OLED显示屏真空干膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种OLED显示屏真空干膜装置，其包括：箱体；冷热板，其固定安装于箱体内，冷热板还连接冷却加热源；第一真空泵，其安装于箱体的顶部，从箱体的顶部对箱体的内部抽真空；第二真空泵，其相对第一真空泵安装于箱体的底部，从箱体的底部对箱体的内部抽真空。本实用新型专利技术可以使得OLED的湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂被有效地去除掉，有效地解决了OLED湿法工艺中的干燥处理问题，从而提高生产效率、降低生产成本，使工业界突破大尺寸OLED显示成为可能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及OLED显示
，具体涉及一种OLED显示屏真空干膜装置。
技术介绍
有机电致发光显示(OLED)技术快速发展，给显示界带来巨大冲击，然而显示技术一直停留在小尺寸显示屏，而大尺寸显示屏成本一直无法降下来去和液晶显示去竞争，从而更快的走入寻常百姓家中。现在打印和印刷技术被科学界公认为降低大尺寸OLED显示屏的最佳途径，所以工业界纷纷研究大尺寸OLED打印及印刷技术及工艺，而打印及印刷工艺与传统技术除了把蒸镀工艺改为打印或印刷，还有因为打印及印刷这样湿法工艺而带来的干燥处理问题，这种干燥处理就是把湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂去除掉，但是目前的加工技术中，对于如何去除这种溶剂，尚没有较佳的处理技术。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供了一种可以有效地去除湿法工艺中墨水或者浆料而引入的溶剂的OLED显示屏真空干膜装置。为了达到上述目的，本技术的技术方案如下：OLED显示屏真空干膜装置，其包括：箱体；冷热板，其固定安装于箱体内，冷热板还连接冷却加热源；第一真空泵，其安装于箱体的顶部，从箱体的顶部对箱体的内部抽真空；第二真空泵，其相对第一真空泵安装于箱体的底部，从箱体的底部对箱体的内部抽真空。本技术通过在箱体的顶部和底部分别设置第一真空泵和第二真空泵，并在箱体内固定设置冷热板，使用时，将样品放在冷热板<br>上，关好箱体，冷热板快速加热，第一真空泵粗抽，到达一定真空度，然后启动第二真空泵抽到极限真空，然后冷热板快速冷却样品，补气平衡，取出样品，由此使得OLED的湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂被有效地去除掉，有效地解决了OLED湿法工艺中的干燥处理问题，从而提高生产效率、降低生产成本，使工业界突破大尺寸OLED显示成为可能。在上述技术方案的基础上，本技术还可以作如下改进：作为优选的方案，上述的箱体上连接第一真空泵的部分上设置有真空度调节器。采用上述优选的方案，可以实现对第一真空泵的抽速和真空度大小的调节。作为优选的方案，上述的箱体的顶部设置有真空室，第一真空泵连通真空室。采用上述优选的方案，可以实现在箱体的顶部预抽真空。作为优选的方案，上述的真空室上还设置有加速腔室。采用上述优选的方案，在同等真空泵配置情况下可以加快预抽真空速度大于40％。作为优选的方案，上述的真空室呈上窄下宽的结构。采用上述优选的方案，可使的抽力到达真空室下部分散均匀。作为优选的方案，上述的真空室内设置有抽力分散单元，用于分散真空室内所形成的抽力。采用上述优选的方案，可以解决真空接口到真空室体积由小突然变大引起的抽力分散不均问题，使得设备水平面上抽力分布均匀大小一致，提高批次稳定性与成品率，从而降低生产成本。作为优选的方案，上述的抽力分散单元包括多块由上至下依次设置的板体，该板体上开设有多个通孔。采用上述优选的方案，可以进一步地使得设备水平面上抽力分布均匀大小一致。作为优选的方案，上述的板体之间还设置膜层。采用上述优选的方案，可以进一步地使得设备水平面上抽力分布均匀大小一致。作为优选的方案，上述的冷热板的周围设置剖面呈有U形的导向板。采用上述优选的方案，可以辅助抽力均匀向上，抽力均匀的优点就是膜干燥的均匀，一致性好，批次稳定型好，自然成品率就高，成本自然就降低。作为优选的方案，上述的冷热板的底部还设置有连通箱体外部的补气口。采用上述优选的方案，可以通过微量补气辅助控制真空度及加快干燥过程。附图说明图1为本技术的OLED显示屏真空干膜装置的结构示意图。图2为本技术的OLED显示屏真空干膜装置中的抽力分散单元的结构示意图。