动态追踪的MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术涉及一种声音信号处理技术领域，尤其涉及一种动态追踪的MEMS麦克风及动态追踪方法。通过一个检测装置实施检测采集信号，并将采集信号与阈值信号做比较，当采集信号不匹配阈值信号的状态下，输出一控制信号，极化装置于控制信号的作用下调整振膜的极化电压，当极化电压发生变化后，其振膜的灵敏度就相应发生变化，避免出现振膜相互连接的状态，提高麦克风输出的音质。本申请一方面可以保护麦克风的振膜，另一方面还有效避免出现“刺耳”声音的输出。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种声音信号处理
，尤其涉及一种动态追踪的MEMS麦克风。
技术介绍
极化电压，加在传声振膜和极板之间的直流电压。极化电压的大小会直接影响检测器的灵敏度。对于MEMS麦克风而言，极化电压每提高1V，其MEMS麦克分的灵敏度则提高10db～20db，灵敏度越高，其MEMS麦克风的传声振膜随之声压的振动幅度就越明显，灵敏度较高的MEMS麦克风适用于采集微弱的声音，而对于声压较高的声音，采用此种麦克风则容易出现振膜连接现象，因声音较高，振膜的振动幅度较高，大大缩小了一对振膜之间的相对距离，当振膜之间的相对距离无限小时，就出现了振膜连接现象，进而导致麦克风无法准确采集声音。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供一种可实时调整麦克风灵敏度的动态追踪的MEMS麦克风。本技术的技术目的通过以下技术手段实现：一种动态追踪的MEMS麦克风，其中，包括：一采集装置，所述采集装置上设置有一对相互平行的振膜；用以形成一采集信号输出；一检测装置，预制有阈值信号，用以接收所述采集信号，并根据所述采集信号和所述阈值信号形成一控制信号输出；一极化装置，用以于所述控制信号的作用下对所述振膜提供一极化电压以调整所述振膜的灵敏度。优选地，上述的动态追踪的MEMS麦克风，其中，所述阈值信号包括第一阈值信号和第二阈值信号；于所述采集信号大于第一阈值信号的状态下，所述检测装置输出第一控制信号，所述极化装置于所述第一控制信号的作用下降低所述极化电压；于所述采集信号小于第二阈值信号的状态下，所述检测装置输出第二控制信号，所述极化装置于所述第二控制信号的作用下提高所述极化电压。优选地，上述的动态追踪的MEMS麦克风，其中，所述第一阈值信号大于所述第二阈值信号，于所述采集信号大于所述第一阈值信号且输出所述第一控制信号后，所述检测装置再判断所述采集信号是否大于所述第二阈值信号。优选地，上述的动态追踪的MEMS麦克风，其中，所述第一阈值信号为140db，所述第二阈值信号为135db。优选地，上述的动态追踪的MEMS麦克风，其中，所述检测装置为RMS检测器。与现有技术相比，本技术的优点是：通过一个检测装置实施检测采集信号，并将采集信号与阈值信号做比较，当采集信号不匹配阈值信号的状态下，输出一控制信号，极化装置于控制信号的作用下调整振膜的极化电压，当极化电压发生变化后，其振膜的灵敏度就相应发生变化，避免出现振膜相互连接的状态，提高麦克风输出的音质。本申请一方面可以保护麦克风的振膜，另一方面还有效避免出现“刺耳”声音的输出。本申请还可以避免出现“刺耳”声音的输出，当麦克风所处环境的声音急剧上升的过程中，当采集声音信号第一次高幅度的声音信号时，实时降低振膜的灵敏度，麦克风输出的声音信号幅度被降低，进而保证了麦克风输出的声音信号不随着环境声音的急剧上升而上升，提供了用户的体验感。附图说明图1为本技术中动态追踪的MEMS麦克风结构示意图；图2为本技术中基于动态追踪的MEMS麦克风的灵敏度曲线图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。