具有保护覆盖物的基板载体系统技术方案

本文中公开的实施例一般涉及一种适于夹紧基板及可选地掩模的基板载体系统，该基板载体系统具有可移除的保护层的堆叠。在一个实施例中，提供基板载体系统，该基板载体系统包括基板载体主体，该基板载体主体具有设置于该基板载体主体的外部安装表面上的保护层堆叠。该基板载体主体被配置成被传输进出处理腔室。该保护层堆叠具有多个可移除的保护层，该多个可移除的保护层可视需要被移除，以暴露“新的”表面，以用于在其上夹持基板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
所公开的实施例通常涉及一种基板载体，且更具体地涉及一种具有适合用于垂直处理系统及其它处理系统中的保护覆盖物及集成静电夹盘的基板载体。
技术介绍
基板载体有时被用于将基板定位在基板处理系统中，所述基板处理系统被用于涂布建筑玻璃、制作太阳能面板、以及制作平面板及OLED显示器等。这些基板通常在尺寸上大于1平方米，并且因此，每个基板在处理的过程中对制造商而言都代表显著的投资。当搬运这些基板时，背侧划伤尤其是有问题的，因为划伤可提供基板破裂及碎裂的起始点，从而导致在处理基板的时间点上引发的实质上的投资损失。由于基板被固定至基板载体的基板支撑表面，因而必须考虑到防止划伤来设计和监测基板支撑表面的条件。具有硬的基板支撑表面的载体往往更倾向于划伤或以其它方式损坏基板。相反地，具有软的基板支撑表面的载体往往倾向于使碎片变得嵌入其中，而这随后变成潜在的划伤源。因此，对于确保好的制造良率来说，基板支撑表面的条件是重要的。因此，需要一种用于将基板固定至基板载体的改良设备及方法。
技术实现思路
本文中所公开的实施例一般涉及一种适于夹紧(clamp)基板及可选地掩模的基板载体系统，该基板载体系统具有可移除的保护层的堆叠。在一个实施例中，提供基板载体系统，该基板载体系统包括基板载体主体，该基板载体主体具有设置于该基板载体主体的外部安装表面上的保护层堆叠。该基板载体主体被配置成被传输进出处理腔室。该基板载体主体具有外部安装表面及电极组件。该电极组件包括多个横向间隔开的电极组。设置于该基板载体主体的外部安装表面上的保护层堆叠具有多个可移除的保护层。每个保护层粘附至该堆叠中的至少一个其它可移除的保护层。该多个可移除的保护层的最外部的层定义基板载体的基板支撑表面以用于在其上夹持基板。在另一实施例中，提供一种真空处理系统。该真空处理系统包括真空处理腔室、基板载体系统及传输机构。该基板载体系统包括基板载体主体，该基板载体主体具有外部安装表面及电极组件。该电极组件在被激励时可操作以将基板固定至基板载体系统。保护层堆叠耦接至基板载体主体的外部安装表面。该保护层堆叠具有多个可移除的保护层且定义基板载体系统的基板支撑表面。该传输机构可操作以将基板载体系统移动进出真空处理腔室同时维持外部安装表面的基本上垂直的取向。在又一实施例中，提供一种用于传送基板的方法。该方法可包括：从真空处理腔室移除基板载体系统；移除多个保护层中的外部保护层以暴露该多个保护层中的下面的保护层以定义未经利用的(virgin)基板支撑表面，该多个保护层构成设置于基板载体系统的外部安装表面上的保护层堆叠；将基板装载于该未经利用的基板支撑表面上；以及将设置于该未经利用的基板支撑表面上的基板传输到真空处理腔室中。附图说明为了能够详细理解以上公开的实施例的上述特征的方式，可通过参照下面的实施例进行以上所简要概述的更具体的描述，一些实施例在附图中示出。然而，应当注意，附图仅仅示出典型实施例，并且因此不应视为限制实施例的范围以排除其它等效实施例。图1A是具有可移除的层的保护层堆叠的基板载体系统的正视截面图。图1B是透过可移除的层的堆叠的基板载体系统的一部分的侧截面图。图1C是示出了与基板载体系统的电极组件的示例性电连接的框图。图1D是依照一个实施例的在分配系统中的基板载体系统的侧视示意截面图。图2A至2D示出了喷杆平移经过要根据一个实施例使用的电极组件的顺序。图3A及3B示出了要根据一个实施例使用的电极组件的两个操作状态。图4A及4B示出了要根据另一个实施例使用的电极组件的两个操作状态。图5A及5B示出了要根据另一个实施例使用的电极组件的两个操作状态。图6是用于传输基板载体系统上的基板的方法的工艺流程图。为了促进理解，已在可能的地方使用相同附图标记来指定各图所共有的相同元件。应构想到，在一个实施例中公开的元件可有利地用于其他实施例，而无需特定叙述。具体实施方式所公开的实施例一般涉及一种适于夹紧基板及可选地掩模的基板载体系统，该基板载体系统具有可移除的保护层的堆叠。该可移除的保护层的堆叠保护基板免受基板载体系统的影响，因而减少划伤或以其它方式损坏基板的可能性。由于这些保护层可单独地移除，因而一旦被损坏、磨损或污染，基板被支撑于其上的顶部保护层可被容易地移除，以暴露下面的保护层，该下面的保护层提供基板抵靠固定的未经利用的表面，而不必重新表面化(resurface)或以其它方式维修基板载体系统。