其中，1.箱体11.冷热板12.真空壁13.真空室14.加速腔室15.导向板16.补气口2.第一真空泵21.真空度调节器3.第二真空泵4.抽力分散单元41.板体42.膜层。具体实施方式下面结合附图详细说明本技术的优选实施方式。为了达到本技术的目的，如图1所示，在本技术的OLED显示屏真空干膜装置的其中一些实施方式中，其包括：箱体1；冷热板11，其固定安装于箱体1内，冷热板11还连接冷却加热源(未示出)；第一真空泵2，其安装于箱体1的顶部，从箱体1的顶部对箱体1的内部抽真空；第二真空泵3，其相对第一真空泵2安装于箱体1的底部，从箱体1的底部对箱体1的内部抽真空。其中，第一真空泵2具体可以为前级泵，第二真空泵3具体可以是高真空分子泵、冷泵或者扩散泵。同时，箱体1内设置的真空壁12，其具有加热冷却功能，可以在前级预抽时通过冷却加热方式改善抽速。本实施例的OLED显示屏真空干膜装置通过在箱体的顶部和底部分别设置第一真空泵和第二真空泵，并在箱体内固定设置冷热板，使用时，将样品放在冷热板上，关好箱体，冷热板快速加热，第一真空泵粗抽，到达一定真空度，然后启动第二真空泵抽到极限真空，然后冷热板快速冷却样品，补气平衡，取出样品，由此使得OLED的湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂被有效地去除掉，有效地解决了OLED湿法工艺中的干燥处理问题，从而提高生产效率、降低生产成本。为了进一步地优化本技术的实施效果，如图1所示，在本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的另一些实施方式中，在上述内容的基础上，上述的箱体1上连接第一真空泵2的部分上设置有真空度调节器21。采用该实施方式的方案，可以实现对第一真空泵的抽速和真空度大小的调节。为了进一步地优化本技术的实施效果，如图1所示，在本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的另一些实施方式中，上述的箱体1的顶部设置有真空室13，第一真空泵2连通真空室13。(真空室13其实通过抽力分散单元4是连通的)采用该实施方式的方案，可以实现在箱体的顶部预抽真空。为了进一步地优化本技术的实施效果，如图1所示，在本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的另一些实施方式中，上述的真空室13上还设置有加速腔室14。采用上述优选的方案，在同等真空泵配置情况下可以加快预抽真空速度大于40％。同时，加速腔室通过阀门与真空室相连，加速腔室提前抽好真空，真空室预抽前先打开加速腔室与其之间的阀门，利用加速腔室真空先快速抽掉一部本文档来自技高网...

【技术保护点】
OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，包括：箱体；冷热板，其固定安装于所述箱体内，所述冷热板还连接冷却加热源；第一真空泵，其安装于所述箱体的顶部，从所述箱体的顶部对所述箱体的内部抽真空；第二真空泵，其相对所述第一真空泵安装于所述箱体的底部，从所述箱体的底部对所述箱体的内部抽真空。

【技术特征摘要】
1.OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，包括：
箱体；
冷热板，其固定安装于所述箱体内，所述冷热板还连接冷却加热源；
第一真空泵，其安装于所述箱体的顶部，从所述箱体的顶部对所述
箱体的内部抽真空；
第二真空泵，其相对所述第一真空泵安装于所述箱体的底部，从所
述箱体的底部对所述箱体的内部抽真空。
2.根据权利要求1所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，
所述箱体上连接所述第一真空泵的部分上设置有真空度调节器。
3.根据权利要求1或2所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征
在于，所述箱体的顶部设置有真空室，所述第一真空泵连通所述真空室。
4.根据权利要求3所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，
所述真空室上还设置有加速腔室。
5.根据权利要求3所述的O...

【专利技术属性】
技术研发人员：李春风，吴聪原，
申请(专利权)人：威格气体纯化科技苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32