如图1所示，一种动态追踪的MEMS麦克风，其中，包括：一采集装置，所述采集装置上设置有一对相互平行的振膜；用以形成一采集信号输出；一检测装置，预制有阈值信号，用以接收所述采集信号，并根据所述采集信号和所述阈值信号形成一控制信号输出；一极化装置，用以于所述控制信号的作用下对所述振膜提供一极化电压以调整所述振膜的灵敏度。本技术的工作原理是：通过一个检测装置实施检测采集信号，并将采集信号与阈值信号做比较，当采集信号不匹配阈值信号的状态下，输出一控制信号，极化装置于控制信号的作用下调整振膜的极化电压，当极化电压发生变化后，其振膜的灵敏度就相应发生变化，避免出现振膜相互连接的状态，提高麦克风输出的音质。本申请一方面可以保护麦克风的振膜，另一方面还有效避免出现“刺耳”声音的输出。本申请还可以避免出现“刺耳”声音的输出，当麦克风所处环境的声音急剧上升的过程中，当采集声音信号第一次高幅度的声音信号时，实时降低振膜的灵敏度，麦克风输出的声音信号幅度被降低，进而保证了麦克风输出的声音信号不随着环境声音的急剧上升而上升，提供了用户的体验感。列举一具体实施例，如图2所述，当采集信号在低于阈值信号(假设阈值信号为135db)的状态下，麦克风的灵敏度为以固定斜率上升，当采集信号超过阈值信号的状态下，极化装置降低振膜的极化电压，进而使得麦克风的灵敏度降低，不再继续以一固定斜率上升。此种状态下，振膜的灵敏度降低，使得麦克风在采集高幅度信号时，振膜的振动幅度降低，进而能够继续采集声音信号。作为进一步优选实施方案，上述的动态追踪的MEMS麦克风，其中，所述阈值信号包括第一阈值信号和第二阈值信号。于所述采集信号大于第一阈值信号的状态下，所述检测装置输出第一控制信号，所述极化装置于所述第一控制信号的作用下降低所述极化电压。于所述采集信号小于第二阈值信号的状态下，所述检测装置输出第二控制信号，所述极化装置于所述第二控制信号的作用下提高所述极化电压。采用双阈值信号的检测方法，避免在采集高幅度信号的过程中，灵敏度一直处于波动的状态，继续以图2为例，当仅仅只有一个阈值信号(阈值信号为135db)，当振膜的灵敏度降低后，其采集声音幅度与实际声音幅度之间会出现一个差值(例如实际声音为140db，因振膜灵敏度降低，采集信号的幅度为132db)，当采集信号低于阈值信号的状态下，采用单一阈值的方法下，极化电压必然被重新调整，即灵敏度被重新调整，当灵敏度提高之后，采集声音幅度与实际声音幅度之间的差值缩小，(例如，灵敏度调整之前两者之间相差8db，灵敏度调整之后两者之间相差2d本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种动态追踪的MEMS麦克风，其特征在于，包括：一采集装置，所述采集装置上设置有一对相互平行的振膜；用以形成一采集信号输出；一检测装置，预制有阈值信号，用以接收所述采集信号，并根据所述采集信号和所述阈值信号形成一控制信号输出；一极化装置，用以于所述控制信号的作用下对所述振膜提供一极化电压以调整所述振膜的灵敏度。

【技术特征摘要】
1.一种动态追踪的MEMS麦克风，其特征在于，包括：
一采集装置，所述采集装置上设置有一对相互平行的振膜；用以形成一采
集信号输出；
一检测装置，预制有阈值信号，用以接收所述采集信号，并根据所述采集
信号和所述阈值信号形成一控制信号输出；
一极化装置，用以于所述控制信号的作用下对所述振膜提供一极化电压以
调整所述振膜的灵敏度。
2.根据权利要求1所述的动态追踪的MEMS麦克风，其特征在于，所述阈
值信号包括第一阈值信号和第二阈值信号；
于所述采集信号大于第一阈值信号的状态下，所述检测装置输出第一控制
信号，所述极化装置于所述第一控制信号的作用下降低所述极化电压；
于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶菁华，
申请(专利权)人：钰太芯微电子科技上海有限公司，钰太科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31