一种用于真空辊道的在线测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术创造提供一种用于真空辊道的在线测量装置，包括端轴、壳体以及旋转轴承；所述端轴一侧与真空辊道的轴头固定连接，另一端设有深入所述壳体内的凸起；所述壳体中央设有供所述端轴的凸起通过的壳孔，所述旋转轴承的外套固定于所述壳体内部，且所述旋转轴承的内套与深入所述壳体内的端轴的凸起固定连接；其中，所述端轴、壳体以及旋转轴承均由导体材料制成，所述壳体连接有测量引线。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术创造属于玻璃深加工设备
，具体涉及一种用于玻璃镀膜设备的真空腔室内旋转辊道绝缘的在线监测装置。
技术介绍
玻璃深加工
中镀膜设备生产大板玻璃时普遍存在玻璃表面的放电现象。玻璃镀膜后表面出现放电现象会造成镀膜玻璃的报废。在镀膜设备中银靶辊道的绝缘失效是造成大板玻璃表面产生放电的原因之一。通常的状态下，当大板玻璃出现放电时，由于辊道处于真空腔室中，无法对旋转的辊道绝缘进行测量，无法判断玻璃的放电是否由于银靶辊道绝缘失效造成。辊道的绝缘测量只有在设备换靶检修时真空室回气后，在大气状态下进行测量。这样种情况下，一方面无法实时获得玻璃放电与银靶辊道绝缘失效的关联情况，线下测量具有滞后性，从而获得指导性解决方案；另一方面，真空室回气严重影响生产稳定性，测试后投入生产时还需反复进行调试，降低生产效率。
技术实现思路
本专利技术创造为解决现有技术中的问题，提供了一种用于真空辊道的在线测量装置，能够在连续生产时对镀膜设备中的传动辊道绝缘进行在线测量，将连续生产时旋转辊道的绝缘情况实时的反映出来。本专利技术创造提供的一种用于真空辊道的在线测量装置，包括端轴、壳体以及旋转轴承；所述端轴一侧与真空辊道的轴头固定连接，另一端设有深入所述壳体内的凸起；所述壳体中央设有供所述端轴的凸起通过的壳孔，所述旋转轴承的外套固定于所述壳体内部，且所述旋转轴承的内套与深入所述壳体内的端轴的凸起固定连接；其中，所述端轴、壳体以及旋转轴承均由导体材料(如金属)制成，所述壳体连接有测量引线。进一步，所述端轴与真空辊道的轴头以插接的方式固定连接，所述端轴上设有供真空辊道的轴头插入的插槽，优选的，所述插槽与真空辊道的轴头过盈配合连接。进一步，作为所述端轴与真空辊道的轴头的另一种连接方式，所述端轴上设有若干顶丝孔，真空辊道的轴头通过穿过所述顶丝孔的顶丝固定于所述端轴内。更进一步，所述顶丝孔与顶丝优选为3个，互成120°角均布于所述端轴上。进一步，所述旋转轴承靠近所述真空辊道的一侧与所述壳体内部抵接。进一步，所述端轴的凸起上与所述旋转轴承的远离所述真空辊道的一侧相邻的位置上还固定有挡圈，用于使旋转轴承更好地定位。更进一步，所述端轴的凸起上还设有供所述挡圈安装或定位的环槽。进一步，所述壳体后端还设有盖体，能够起到防护作用，防止真空腔室内部的溅射物进入旋转轴承内部造成旋转连接部分异常损坏。更进一步，所述盖体上还设有盖环，所述盖体盖合时，所述盖环的自由端与所述旋转轴承的远离所述真空辊道的一侧邻接，一方面，所述盖环能够实现所述盖体与壳体的插接连接，另一方面，所述盖环能够对所述旋转轴承起到辅助定位的作用。进一步，作为所述盖体与壳体的附加的或另一种连接方式，所述盖体上设有若干带螺纹的盖孔，所述壳体上设有与所述盖孔位置相对应的若干带螺纹的连接孔，所述盖体与壳体通过分别穿过所述盖孔和连接孔的螺钉进行附加的或单独的固定连接。优选的，所述盖孔和连接孔的数量各为3个，互成120°角分别均布于所述盖体和壳体上。本专利技术创造的有益效果是：能够在连续生产时对镀膜设备中的传动辊道绝缘进行在线测量，将连续生产时旋转辊道的绝缘情况实时的反映出来，一方面能够协助分析生产时玻璃放电的原因，为解决大板玻璃的放电及时提供可靠的依据，另一方面减少了回气状态下检测连续旋转银靶辊道绝缘性的繁琐操作，有利于稳定生产、提高效率。附图说明图1是本专利技术创造一种结构示意图；图2是图1的分解图；图3是本专利技术创造另一种结构示意图；图4是图3的分解图；图5是本专利技术创造安装使用状态示意图。其中，1-端轴；11-插槽；12-凸起；13-环槽；14-顶丝孔；15-顶丝；2-壳体；21-壳孔；22-连接孔；3-旋转轴承；31-外套；32-内套；4-真空辊道；41-轴头；5-测量引线；6-挡圈；7-盖体；71-盖环；72-盖孔；73-螺钉；8-真空腔室；81-真空接头；9-测量仪表。