标准差是否小于第一预定阈值，并且确定所述在线数据的标准差与所述基准标准差的比值是否小于第二预定阈值；以及确定所述离线数据的第M百分位数是否小于所述离线数据的第N百分位数，其中M和N均为正整数，并且M<N。示例性地，所述M等于90，所述N等于95。在本专利技术的一个实施例中，所述基于所确定的结果对所述待测生产机台进行等级划分包括：当所述在线数据和所述离线数据同时满足各自的预定基准时，将所述待测生产机台划分为第一等级机台；当所述在线数据和所述离线数据中的一者满足预定基准时，将所述待测生产机台划分为第二等级机台；以及当所述在线数据和所述离线数据均不满足各自的预定基准时，将所述待测生产机台划分为第三等级机台。在本专利技术的一个实施例中，所述基于所划分的等级对所述待测生产机台进行管理控制包括：当所述待测生产机台被划分为第一等级机台时，控制所述待测生产机台在生产时被优先选择；当所述待测生产机台被划分为第二等级机台时，基于第一等级机台对所述待测生产机台进行改善；以及当所述待测生产机台被划分为第三等级机台时，禁止所述待测生产机台用于生产、对所述待测生产机台进行改善和监控。在本专利技术的一个实施例中，在确定所述在线数据和所述离线数据是否满足各自的预定基准之前，去除所收集的在线数据和离线数据中的离群数据(outlier)和/或不符合规格(outofspec)的数据。示例性地，所述在线数据为在线量测的产品的关键尺寸(CD)。示例性地，所述离线数据为机台的颗粒数据(particle)。另一方面，本专利技术还一种用于生产机台的管理控制系统，所述管理控制系统包括：数据采集单元，用于针对待测生产机台收集预定时间段内的在线数据和离线数据；数据分析单元，用于确定所述在线数据和所述离线数据是否满足各自的预定基准；等级划分单元，用于基于所确定的结果对所述待测生产机台进行等级划分；以及管理控制单元，用于基于所划分的等级对所述待测生产机台进行管理控制。在本专利技术的一个实施例中，所述数据分析单元确定所述在线数据和所述离线数据是否满足各自的预定基准的操作包括：确定所述在线数据的均值与基准均值的差除以基准标准差是否小于第一预定阈值，并且确定所述在线数据的标准差与所述基准标准差的比值是否小于第二预定阈值；以及确定所述离线数据的第M百分位数是否小于所述离线数据的第N百分位数，其中M和N均为正整数，并且M<N。本专利技术所提供的用于生产机台的管理控制方法和管理控制系统基于在线数据和离线数据分析机台的能力，并依据机台能力对机台进行管理控制，可以提高整个生产线的优秀机台利用率并提升产品品质。附图说明本专利技术的下列附图在此作为本专利技术的一部分用于理解本专利技术。附图中示出了本专利技术的实施例及其描述，用来解释本专利技术的原理。附图中：图1示出了根据本专利技术实施例的、用于生产机台的管理控制方法的流程图；以及图2示出了根据本专利技术实施例的、用于生产机台的管理控制系统的结构框图。具体实施方式在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本专利技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本专利技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本专利技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。应当理解的是，本专利技术能够以不同形式实施，而不应当解释为局限于这里提出的实施例。相反地，提供这些实施例将使公开彻底和完全，并且将本专利技术的范围完全地传递给本领域技术人员。在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本专利技术的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。为了彻底理解本专利技术，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构，以便阐释本专利技术提出的技术方案。本专利技术的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本专利技术还可以具有其他实施方式。目前，在制造公司的生产关注点单纯集中在产品特性，很多量测数据直接反映产品特性是否合格，比如Inline&Offline是生产过程中的重要特性。当一个问题发生时，经常可以通过Inline&Offline的数据找到问题原因从而得到解决。其实，Inline&Offline与机台的能力也有着强相关的关联，但是目前没有系统的方法通过Inline&Offline的数据分析机台能力。本专利技术的实施例致力于开发对机台进行能力等级划分的机制，利用大数据分析对Inline&Offline进行分析处理之后自动反馈机台能力。基于这样的系统，可以提高整个生产线的机台利用率并提升产品品质。下面结合具体实施例描述本专利技术的方法和系统。图1示出了根据本专利技术实施例的用于生产机台的管理控制方法100的流程图。如图1所示，管理控制方法100包括以下步骤：步骤101：针对待测生产机台收集预定时间段内的在线数据和离线数据。例如，可以通过关键尺寸-扫描电子显微镜(CD-SEM)量测机台来收集预定时间段内(例如1个月内)某一产品的在线数据，并可以通过量测机台收集离线数据。在线数据可以为晶圆(wafer)的实际量测数据，示例性地，在线数据可以为在线量测的产品的线宽CD。离线数据可以为反映机台稳定性的数据，示例性地，离线数据可以为颗粒量测机台KLA所收集的颗粒数据。根据本专利技术的一个实施例，在收集在线数据和离线数据后，可以首先去除所收集的在线数据和离线数据中的离群值和/或不符合规格的数据。离群值是非常大和非常小的值，这些值可能是因为误差带来的，也可能不是误差，但是这些数据很少，不具有代表性，所以可以将其去除，以免影响后续处理。类似地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于生产机台的管理控制方法，其特征在于，所述管理控制方法包括：针对待测生产机台收集预定时间段内的在线数据和离线数据；确定所述在线数据和所述离线数据是否满足各自的预定基准；基于所确定的结果对所述待测生产机台进行等级划分；以及基于所划分的等级对所述待测生产机台进行管理控制。

【技术特征摘要】
1.一种用于生产机台的管理控制方法，其特征在于，所述管理控制方法包括：针对待测生产机台收集预定时间段内的在线数据和离线数据；确定所述在线数据和所述离线数据是否满足各自的预定基准；基于所确定的结果对所述待测生产机台进行等级划分；以及基于所划分的等级对所述待测生产机台进行管理控制。2.如权利要求1所述的管理控制方法，其特征在于，确定所述在线数据和所述离线数据是否满足各自的预定基准包括：确定所述在线数据的均值与基准均值的差除以基准标准差是否小于第一预定阈值，并且确定所述在线数据的标准差与所述基准标准差的比值是否小于第二预定阈值；以及确定所述离线数据的第M百分位数是否小于所述离线数据的第N百分位数，其中M和N均为正整数，并且M<N。3.如权利要求2所述的管理控制方法，其特征在于，所述M等于90，所述N等于95。4.如权利要求1所述的管理控制方法，其特征在于，所述基于所确定的结果对所述待测生产机台进行等级划分包括：当所述在线数据和所述离线数据同时满足各自的预定基准时，将所述待测生产机台划分为第一等级机台；当所述在线数据和所述离线数据中的一者满足预定基准时，将所述待测生产机台划分为第二等级机台；以及当所述在线数据和所述离线数据均不满足各自的预定基准时，将所述待测生产机台划分为第三等级机台。5.如权利要求4所述的管理控制方法，其特征在于，所述基于所划分的等级对所述待测生产机台进行管理控制包括：当所述待测生产机台被划分为第一等级机台时，控制所述待测生产机台在生产时被优先选择；当所述待测生产机台被...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵九洲，彭莉萍，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31