The invention provides a method for manufacturing a micro structure which can simply produce a composite pattern and a nested structure. According to the present invention provides a method for manufacturing a micro structure, with the following procedure, in first die first pattern on coating first light curable resin composition in a transparent substrate with the shading pattern in which the first transfer resin layer state, by first to first by the transfer mold resin layer irradiation active energy ray, thus forming a transfer first resin layer first pattern, in second die second pattern on coating second light curable resin composition in first curing resin layer obtained by second transfer resin layer state, using the shading pattern as a mask to be transferred second resin layer irradiation of active energy ray and the second was a part of the resin layer transfer region curing, forming the second curing resin with ladder shape contains low order and high order including the Ministry of At least one of the first patterns and the second pattern has a fine shape.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及采用压印技术的微细结构体的制造方法。
技术介绍
压印技术是将具有微细图案的模具向透明基材上的液态树脂等的树脂层按压由此将模具的图案转印于树脂层而获得微细结构体的微细加工技术。作为微细图案,存在从10nm数量级的纳米级别的图案到100μm左右的图案。所获得的微细结构体可以在半导体材料、光学材料、存储介质、微型机械、生物、环境等各种领域中使用。然而,作为形成于微细结构体的微细图案,具有复合图案、供微细形状嵌套的图案。在使用光刻·电子束光刻等现有技术来制作这种图案的情况下,考虑如下工序:通过描绘·蚀刻·清洗而制作1次图案,然后,通过描绘·蚀刻·清洗而在1次图案上形成2次图案。然而,工序非常长且复杂,对于制作高品质的模具来说所提条件非常严格。在专利文献1中,在1次图案上形成单粒子膜的蚀刻掩模,使用该掩模对1次图案进行蚀刻从而在1次图案表面形成2次图案。【
技术介绍
文献】【专利文献】专利文献1:日本特开2009-162831号公报
技术实现思路
【专利技术所要解决的问题】然而,在专利文献1的制造方法中,也难以使单粒子膜的赋予条件、蚀刻条件最佳化。本专利技术是鉴于上述情况而完成的,提供一种可以简单地制作复合图案、嵌套结构的微细结构体的制造方法。【解决问题的技术手段】根据本专利技术,提供一种微细结构体的制造方法,具备如下工序,在该工序中,在将第1模具的第1图案按压于在具有遮光图案的透明基材上涂敷第1光固化性树脂组合物而获得的第1被转印树脂层的状态下,通过第1模具向第1被转印树脂层照射活性能量射线,由此形成转印了第1图案的第1固化树脂层,在将第2模具 ...
【技术保护点】
一种微细结构体的制造方法,其特征在于,具备如下工序:在将第1模具的第1图案按压于在具有遮光图案的透明基材上涂敷第1光固化性树脂组合物而获得的第1被转印树脂层的状态下,透过第1模具向第1被转印树脂层照射活性能量射线,由此形成转印了第1图案的第1固化树脂层,在将第2模具的第2图案按压于在第1固化树脂层上涂敷第2光固化性树脂组合物而获得的第2被转印树脂层的状态下,使用所述遮光图案作为掩模向第2被转印树脂层照射活性能量射线而使第2被转印树脂层的一部分的区域固化,由此形成具有包含低阶部与高阶部在内的阶梯形状的第2固化树脂层,第1图案以及第2图案中的至少一方具有微细形状。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.07.25 JP 2014-1521901.一种微细结构体的制造方法,其特征在于,具备如下工序:在将第1模具的第1图案按压于在具有遮光图案的透明基材上涂敷第1光固化性树脂组合物而获得的第1被转印树脂层的状态下,透过第1模具向第1被转印树脂层照射活性能量射线,由此形成转印了第1图案的第1固化树脂层,在将第2模具的第2图案按压于在第1固化树脂层上涂敷第2光固化性树脂组合物而获得的第2被转印树脂层的状态下,使用所述遮光图案作为掩模向第2被转印树脂层照射活性能量射线而使第2被转印树脂层的一部分的区域固化,由此形成具有包含低阶部与高阶部在内的阶梯形状的第2固化树脂层,第1图案以及第2图案中的至少一方具有微细形状。2.根据权利要求1所述的微细结构体的制造方法,其特征在于,所述第1图案和第2图案双方具有微细形状,所述低阶部包...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。