虽然本文中所公开的基板载体系统特别适用于OLED制造，但基板载体系统也可有利地用于其中期望对将基板夹持至基板载体系统的改进的控制的平板显示器、太阳能电池、建筑玻璃或其它平面基板处理。图1A是具有保护层堆叠150的基板载体系统100的正视截面图。基板载体系统100可被用于承载基板10、且可选地掩模20通过处理系统50，如下面参照图1D进一步描述的。基板载体系统100包括基板载体主体110、电极组件135、支撑基底112、且可选地电源120及控制器160中的一个或多个。基板载体主体110包括保护层堆叠150被固定于其上的外部安装表面114。保护层堆叠150包括基板10在其上被固定至基板载体主体110的基板支撑表面152。在一些实施例中，电极组件135可被设置于基板载体主体110中或上。支撑基底112可被设置于基板载体主体110下方或背后，以支撑基板载体主体110及电极组件135。支撑基底112可包括用于加热及冷却的流体储存池或通道。支撑基底112相对于基板10可具有高的热质量，以防止固定至基板载体系统100的基板10的迅速温度波动。支撑基底112可由诸如铝之类的金属材料制成，且可在约1cm与约10cm厚之间，例如，约2.5cm厚。基板载体主体110且因此外部安装表面114，可由陶瓷材料制成。在一些实施例中，基板载体110主体和/或外部安装表面114可由聚合物制成。例如，基板载体主体110可由聚合物或聚合物片，诸如聚酰亚胺、聚醚醚酮、聚芳醚酮等制成。基板载体主体110及外部安装表面114可具有大致多边形形状，诸如方形或矩形形状。然而，构想的是，基板载体主体110的外部安装表面114可以替代地具有另一个形状，诸如圆形。外部安装表面114从基板载体主体110的顶部136延伸至底部115。外部安装表面114完全地覆盖电极组件135。外部安装表面114提供保护层堆叠150被固定于其上的表面。在图1A中，保护层堆叠150的一部分被切去以示出下面的外部安装表面114的各部分，同时保护层堆叠150下面的外部安装表面114的一部分被切去以示出下面的电极组件135的各部分。图1B是透过保护层堆叠150的基板载体系统100的一部分的截面图。保护层堆叠150包括多个可移除的保护层，统称为保护层154。虽然在图1B中五个保护层被示为1541至1545，但可利用任意合适数量的保护层154。例如，保护层堆叠150可包括2个与约50个之间的保护层154，诸如介于2个与约50个之间的保护层154。保护层堆叠150的底部保护层154，在图1B中被示为保护层1541，被固定于基板载体主体110的外部安装表面114。被暴露于环境且在图1B中被示为保护层1545的最外部保护层154定义基板支撑表面152，基板10被夹持于该基板支撑表面152本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板载体系统，包括：基板载体主体，配置成被传输进出处理腔室，所述基板载体主体具有外部安装表面及电极组件，所述电极组件包括多个横向间隔开的电极组；以及保护层堆叠，设置于所述基板载体主体的外部安装表面上，所述保护层堆叠包括多个可移除的保护层，每个可移除的保护层粘附至所述堆叠中的至少一个其它可移除的保护层，所述多个可移除的保护层的最外部的层定义所述基板载体的基板支撑表面以用于在其上夹持基板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.05.09 US 61/991,3501.一种基板载体系统，包括：基板载体主体，配置成被传输进出处理腔室，所述基板载体主体具有外部安装表面及电极组件，所述电极组件包括多个横向间隔开的电极组；以及保护层堆叠，设置于所述基板载体主体的外部安装表面上，所述保护层堆叠包括多个可移除的保护层，每个可移除的保护层粘附至所述堆叠中的至少一个其它可移除的保护层，所述多个可移除的保护层的最外部的层定义所述基板载体的基板支撑表面以用于在其上夹持基板。2.如权利要求1所述的基板载体系统，其中所述基板载体主体是静电夹盘。3.如权利要求2所述的基板载体系统，其中至少一组电极包括：与第二电极交错的第一电极。4.如权利要求1所述的基板载体系统，其中所述基板载体主体是电磁体。5.如权利要求1所述的基板载体系统，其中所述保护层中的至少一者是由聚酰亚胺、聚酯、聚醚醚酮、聚芳醚酮制成。6.如权利要求1所述的基板载体系统，其中每个可移除的保护层包括磨损指示器。7.如权利要求1所述的基板载体系统，进一步包括设置于每个可移除的保护层之间的粘合层。8.如权利要求1所述的基板载体系统，其中所述保护层堆叠具有介于2个与约15个之间的可移除的保护层。9.如权利要求7所述的基板载体系统，其中至少一个可移除的保护层的底部被处理以使所述粘合层相对于这些保护层中的相邻保护层优先地粘附至...

【专利技术属性】
技术研发人员：王作乾，J·M·怀特，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US