用于移除位于壳体中的表面上的金属沉积物的方法技术

技术编号:15196276 阅读:52 留言:0更新日期:2017-04-21 03:00
本发明专利技术涉及用于移除位于壳体中的表面上的金属沉积物的方法。所述方法包括以下步骤:步骤a)氧化金属沉积物;步骤b)注入适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质,在步骤a)期间至少部分地实施所述步骤b)。所述移除方法的特征在于,在步骤b)中,根据脉冲序列注入化学物质。

Method for removing metal deposits on surfaces of a casing

The present invention relates to a method for removing metal deposits on the surface of a housing. The method comprises the following steps: (step a) oxidizing the metal deposits; step b) injecting at least part of the chemical substance that is suitable for the oxidation of the metal deposits during the step a) of the step B. The removal method is characterized in that, in step B, a chemical substance is injected into the pulse sequence.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及移除位于壳体中的表面上的金属沉积物的方法。
技术介绍
现有技术已知的移除壳体中的表面上的金属沉积物的方法包括以下步骤:步骤a)氧化金属沉积物;步骤b)注入适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质,在步骤a)的至少一部分期间实施所述步骤b)。然而,这种移除方法是不令人满意的。事实上,在氧化金属沉积物之前,适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质还与金属沉积物反应。由此阻碍步骤a)。因此,化学物质与金属沉积物的反应妨碍该移除方法,尤其不利地影响其有效性。特别地,当进行该移除方法以移除壳体中的表面上的铜(Cu)沉积物时,就是这种情况。步骤a)通常包括引入气态氧或气态臭氧。适于使铜氧化物挥发的化学物质包括六氟乙酰丙酮(hfacH)。当将其注入到壳体中时,在对铜进行氧化前,化学质物hfacH还与铜反应。于是阻碍氧化反应。因此,本专利技术的一个主题是提出用于移除金属沉积物的方法,使得能够限制能够阻碍所述方法的寄生反应。本专利技术的第一应用涉及清除沉积在沉积室内壁上的金属残留物。本专利技术的另一应用涉及制备印制电路,更具体地涉及蚀刻尤其用于填充通孔的金属层,该填充通孔是使印制电路的几个层之间能够电连接的金属化孔。通常,该通孔用金属如铜过量填充以确保该孔令人满意的填充。通过化学机械蚀刻的步骤移除过量的金属。阻挡层设置在印刷电路的衬底和金属沉积物层之间,以控制蚀刻厚度。化学机械蚀刻步骤需要使用阻挡层以确保非常精确地控制该方法,此外需要清洁蚀刻表面的后续操作,这是复杂且昂贵的。本专利技术的另一个主题是提出用于制备金属化通孔的方法,其是简单且低成本的。
技术实现思路
本专利技术旨在完全或部分地克服上述缺陷,涉及用于移除位于壳体中的表面上的金属沉积物的方法,所述方法包括以下步骤:步骤a)氧化金属沉积物;步骤b)注入能够使氧化的金属沉积物挥发的化学物质,在步骤a)的至少一部分期间实施所述步骤b);所述移除方法值得注意的是,在步骤b)中,根据脉冲序列注入化学物质。因此,根据脉冲序列,注入适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质使得能够避免寄生反应,寄生反应包括位于壳体中的表面上的金属沉积物与所述化学物质的反应。此外,根据脉冲序列,注入适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质还使得能够限制所述化学物质的量。根据一个实施方案,在步骤b)中,在两个连续脉冲的最新脉冲期间,以相对于所述两个连续脉冲之间氧化的金属沉积物的量亚化学计量的量注入化学物质。由此,能够限制能够使氧化的金属沉积物挥发的化学物质的消耗并因此限制移除沉积物的成本。根据一个实施方案,适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质的脉冲序列是周期性的。根据一个实施方案,脉冲序列的周期小于1秒。根据一个实施方案,壳体保持在20至250℃的温度,优选20至150℃。根据一个实施方案,通过注入氧化物质进行步骤a),该氧化物质包括以下物质中的至少一种:氧、臭氧、一氧化二氮。根据一个实施方案,步骤b)中注入的化学物质包括六氟乙酰丙酮。根据一个实施方案,金属沉积物包括以下元素中的至少一种:铜、钛、钽、钌、锌、锆、钒、银、金、铬。根据一个实施方案,在步骤a)开始后实施步骤b)的第一脉冲。根据一个实施方案,实施该方法以清除位于沉积室内壁上的金属残留物。根据一个实施方案,实施该方法以蚀刻在表面上过量沉积的金属沉积物。任选地,在步骤a)和步骤b)之前,将掩模以局部方式附在金属沉积物上。根据一个实施方案,该方法包括以下步骤:-将掩模附在待保留的金属沉积物的每个区域上;-实施步骤a)和步骤b)以移除在未被掩模覆盖的每个区域中的过量的金属沉积物。根据另一个实施方案,该方法包括以下步骤:-将掩模附在待蚀刻的金属沉积物的每个区域上;-注入适于钝化未被掩模覆盖的每个区域中的金属沉积物的化学物质;-移除掩模;-实施步骤a)和步骤b)以移除在被掩模预先覆盖的每个区域中的过量的金属沉积物。根据一个实施方案,根据需要多次重复步骤a)和步骤b)以移除过量的金属沉积物。附图说明参考附图,根据本专利技术的具体且非限制性的实施方案的以下说明会更好地理解本专利技术,其中:-图1是壳体的示意图;-图2(a)示出根据本专利技术的一个实施方案,根据时间注入到壳体中的氧化物质的量;-图2(b)示出根据本专利技术的一个实施方案,根据时间注入到壳体中的适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质的量,时间尺度与图2(a)相同;-图3(a)和3(b)是印刷电路的局部横截面,根据两个变化方案实施本专利技术的方法用于蚀刻在印刷电路衬底表面上过量沉积的金属沉积物。具体实施方式对于不同的实施方案,为了简化说明,对等同的或提供相同功能的元素会使用相同的附图标记。图1示出壳体1,支撑体5位于其中。在壳体1中的表面、即壳体1内壁上以及支撑体5上观察到不需要的金属沉积物2。金属沉积物2可以包括以下元素中的至少一种:铜、钛、钽、钌、锌、锆、钒、银、金、铬。用于移除壳体1中的表面上的金属沉积物2的方法包括氧化金属沉积物2的步骤a)。可以通过注射系统3注入气态形式的氧化物质来进行步骤a)。可以通过注入氧化物质进行步骤a),该氧化物质包括以下物质中的至少一种:氧、臭氧、一氧化二氮。如图2(a)所示,可以贯穿清除过程整个持续时间连续注入氧化物质。氧化物质可以以恒流注入。在注入氧化物质期间,金属沉积物2的氧化反应在其自由表面上发生。移除方法还包括注入适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质的步骤b),所述步骤b)在氧化过程期间至少部分地进行,但开始于步骤a)开始之后;然而,适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质同样可以充分地与金属沉积物2反应,从而钝化所述沉积物的暴露表面。这种金属沉积物2的钝化反应是寄生反应,其通过氧化物质限制或阻碍所述沉积物的任意氧化反应。为了避免这种寄生反应,在步骤(b)中,根据脉冲序列(如图2(b)所示),通过注射系统4注入适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质。虽然图2b所示的脉冲具有方波形状,但是可以想到其他形状的脉冲,条件是两个连续脉冲由时间间隔分隔开,在时间间隔期间不注入适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质。壳体1可以保持在20至250℃的温度,以使能够使金属沉积物挥发的化学物质保持气态形式。优选地,壳体1的温度保持在20至150℃的温度,更优选20至100℃。为了优化移除方法,从移除过程开始注入氧化物质以至少在其自由表面水平面氧化金属沉积物2。由此,氧化的金属沉积物的层覆盖金属沉积物2。有利地,在步骤a)开始之后实施步骤b)的第一脉冲。获知金属沉积物2的氧化动力学可能是有利的。金属沉积物2的氧化动力学取决于其性质和其形成条件,也取决于步骤a)的氧化条件。然而,经验性地确定金属沉积物2的氧化动力学在本领域技术人员的能力之内。在这方面,本领域技术人员可以参考文献:GuangwenZhou等人,J.Mater.Res.,第20卷,第7期(1684-1694),2005年7月。因此,在实施用于移除壳体中的表面上的金属沉积物2的方法之前,确定不同氧化条件的金属沉积物的氧化动力学并建立能够沉积在壳体1中的表面上的每种金属沉积物2的图表是有利的。然后,所述图表可以用于确定对于预定持续时间和在给定氧化条件下氧化的金属沉积物的量。因此,为了实施用于移除壳体1中的表面上的金属沉积物2的方法,使用所述图表使得能本文档来自技高网...
用于移除位于壳体中的表面上的金属沉积物的方法