具体实施方式下面通过结合附图对本专利技术创造进行进一步说明。下面的实施例中描述的具体方案仅是为了说明本专利技术创造的内容，并不用于对本专利技术创造的限定。为叙述方便，在实施例的描述中省略了其他非必要的或常规的过程或结构描述，如真空腔室的具体结构及测量引线引出真空腔室的方式方法等，这些条件被认为是本领域技术人员容易调试并获知的。本专利技术创造一种结构示意图如图1-2所示，包括端轴1、壳体2以及旋转轴承3。所述端轴1一侧与真空辊道4的轴头41以插接的方式过盈配合固定连接，另一端设有深入所述壳体2内的凸起12。所述壳体2中央设有供所述端轴1的凸起12通过的壳孔21。所述旋转轴承3的外套31固定于所述壳体2内部，且其靠近所述真空辊道4的一侧与所述壳体2内部抵接。所述旋转轴承3的内套32与深入所述壳体2内的端轴1的凸起12固定连接。其中，所述端轴1、壳体2以及旋转轴承3均由导体材料(如金属)制成，所述壳体2连接有测量引线5。所述端轴1的凸起12上与所述旋转轴承3的远离所述真空辊道4的一侧相邻的位置上还固定有挡圈6，用于使旋转轴承更好地定位，所述端轴1的凸起12上还设有供所述挡圈6安装或定位的环槽13。所述壳体2后端还设有盖体7，能够起到防护作用，防止真空腔室8内部的溅射物进入旋转轴承3内部造成旋转连接部分异常损坏。所述盖体7上还设有盖环71，所述盖体7盖合时，所述盖环71的自由端与所述旋转轴承3的远离所述真空辊道4的一侧邻接，一方面，所述盖环71能够实现所述盖体7与壳体2的插接连接，另一方面，所述盖环71能够对所述旋转轴承3起到辅助定位的作用。其中，如图3-4所示，作为所述端轴1与真空辊道4的轴头41的另一种连接方式，所述端轴1上设有若干顶丝孔14，真空辊道4的轴头41通过穿过所述顶丝孔14的顶丝15固定于所述端轴1内。更进一步，所述顶丝孔14与顶丝15优选为3个，互成120°角均布于所述端轴1上。作为所述盖体7与壳体2的附加的或另一种连接方式，所述盖体7上设有若干带螺纹的盖孔72，所述壳体2上设有与所述盖孔72位置相对应的若干带螺纹的连接孔22，所述盖体7与壳体2通过分别穿过所述盖孔72和连接孔22的螺钉73进行附加的或单独的固定连接。优选的，所述盖孔72和连接孔22的数量各为3个，互成120°角分别均布于所述盖体7和壳体2上。本专利技术创造的简要工作方式如下。如图5所示，将本专利技术创造按照图1组装好，并安装于真空腔室8内真空辊道4的轴头41上，将测量引线5自预先设置于真空腔室8侧壁上的真空接头81引本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空辊道的在线测量装置，包括端轴、壳体以及旋转轴承；所述端轴一侧与真空辊道的轴头固定连接，另一端设有深入所述壳体内的凸起；所述壳体中央设有供所述端轴的凸起通过的壳孔，所述旋转轴承的外套固定于所述壳体内部，且所述旋转轴承的内套与深入所述壳体内的端轴的凸起固定连接；其中，所述端轴、壳体以及旋转轴承均由导体材料制成，所述壳体连接有测量引线。

【技术特征摘要】
1.一种用于真空辊道的在线测量装置，包括端轴、壳体以及旋转轴承；所述端轴一
侧与真空辊道的轴头固定连接，另一端设有深入所述壳体内的凸起；所述壳体中央设有
供所述端轴的凸起通过的壳孔，所述旋转轴承的外套固定于所述壳体内部，且所述旋转
轴承的内套与深入所述壳体内的端轴的凸起固定连接；其中，所述端轴、壳体以及旋转
轴承均由导体材料制成，所述壳体连接有测量引线。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空辊道的在线测量装置，其特征在于，所述端
轴与真空辊道的轴头以插接的方式固定连接，所述端轴上设有供真空辊道的轴头插入的
插槽。
3.根据权利要求2所述的一种用于真空辊道的在线测量装置，其特征在于，所述插
槽与真空辊道的轴头过盈配合或通过顶丝连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于真空辊道的在线测量装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐士新，李阳，宁超，
申请(专利权)人：天津南玻节能玻璃有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12