一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管制造技术

本发明专利技术公开了一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管，包括上下两个ITO靶材，靶材之间通过冷却背管冷却，冷却背管的中央设有正向进液用的内管，内管和冷却背管之间形成反向回流出液管道。本发明专利技术结构设计简单合理，有效保证水的流动性，冷却效果大大优于现有一端进，一端出的冷却管道；保证旋转时不漏水，稳定性更好；保证冷却水能够充分充满冷却管，避免ITO靶材底部的冷却背管水出现空隙，有效防止裂靶现象发生。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及PVD旋转靶制造冷却
，具体涉及一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管。
技术介绍
现有技术的PVD旋转靶背靶制造过程中，ITO靶材之间通过背管冷却，背管水从一端进，另一端出，如果背管内的冷却水不能充满的话，极易导致一侧ITO表面温度过高，并造成裂靶。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管，解决现有背管冷却过程中，背管内的冷却水不能充满，形成空隙，导致冷却不均匀，造成裂靶的问题。本专利技术的技术方案如下：一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管，包括上下两个ITO靶材，上述靶材之间通过冷却背管冷却，上述冷却背管的中央设有正向进液用的内管，上述内管和冷却背管之间形成反向回流出液管道。本专利技术进一步设置为，上述冷却背管内还设有磁极。本专利技术进一步设置为，上述内管与上述冷却背管之间还设有回流U型管或连接管。本专利技术进一步设置为，上述磁极与上述内管外壁贴紧设置。有益效果本专利技术具有下述优点：1）结构设计简单合理，有效保证水的流动性，冷却效果大大优于现有一端进，一端出的冷却管道；2）保证旋转时不漏水，稳定性更好；3）保证冷却水能够充分充满冷却管，避免ITO靶材底部的冷却背管水出现空隙，有效防止裂靶现象发生。4）冷却效果一致性好，由于采用进水在中间，回流水在内管外侧的新型布局，使得整体的冷却热交换效率更快，更均匀，靶材的冷却温度变化也更加均匀。附图说明图1现有技术示意图。图2本专利技术的示意图。具体实施方式实施例1如图1所示，现有技术的上下靶材之间设有冷却背管，其一端进水，另一端出水，当冷却背管之间的冷却水没有充满冷却背管的时候，会形成空隙1，容易导致ITO靶材发生裂靶。图中箭头代表冷却水的流动方向。如图2所示为本专利技术的技术方案：一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管，包括上下两个ITO靶材2，靶材2之间通过冷却背管3冷却，冷却背管3的中央设有正向进液用的内管4，内管4和冷却背管3之间形成反向回流出液管道5。冷却背管3内还设有磁极6。内管4与冷却背管3之间还设有回流U型管或连接管（图中未画出，仅仅用弧形箭头代替流U型管或连接管，图中直线箭头代表冷却水流向）。磁极6与内管4外壁贴紧设置。也可以不贴紧设置。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，本专利技术的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本专利技术思路下的技术方案均属于本专利技术的保护范围。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管， 包括上下两个ITO靶材，所述靶材之间通过冷却背管冷却，其特征在于：所述冷却背管的中央设有正向进液用的内管，所述内管和冷却背管之间形成反向回流出液管道。

【技术特征摘要】
1.一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管，包括上下两个ITO靶材，所述靶材之间通过冷却背管冷却，其特征在于：所述冷却背管的中央设有正向进液用的内管，所述内管和冷却背管之间形成反向回流出液管道。2.根据权利要求1所述的一种新型PVD旋转靶制造用冷却背管，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨瑞鹏，王磊，
申请(专利权)人：杨瑞鹏，
类型：发明
国别省市：上海;31