【技术保护点】
一种用于移除位于壳体(1)中的表面(5)上的金属沉积物(2)的方法,所述方法包括以下步骤:步骤a)氧化金属沉积物(2);步骤b)注入能够使氧化的金属沉积物挥发的化学物质,在步骤a)的至少一部分期间实施所述步骤b);所述移除方法的特征在于,在步骤b)中,根据脉冲序列注入化学物质。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.07.24 FR 14571371.一种用于移除位于壳体(1)中的表面(5)上的金属沉积物(2)的方法,所述方法包括以下步骤:步骤a)氧化金属沉积物(2);步骤b)注入能够使氧化的金属沉积物挥发的化学物质,在步骤a)的至少一部分期间实施所述步骤b);所述移除方法的特征在于,在步骤b)中,根据脉冲序列注入化学物质。2.根据权利要求1所述的方法,其中,在步骤b)中,在两个连续脉冲的最新脉冲期间,以相对于所述两个连续脉冲之间氧化的金属沉积物的量亚化学计量的量注入所述化学物质。3.根据权利要求1或2所述的方法,其中注入的化学物质的脉冲序列是周期性的。4.根据权利要求3所述的方法,其中脉冲序列的周期小于1秒。5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法,其中所述壳体(1)保持在20至250℃的温度,优选20至150℃。6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其中通过注入氧化物质进行步骤a),所述氧化物质包括以下物质中的至少一种:氧、臭氧、一氧化二氮。7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法,其中步骤b)中注入的化学物质包括六氟乙酰丙酮。8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法,其中所述金属沉积物(2)包括以下元素中的至少一种:铜、钛、...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱利安·维蒂耶洛珍卢克·戴尔卡里法比安·皮亚拉特
申请(专利权)人:库伯斯股份有限公司
类型:发明
国别省市:法国;FR

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