The invention discloses a photoconductive ultraviolet detector ZnO rGO nano composite materials based on the UV detector, followed by a low resistance layer, insulating layer, Si SiO2 nano ZnO rGO spin coating and Al electrode. The preparation method is as follows: first synthesis of ZnO nanoparticles by solvothermal method, surface modification of ZnO nanoparticles with APTES and hydrothermal synthesis of ZnO rGO compound, SiO2 compound solution and then spin coated on the Si/SiO2 surface, and then obtain the UV detector in the spin coating on surface with Al electrode. Compared with the UV detector based on nano ZnO, UV detector of the invention of low dark current, photocurrent, response and sensitivity is greatly improved, the device structure and the simple preparation method, simple method, low cost, suitable for large area fabrication, has important application value and good application prospect in the military, civil and some special field.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种紫外探测器的制备方法,尤其涉及一种基于纳米ZnO-rGO复合材料的光电导型紫外波段探测器及其制备方法,属于半导体器件
技术介绍
紫外探测技术是以紫外光辐射的大气传输与衰减特性和高性能紫外光学传感器为基础的一门新技术。与传统的红外和激光探测技术相比,紫外探测技术在许多方面的特殊优势使得其在很多的场合都有着广泛的应用价值:军事上,用于紫外告警、紫外通信、紫外/红外复合制导、导弹探测和光电对抗等,民用上,利用紫外探测技术探测太阳紫外辐射强度以及检测细胞病变。然而,至今市场上还是以传统光电倍增管和硅基紫外探测器为主。ZnO作为一种新型的直接带隙半导体材料,室温下禁带宽度为3.37eV,激子束缚能高达60meV,抗辐射能力强,并且可通过Mg掺杂实现禁带宽度在3.37~7.78eV之间调节,以实现对不同波段紫外线的探测。此外,ZnO有着较为丰富的纳米结构且制备过程简便。相对于传统的光电倍增管和硅基紫外探测器,第三代ZnO基宽禁带半导体材料紫外探测器有着体积小、质量轻、稳定、量子率高、噪声低、响应速度快、光谱响应峰值在紫外波段等特点。同时,它对波长大于400nm的可见光和红外光无阻碍透过,可见光抑制比高,不需要外加滤光片,测量精度高,是紫外探测器的主要研究方向。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种制备成本低、工艺简单、易于大面积生产,且灵敏度、响应度较高的基于纳米ZnO-rGO复合材料的光电导型紫外探测器及其制备方法。本专利技术的基于纳米ZnO-rGO复合材料的光电导型紫外探测器,自下而上依次有低阻Si层、SiO2绝缘层、纳米ZnO-rG ...
【技术保护点】
一种基于纳米ZnO‑rGO复合材料的光电导型紫外探测器,其特征在于,该探测器自下而上依次有低阻Si层(1)、SiO2绝缘层(2)、纳米ZnO‑rGO旋凃层(3)和Al电极(4)。
【技术特征摘要】
1.一种基于纳米ZnO-rGO复合材料的光电导型紫外探测器,其特征在于,该探测器自下而上依次有低阻Si层(1)、SiO2绝缘层(2)、纳米ZnO-rGO旋凃层(3)和Al电极(4)。2.如权利要求1所述的基于纳米ZnO-rGO复合材料的光电导型紫外探测器的制备方法,其特征在于,该探测器的制备方法包括以下步骤:1)在烧杯中加入粉末状Zn(CH3COO)2·2H2O和NaOH,再加入无水乙醇,使得Zn(CH3COO)2·2H2O的浓度为0.1mol/L,NaOH的浓度为1mol/L,将烧杯封口后置于室温下充分搅拌直至固体完全溶解并且形成乳白色前驱体溶液;将上述前驱体溶液转移至聚四氟乙烯内胆中,将内胆放入水热釜中,拧紧,置于150℃烘箱中保温2h;待水热釜冷却至室温后取出并分管离心,离心产物需用无水乙醇洗涤、再离心2次后放置于60℃烘箱内干燥12h,得到纳米ZnO颗粒;2)将上述纳米ZnO颗粒加入无水乙醇中,超声使其完全分散,然后加入3-氨丙基三乙氧基硅烷(APTES),使得ZnO(mg):APTES(ml)=0.5~1,在60℃下水...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘新花,陆乔琦,王伟豪,叶志镇,
申请(专利权)人:浙江大学,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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