流体控制装置(100)具备压电泵(10)和阀(101)。阀(101)具备第二阀壳体(192)、第二密封件(152)、隔膜(120)、第一密封件(151)以及第一阀壳体(191)，并具有将它们依次层叠的构造。第一阀壳体(191)具有第二通气孔(112)、第三通气孔(113)、阀座(139)以及六个开口部(182)。第二阀壳体(192)具有第一通气孔(110)、第一通气孔(111)、阀座(138)、以及六个第一突出部(180)。并且，第二阀壳体(192)具有从X轴方向俯视观察时位于比六个第一突出部(180)更靠周边侧的六个第二突出部(181)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术设及防止流体的逆流的阀、W及具备该阀的流体控制装置。
技术介绍
专利文献1中公开了具备阀的流体控制装置。 该流体控制装置具备压电累和阀。通过使压电累的上表面与阀的底面接合，由此 将阀与压电累连接。 在阀设置有与袖套(cuff)的腕带橡胶管连通的袖套连接口。袖套的腕带橡胶管安 装于阀的袖套连接口，流体控制装置连接于袖套。 阀具备第二阀壳体、由长方形的薄膜构成的隔膜、W及第一阀壳体，具有将它们依 次层叠的构造。 专利文献1:国际公开第2012/141113号公报 专利文献1的阀为了使空气不从阀内部泄漏，优选在第二阀壳体与隔膜之间，W及 在隔膜与第一阀壳体之间确保密封性。[000引因此，本申请的专利技术人经研究，结果设计出具有如下所示的构造的阀。 图10是表示第一比较例的流体控制装置900的主要部分的剖视图。图11是图10所 示的阀901的分解立体图。图12是图10所示的阀901的主要部分的剖视图。在图11和图12中 记载有Z轴方向、Y轴方向W及X轴方向。 此外，对各部位的详细情况均在之后进行叙述，Z轴方向表示构成阀901的部件的 层叠方向。X轴方向表示止回阀160、连通路135W及排气阀170的配设方向。Y轴方向表示相 对于Z轴方向W及X轴方向垂直的方向。 如图IOW及图11所示，阀901具备第二阀壳体192、由长方形的薄膜构成的第二密 封件952、由长方形的薄膜构成的隔膜920、由长方形的薄膜构成的第一密封件951、W及第 一阀壳体191，阀901具有将它们依次层叠的构造。 如图IOW及图11所示，第一阀壳体191具有与袖套109连通的第二通气孔112、与流 体控制装置100外部连通的第=通气孔113、从第=通气孔113的周围朝隔膜920侧突出的阀 座139、W及六个开口部182。阀座139是在中央部具有第=通气孔113的圆筒形状。如图IOW及图11所示，在第二阀壳体192的底面粘合有压电累10的上表面。如图10 W及图11所示，第二阀壳体192具有与压电累10的排出孔56连通的第一通气孔110、与压电 累10的排出孔55连通的第一通气孔111、朝隔膜920侧突出的圆柱状的阀座138、W及与六个 开口部182对置的六个第一突出部180。 如图10 W及图11所示，在隔膜920,且在与阀座138对置的区域的中屯、部设置有圆 形的孔部121。孔部121的直径设置为比与隔膜920抵接的阀座138的面的直径小。 隔膜920被第一阀壳体191W及第二阀壳体192夹持，并且W与阀座139接触且孔部 121的周围与阀座138接触的方式被固定于第一阀壳体191W及第二阀壳体192。阀座138 W 对隔膜920的孔部121的周围给予压力的方式而设置于第二阀壳体192。 由此，隔膜920对第一阀壳体191W及第二阀壳体192内进行分割。隔膜920与第一 阀壳体191W及第二阀壳体192共同构成止回阀160,其中，止回阀160具有与第一通气孔111 连通的环状的第一下阀室131W及经由连通路135与第二通气孔112连通的圆柱状的第一上 阀室133。 另外，隔膜920与第一阀壳体191W及第二阀壳体192共同构成排气阀170,其中，排 气阀170具有与第一通气孔110连通的圆柱状的第二下阀室132W及经由连通路135与第一 上阀室133连通的环状的第二上阀室134。各个阀室的形状是在垂直于隔膜920的方向俯视 观察时的形状。止回阀160、连通路135W及排气阀170沿着X轴方向配设。 第一阀壳体191的六个开口部182在X轴方向俯视下设置于比第一下阀室131W及 第二下阀室132更靠周边侧的位置。关于六个开口部182,其中=个开口部182沿着X轴方向 配设。其他=个开口部182在隔着第一下阀室131W及第二下阀室132而位于与W上=个开 口部182相反的一侧，并W与W上=个开口部182并列的方式沿着X轴方向配设。 第二阀壳体192的六个第一突出部180在X轴方向俯视下设置于比第一上阀室133 W及第二上阀室134更靠周边侧的位置。六个第一突出部180W与六个开口部182对置的方 式配设。 在第一密封件951，且在面对第一上阀室133、连通路135W及第二上阀室134的区 域设置有第二贯通孔156A~156C。第二贯通孔156A例如是中屯、轴与第一上阀室133大致相 同的圆形状。第二贯通孔156B例如是中屯、轴与第二上阀室134大致相同的圆形状。 接下来，在第二密封件952,且在面对第一下阀室131W及第二下阀室132的区域设 置有第一贯通孔155A~155B。第一贯通孔155A例如是中屯、轴与第一下阀室131大致相同的 圆形状。第一贯通孔155B例如是中屯、轴与第二下阀室132大致相同的圆形状。 接下来，对阀901的制造方法进行说明。首先，将第二阀壳体192、第二密封件952、 隔膜920、第一密封件951、W及第一阀壳体191层叠，使六个第一突出部180与六个开口部 182嵌合。由此，隔膜920经由第一密封件951W及第二密封件952被第一阀壳体191W及第二 阀壳体192夹持。 接下来，将由第二阀壳体192、第二密封件952、隔膜920、第一密封件951W及第一 阀壳体191所构成的层叠体载置于台S上（参照图12)，对六个第一突出部180的前端部进行 热馴接。由此，六个第一突出部180的前端部被压塌，从而得到阀901。 对于W上那样的阀901，谋求进一步的低成本化。特别是隔膜920需要使用可靠性 非常高的材料，因此运成为阀901的制造成本高的一个因素。 因此本申请的专利技术人设计了如下的阀501，其具备除去了未直接有助于作为阀的 功能的第一密封件951、隔膜920 W及第二密封件952中的从X轴方向俯视观察时比止回阀 160W及排气阀170更靠周边侧的外侧部分Jl~J6(参照图11、图12)之后的第一密封件151、 第二密封件152W及隔膜120(参照图13)。由此，减少隔膜920的使用面积，从而实现了对阀 901的制造成本的削减。 然而，在阀501中，如图13所示，在从X轴方向俯视观察时比第一突出部180更靠内 侧的部分，第一阀壳体191W及第二阀壳体192经由第一密封件151与第二密封件152夹持隔 膜120，但在比第一突出部180更靠外侧的部分，第一阀壳体191W及第二阀壳体192什么也 没有夹持。 若对该阀501进行上述热馴接的话，则会导致第一阀壳体191的比第一突出部180 更靠外侧的部分朝第二阀壳体192侧翅曲，且第二阀壳体192的比第一突出部180更靠外侧 的部分朝第一阀壳体191侧翅曲。 因此，对于阀501的构造，来自阀501的内部的空气的泄漏变多，从而存在阀501的 性能降低的问题。 另外，如图10所示，在将阀901与压电累10连接而成的流体控制装置900中，阀901 的翅曲也对压电累10的翅曲给予影响。因此，也存在压电累10的性能的降低的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供能够相比W往减少阀的制造成本而不使阀的性能比 W往差的阀W及具备该阀的流体控制装置。 本技术的阀为了解决上述课题而具备W下的结构。 (1)隔膜，其设置有孔部； 第一密封件，其设置于上本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种阀，其特征在于，具备：隔膜，其设有孔部；第一密封件，其设置于所述隔膜的一个主面；第一阀壳体，其经由所述第一密封件与所述隔膜接合，并具有第一孔、位于所述隔膜的一个主面侧并与所述第一孔连通的第一阀室、以及位于比所述第一阀室更靠外侧的位置的多个开口部；第二密封件，其设置于所述隔膜的另一个主面；以及第二阀壳体，其经由所述第二密封件与所述隔膜接合，并具有第二孔、位于所述隔膜的另一个主面侧并与所述第二孔连通的第二阀室、以及位于比所述第二阀室更靠外侧的位置的多个第一突出部，通过所述多个第一突出部与所述多个开口部嵌合，由此所述隔膜经由所述第一密封件以及所述第二密封件而被所述第一阀壳体以及所述第二阀壳体夹持，所述隔膜的所述孔部的周围在所述第二阀室与所述第二阀壳体抵接，从而将所述孔部覆盖，所述第一密封件、所述隔膜以及所述第二密封件的各自的外周比所述第一阀壳体以及所述第二阀壳体的外周小，并设置于比所述多个第一突出部靠内侧的位置，所述第一阀壳体以及所述第二阀壳体的至少一方具有位于比所述多个第一突出部靠外侧的位置的多个第二突出部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：川村宪一郎，和久刚志，樱谷幸德，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：新型
国别省市：日本;JP
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